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21. 发明申请

WO2018083323A1 VERFAHREN ZUR SELBSTUNTERSUCHUNG EINES AUGES UND OPHTHALMOLOGISCHE SELBSTUNTERSUCHUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：用于自我测试眼睛的方法和眼科自检设备
公开(公告)号：WO2018083323A1
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：PCT/EP2017/078403
申请日：2017-11-07
申请人： CARL ZEISS AG
发明人： WESTPHAL, Peter , SCHMITT-MANDERBACH, Tobias , BUBLITZ, Daniel , KLOPFLEISCH, Peter
IPC分类号： A61B3/10 , A61B3/12 , A61B3/00
摘要： Es wird ein Verfahren zum Untersuchen eines Auges (22) eines Patienten durch den Patienten selbst mittels einer ophthalmologischen Vorrichtung (10) beschrieben, welche eine Frontoptik (38) und eine Vorrichtungspupille aufweist, wobei der Patient die ophthalmologische Vorrichtung (10) relativ zu dem Auge (22) positioniert, ein Maß einer Abweichung der Pupille (27) des Auges (22) von der Vorrichtungspupille bestimmt wird, abhängig von dem Maß der Abweichung ein Pupillenkorrektursignal erzeugt wird, das eine Richtung und/oder einen Grad der Abweichung angibt und an den Patienten ausgegeben wird, wobei anhand des Pupillenkorrektursignals der Patient eine Neupositionierung gegenüber der ophthalmologischen Vorrichtung (10) mit einer geringeren Abweichung vornehmen kann.
摘要翻译：
下面将描述一种用于通过眼用装置（10）具有一个前透镜（38）和一个装置瞳孔，其中所述患者眼科的装置检查由患者自己的患者的眼睛（22）相对于眼睛（22）定位的装置（10），Ma＆S; 根据Maβ确定眼睛（22）的瞳孔（27）与装置瞳孔的偏差。产生的光瞳校正信号的偏差指示的方向和/或一定程度的偏差的和被提供给患者，光瞳校正信号的基础上，对患者重新定位对导航用途可与在所述眼用装置（10）较小的变化使“。 / p>

22. 发明申请

WO2009127336A1 MIKROSKOP MIT HALTEFOKUS-STEUERUNG 审中-公开
标题翻译：有支撑聚焦控制显微镜
公开(公告)号：WO2009127336A1
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2009/002502
申请日：2009-04-04
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , MITZKUS, REINER , WEHNER, Eugen , STEINBORN, Stefan , MILINOVICI, Gleb , LEIDENBACH, Steffen , WESTPHAL, Peter
发明人： MITZKUS, REINER , WEHNER, Eugen , STEINBORN, Stefan , MILINOVICI, Gleb , LEIDENBACH, Steffen , WESTPHAL, Peter
IPC分类号： G02B21/24 , G02B21/36
CPC分类号： G02B21/241 , G01B11/22 , G01B11/28 , G01B11/285 , G02B21/367 , G03B13/32 , G03B13/34 , G03B13/36 , G05B11/06 , G05B11/10 , G05B11/12 , G06K9/00127
摘要： Es wird bereitgestellt ein Mikroskop mit einer Abbildungsoptik (4), einem Probentisch (2) zum Tragen einer zu untersuchenden Probe (3), einer Bewegungseinheit (9), mit der der Abstand zwischen Probentisch (2) und Abbildungsoptik (4) verändert werden kann, einer Fokusmeßeinheit (7), die die vorliegende Fokuslage mißt und ein Fokusmeßsignal ausgibt, einer Steuereinheit (8) zum Beibehalten einer vorbestimmten Fokuslage für zeitlich voneinander beabstandete Untersuchungen der Probe (3), wobei die Steuereinheit (8) dazu das Fokusmeßsignal empfängt und daraus eine Abweichung der vorliegenden Fokuslage von der vorbestimmten Fokuslage ableitet und in Abhängigkeit der abgeleiteten Abweichung mittels der Bewegungseinheit (9) den Abstand zwischen Probentisch (2) und Abbildungsoptik (4) so ändert, daß die vorbestimmte Fokuslage beibehalten wird, wobei die Steuereinheit (8) die Bewegungseinheit (9) zur Beibehaltung der vorbestimmten Fokuslage nur vor und/oder nach zumindest einer der Untersuchungen, aber nie während den Untersuchungen ansteuert.
摘要翻译：本发明提供一种光学成像系统（4），一个样品台（2）用于支撑要检查的样品（3），移动单元（9），与试料台之间的距离（2）和成像光学器件（4）可变化的显微镜中，Fokusmeßeinheit（7），其测量本焦点位置，并输出一个Fokusmeßsignal，一个控制单元（8），用于保持预定的焦点位置的试样（3）的时间间隔的研究，其中，所述控制单元（8），以接收Fokusmeßsignal和由其导出预定的聚焦位置的本焦点位置的偏差，并根据由移位单元的手段得出的偏差（9）试样台之间的距离（2）和成像光学器件（4）的变化，使得所述预定的焦点位置被保持，其中，所述控制单元（8）移动单元（9），用于刚好之前和/或Unte中的至少一个后维持规定的焦点位置 rsuchungen，但从来没有在调查期间控制。

23. 发明申请

WO2005003837A1 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR ELIMINIERUNG VON FALSCHLICHT 审中-公开
标题翻译：方法和系统消除伪光
公开(公告)号：WO2005003837A1
公开(公告)日：2005-01-13
申请号：PCT/EP2004/006868
申请日：2004-06-25
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , WESTPHAL, Peter
发明人： WESTPHAL, Peter
IPC分类号： G02B21/06
CPC分类号： G02B21/367 , G02B21/06
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Eliminierung von Falschlicht bei der Abbildung von heterogenen leuchtenden oder beleuchteten flächenhaften Proben (12) auf ortsauflösende Detektoren (14) für elektromagnetische Strahlung, wobei das Verfahren die folgenden Verfahrensschritte umfasst: Die Probe (12) wird durch eine Beleuchtungseinrichtung derart beleuchtet, dass eine laterale Beleuchtungsstruktur vorhanden ist und mindestens zwei dunkle Bereiche (19; 25) erzeugt werden, die nicht direkt aneinander grenzen. Aufnahmen der beleuchteten Probe (12) werden mit einem ortsauflösenden Detektor (14) hergestellt, wobei für jede Aufnahme die Beleuchtungsstruktur relativ zur Probe (12) verschoben wird. Aus den Intensitätsmessungen in den dunklen Bereichen (19; 25) der Aufnahmen werden ortsaufgelöste Untergrundsignale ermittelt und durch Subtraktion der Falschlichtverteilung von einer vorher gemessenen, das Falschlicht noch enthaltenen Helligkeitsverteilung wird eine von Falschlicht freie Abbildung der Probe (12) erzeugt.
摘要翻译：本发明涉及一种方法和杂散光的异构发光的或被照亮平面样品（12）的成像消除的布置，以空间分辨的电磁辐射检测器（14），所述方法包括以下步骤：将样品（12）是的照明装置照亮，使得侧向照明结构存在和至少两个暗部;产生不直接彼此邻接（19 25）。被照射的样品（12）的图像产生具有空间分辨检测器（14），其特征在于，相对于样品（12）的照明图案被移位用于每个曝光。从在黑暗区域中的强度测量值（19; 25）的空间分辨的背景信号确定了镜头，并通过减去先前测量的，该杂散光的虚假光分布仍含有所述样品的杂散自由光图像的亮度分布（12）产生的。

24. 发明申请

WO2004090604A2 MIKROSKOPANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：显微镜装置
公开(公告)号：WO2004090604A2
公开(公告)日：2004-10-21
申请号：PCT/EP2004/003156
申请日：2004-03-25
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , WESTPHAL, Peter , KÜHNER, Martin , NEUMANN, Tobias
发明人： WESTPHAL, Peter , KÜHNER, Martin , NEUMANN, Tobias
IPC分类号： G02B21/08
CPC分类号： G02B27/0927 , G02B21/082 , G02B27/09 , G02B27/0994
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Mikroskopanordnung, umfassend eine Beleuchtungsquelle (1), optische Baugruppen zur Erzeugung eines Beleuchtungsstrahlengangs, ein Objektiv (21), durch das der Beleuchtungsstrahlengang auf eine Probe (20) gerichtet ist, die sich in der Objektebene des Objektivs (21) oder in deren Nähe befindet, sowie optische Baugruppen zur Erzeugung eines auf die Empfangsfläche einer Kamera (22) gerichteten Abbildungsstrahlengangs. Erfindungsgemäss ist bei einer solchen Mikroskopanordnung eine Homogenisierungseinrichtung (5) zur Vergleichmässigung der Intensität des Beleuchtungslichts vorhanden, das auf den zu untersuchenden Probenabschnitt trifft. Mit der Homogenisierungseinrichtung (5) wird vorteilhaft erreicht, dass die Objektebene der Mikroskopanordnung und damit der sich in der Objektebene oder in deren Nähe befindende Teilabschnitt einer Probe (20) homogen ausgeleuchtet wird und dadurch eine verbesserte Qualität der Abbildung dieses Probenabschnitts erzielt wird, was eine höhere Messgenauigkeit und im Ergebnis dessen eine höhere Reproduzierbarkeit zur Folge hat.
摘要翻译：
本发明涉及包括照明源（1），用于产生通过该照明束引导到样本（20）被引导的照明光束路径，透镜（21）的光学元件的显微镜系统在透镜（21）或在N＆AUML的物平面;是他，以及用于产生关于Empfangsfl＆AUML光学部件;枝的照相机（22）的面向成像光束路径。待检查SS，在这样的显微镜装置中，均匀化装置（5），用于Vergleichm BEAR ssigung本的照明光，照射在试样部的强度BEAR吨;发明＆AUML。用均化器（5）被有利地实现，所述显微镜装置的物平面，因此位于所述物平面或在N＆AUML;他利用与样品（20）的局部剖视图建立被均匀照射，从而改进的质量＆AUML;吨该样品部分的图像所获得的这导致更高的测量准确度，并因此具有更高的重现性。

25. 发明申请

WO2002097405A2 ORTSAUFGELÖSTES ELLIPSOMETRIE-VERFAHREN ZUR QUANTITATIVEN UND/ODER QUALITATIVEN BESTIMMUNG VON PROBENÄNDERUNGEN, BIOCHIP UND MESSANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：定量和/或样本的定性测定局部分辨椭偏方法来改变生物芯片与测量设备
公开(公告)号：WO2002097405A2
公开(公告)日：2002-12-05
申请号：PCT/EP2002/005895
申请日：2002-05-29
申请人： INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH , WESTPHAL, Peter , EBERHARDT, Matthias
发明人： WESTPHAL, Peter , EBERHARDT, Matthias
IPC分类号： G01N21/55
CPC分类号： G01N21/253 , G01N21/211 , G01N21/553
摘要： Es wird ein ortsaufgelöstes Ellipsometrieverfahren zur quantitativen und/oder qualitativen Bestimmung von Probenänderungen beschrieben. Die Probe befindet sich auf einem mit mindestens einer Metallschicht versehenen Probenträger. Mittels der ellipsometrischen Messung werden die Parameter Ψ und Δ ermittelt, wobei der Einfallswinkel und/oder die Frequenz der für die ellipsometrischen Messungen verwendeten elektromagnetischen Strahlung derart eingestellt wird, dass in der Metallschicht eine gedämpfte Oberflächenplasmonenresonanz angeregt wird. Die Detektionsempfindlichkeit (δcosΔ)/(Einheit der Probenänderung) wird über die Dicke der Metallschicht eingestellt. Die elektromagnetische Strahlung wird auf der der Probe abgewandten Seite des Probenträgers flächig eingestrahlt und bei mindestens einem Einfallswinkel und mindestens einer Frequenz werden mindestens zwei zeitlich versetzte, simultane, ortsaufgelöste ellipsometrische Messungen an der Probe/den Proben durchgeführt und wenigstens die jeweils dazugehörigen Δ bzw. cosΔ-Werte zur Ermittlung der Probenänderung ausgewertet. Es wird auch ein Biochip mit mindestens einer Metallschicht versehenen Grundplatte und eine Messanordnung beschrieben, die ein Ellipsometer mit einer Strahlungsquelle (2), einem Polarisator (6), einem Analysator (7) und einem Detektor (9), der ein bildgebender Sensor ist, aufweist. Im Strahlengang vor und hinter der Ein- und Auskoppelvorrichtung (20) für den Biochip (40) ist jeweils ein Linsensystem (5, 8) zur flächigen Ausleuchtung der Ein- und Auskoppeleinrichtung (20) und der Nachweisfläche des Detektors (9) angeordnet. Ferner ist eine Auswerteeinheit (10) zur ortsaufgelösten Simultanverarbeitung der Messsignale und mindestens zur ortsaufgelösten Simultanauswertung der δcosΔWerte vorgesehen.
摘要翻译：它描述了用于定量和/或定性测定的样本的变化的空间分辨的椭偏仪。样品是在一个设置有至少一个金属层的样品载体。通过其中发生率和/或用于测量椭圆的电磁辐射的频率的角度被调整，以使金属层参数DELTA的椭偏测量和PSI的装置，一个阻尼表面等离子体共振激发被确定。检测灵敏度（△COS DELTA）/（样品的变化单位）通过金属层的厚度来调整。的电磁辐射是在样品载体的样本侧的相反侧被照射面和入射角中的至少一个角和至少两个中的至少一个频率在时间上偏移，同时，空间分辨的样品椭偏测量/进行的样品和至少分别关联的DELTA和cos DELTA值评估，以确定样本的变化。它是用至少一个金属层提供的基片和一个测量装置所描述的，其包括具有一个辐射源（2）的椭圆偏振计，偏振器的生物芯片（6），分析仪（7）和检测器（9），它是一个成像传感器，有。在前面，用于生物芯片的输入和输出装置（20）后面的光束路径（40）的透镜系统，被设置在各情况下（5,8），用于输入和输出装置（20）和所述检测器的检测表面的区域照明（9）。此外，对于测量信号的空间分辨的并行处理以及至少一个用于余弦DELTA增量值的空间分辨的同步评估的评估单元（10）设置。

26. 发明申请

WO2012168244A1 AUTOFOKUSVERFAHREN FÜR MIKROSKOP UND MIKROSKOP MIT AUTOFOKUSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：自动聚焦程序显微镜和显微镜，自动调焦装置
公开(公告)号：WO2012168244A1
公开(公告)日：2012-12-13
申请号：PCT/EP2012/060605
申请日：2012-06-05
申请人： CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH , WESTPHAL, Peter , MITZKUS, Reiner
发明人： WESTPHAL, Peter , MITZKUS, Reiner
IPC分类号： G02B21/24
CPC分类号： H04N5/23212 , G02B7/28 , G02B7/36 , G02B21/02 , G02B21/082 , G02B21/244 , G02B21/245 , G02B21/361 , G02B21/362 , G02B21/365
摘要： Bei einem Mikroskop mit einem Objektiv (4), das eine in einem Probenraum (2) liegende Fokusebene aufweist, und einer Autofokuseinrichtung, die aufweist einen Lichtmodulator (12), der zur Erzeugung eines leuchtenden, längs einer Richtung periodisch intensitätsmodulierten Modulationsobjektes (G1) ausgebildet ist, eine Autofokus-Beleuchtungsoptik (7; 20; 7, 28), die das Modulationsobjekt (G1) abbildet, so daß im Probenraum (2) ein Bild des Modulationsobjektes (G1) entsteht, eine Autofokus-Kamera (16, 18), eine Autofokus-Abbildungsoptik (7; 20; 7, 28; 20, 29), die das im Probenraum (2) liegende Bild des Modulationsobjektes (G1) auf die Autofokus-Kamera (16, 18) abbildet, eine Steuereinrichtung, die Signale der Autofokus-Kamera (16, 18) empfängt und dazu ausgebildet ist, eine Intensitätsverteilung des Bildes des Modulationsobjektes (G1) zu ermitteln und daraus ein Fokus-Steuersignal zu erzeugen, ist vorgesehen, daß der Lichtmodulator (12) zusätzlich ein leuchtendes Vergleichsobjekt (R1; G2) erzeugt, das sich längs der Richtung des Modulationsobjektes (G1) erstreckt, die Autofokus-Beleuchtungsoptik (7; 20; 7, 28) auch das Vergleichsobjekt (R1; G2) abbildet, so daß im Probenraum (2) ein Bild des Vergleichsobjektes (R1; G2) entsteht, die Autofokus-Abbildungsoptik (7; 20; 7, 28; 20, 29) auch das im Probenraum (2) liegende Bild des Vergleichsobjektes (R1; G2) auf die Autofokus-Kamera (16, 18) abbildet, und die Steuereinrichtung dazu ausgebildet ist, aus den Signalen der Autofokus-Kamera (16, 18) eine Intensitätsverteilung des Bildes des Vergleichsobjektes (R1; G2) längs der Richtung zu ermitteln und damit die Intensitätsverteilung des Bildes des Modulationsobjektes (G1) hinsichtlich Reflektivitätsvariationen im Probenraum (2) zu korrigieren.
摘要翻译：在具有物镜（4），一个在一个样本室（2）位于所述焦平面，并且具有光调制器（12）的自动聚焦装置的显微镜适于产生发光，沿一个方向周期性强度调制调制对象（G1）是自动聚焦照明光学部件（7; 20; 7，28），该图像中的调制对象（G1），使得样品腔室（2）造成的调制对象（G1）的图像，自动聚焦照相机（16，18），自动聚焦的成像光学系统（7; 20; 7，28; 20，29），其是在所述样品室（2）的调制对象（G1）到自动对焦相机（16，18）地图，一个控制装置，对所述信号中的图像自动对焦相机（16，18）接收，并适于，调制对象（G1）来确定，并产生一个聚焦控制信号的图像的强度分布，它提供的是，光调制器（12）中加入（比较的发光物体 R1; G2）被产生，其沿着所述调制对象（G1），自动聚焦照明光学部件（7的方向延伸; 20; 映射G2），使得（在样品室2）中，比较对象的图像（R1 ;; 7，28）和所述比较对象（R1产生G2），自动聚焦的成像光学器件（7; 20; 7，28; 20，29）还中相应的样品室（2）位于所述比较对象的图像（R1; G2）到自动对焦相机（16，18）的地图，并且所述控制装置适于从自动对焦相机（16，18）的图像的强度分布的信号沿方向确定，并且调制对象（G1）的图像相对于在所述样品室（2）将被校正从而在强度分布Reflektivitätsvariationen;比较对象的（G2 R1）。

27. 发明申请

WO2009112009A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR MESSUNG GELÖSTER STOFFE IM MENSCHLICHEN ODER TIERISCHEN AUGEN-KAMMERWASSER 审中-公开
标题翻译：方法和设备测量溶解的物质在人或动物眼睛室的水
公开(公告)号：WO2009112009A1
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：PCT/DE2009/000289
申请日：2009-03-02
申请人： WESTPHAL, Peter
发明人： WESTPHAL, Peter
IPC分类号： A61B5/00
CPC分类号： A61B5/14507 , A61B3/102 , A61B5/14558
摘要： Die vorliegende Erfindung befasst sich mit der nicht-invasiven, optischen Messung von Glucose und anderen gelösten Substanzen im menschlichen oder tierischen Augen-Kammerwasser. Hierzu werden ein Verfahren sowie Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens vorgeschlagen. Das erfindungsgemäße Verfahren nutzt die Tatsache, dass die Wellenabhängigkeit der optischen Aktivität fundamental anders ist als die der Cornea-Doppelbrechung. Die optische Aktivität im Kammerwasser gelöster Substanzen, wie Glucose, Laktat, Ascorbinsäure oder Aminosäuren skaliert in erster Näherung mit dem Kehrwert des Wellenlängenquadrates. Bei genauerer Betrachtung sind höhere Ordnungen zu berücksichtigen und effektiv kann ein vom Wert 2 abweichender Exponent auftreten. Bei Glucose sei der Exponent mit 2+x G bezeichnet, wobei der Wert x G etwa 0,2 beträgt. Entsprechend werden die Exponenten bei Laktat mit 2+x Lak , bei Ascorbinsäure mit 2+x Asc und bei Aminosäuren mit 2+x Am bezeichnet. Die Cornea-Doppelbrechung skaliert dagegen mit dem Kehrwert der Wellenlänge und verhält sich damit deutlich anders als die optische Aktivität. Für das erfindungsgemäße Verfahren wird ein physikalisches Modell verwendet, das die Beeinflussung der Polarisation von Messstrahlung durch die Komponenten des Auges, insbesondere durch das Kammerwasser und die Cornea, beschreibt.
摘要翻译：本发明涉及葡萄糖的非侵入式光学测量和其它溶解的物质在人或动物眼睛的房水。为了这个目的，用于执行该方法的方法和装置提出了建议。本发明的方法使用的事实，即光学活性的波函数是从角膜双折射的根本不同的。在溶解的物质，例如葡萄糖，乳酸盐，抗坏血酸或由正方形波长的倒数值在第一近似缩放氨基酸的房水的光学活性。在仔细检查，高阶必须考虑和有效地，可能会发生从值2指数一个偏差。当葡萄糖是指数是由2 + XG，其中值XG是约0.2表示。因此，指数在乳酸盐2 + xLak，其中，与2个+ xAsc和氨基酸抗坏血酸是由2 + XAM表示。与此相反，由波长的倒数缩放的，而角膜的双折射的表现比光学活性显著不同。对于本发明的方法，物理模型被使用，其描述了测量辐射的极化的由眼睛的部件的影响，特别是通过房水和角膜。

28. 发明申请

WO2008086996A8 BELEUCHTUNGSVORRICHTUNG MIT NICHTLINEAREN OPTISCHEN ELEMENTEN ZUR ERZEUGUNG VON LASERLICHT IN EINEM BREITEN SPEKTRALBEREICH MIT HOMOGENER SPEKTRALER LEISTUNGSDICHTE 审中-公开
公开(公告)号：WO2008086996A8
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：PCT/EP2008/000232
申请日：2008-01-14
申请人： CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH , WESTPHAL, Peter
发明人： WESTPHAL, Peter
IPC分类号： G02B21/06 , G02B21/00 , G02F1/35 , G01J3/10 , G02B6/122
摘要： Es wird bereitgestellt eine Vorrichtung zum Beleuchten eines Objektes, mit einer Beleuchtungsoptik (8), einem der Beleuchtungsoptik (8) vorgeordneten Modul (3), das mindestens zwei nichtlineare optische Elemente (4; 5; 6), die hintereinander angeordnet sind, aufweist, sowie einem dem Modul (3) vorgeordneten Laser (2), der Laserstrahlung (L1 ) an das Modul (3) abgibt, die der Reihe nach durch die hintereinander angeordneten Elemente (4-6) läuft und an die Beleuchtungsoptik (8) abgegeben wird, die mit der vom Modul (3) kommenden Laserstrahlung (L4) das Objekt beleuchten kann, wobei jedes nichtlineare Element (4; 5; 6) aufgrund seiner nichtlinearen Wirkung bewirkt, daß die spektrale Bandbreite der vom nichtlinearen Element (4; 5; 6) abgegebenen Laserstrahlung (L2; L3; L4) größer ist als die spektrale Bandbreite der in das nichtlineare Element (4; 5; 6) eingekoppelten Laserstrahlung (L1; L2; L3), und wobei die Vorrichtung einen Regelkreis aufweist, der Intensitätsschwankungen der vom Modul (3) kommenden Laserstrahlung (L4) mißt und in Abhängigkeit der gemessenen Intensitätsschwankungen eine steuerbare Komponente der Vorrichtung so ansteuert, daß die Intensitätsschwankungen zumindest teilweise kompensiert sind.

29. 发明申请

WO2002097405A3 ORTSAUFGELÖSTES ELLIPSOMETRIE-VERFAHREN ZUR QUANTITATIVEN UND/ODER QUALITATIVEN BESTIMMUNG VON PROBENÄNDERUNGEN, BIOCHIP UND MESSANORDNUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2002097405A3
公开(公告)日：2002-12-05
申请号：PCT/EP2002/005895
申请日：2002-05-29
申请人： INSTITUT FÜR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH , WESTPHAL, Peter , EBERHARDT, Matthias
发明人： WESTPHAL, Peter , EBERHARDT, Matthias
IPC分类号： G01N21/55
摘要： Es wird ein ortsaufgelöstes Ellipsometrieverfahren zur quantitativen und/oder qualitativen Bestimmung von Probenänderungen beschrieben. Die Probe befindet sich auf einem mit mindestens einer Metallschicht versehenen Probenträger. Mittels der ellipsometrischen Messung werden die Parameter Ψ und Δ ermittelt, wobei der Einfallswinkel und/oder die Frequenz der für die ellipsometrischen Messungen verwendeten elektromagnetischen Strahlung derart eingestellt wird, dass in der Metallschicht eine gedämpfte Oberflächenplasmonenresonanz angeregt wird. Die Detektionsempfindlichkeit (δcosΔ)/(Einheit der Probenänderung) wird über die Dicke der Metallschicht eingestellt. Die elektromagnetische Strahlung wird auf der der Probe abgewandten Seite des Probenträgers flächig eingestrahlt und bei mindestens einem Einfallswinkel und mindestens einer Frequenz werden mindestens zwei zeitlich versetzte, simultane, ortsaufgelöste ellipsometrische Messungen an der Probe/den Proben durchgeführt und wenigstens die jeweils dazugehörigen Δ bzw. cosΔ-Werte zur Ermittlung der Probenänderung ausgewertet.

30. 发明申请

WO2014023364A1 MESSEINRICHTUNG ZUM VERMESSEN EINES MESSOBJEKTS UND VERFAHREN DAZU 审中-公开
标题翻译：测量器具，用于测量测量点和程序
公开(公告)号：WO2014023364A1
公开(公告)日：2014-02-13
申请号：PCT/EP2012/074381
申请日：2012-12-04
申请人： CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , WESTPHAL, Peter , ENGEL, Thomas
发明人： WESTPHAL, Peter , ENGEL, Thomas
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/007 , G01B11/2509 , G01B11/2513
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Messeinrichtung (10) zum Vermessen eines Messobjekts (12), mit einer Beleuchtungseinrichtung (14) zum Beleuchten des Messobjekts (12) mit einem Beleuchtungsmuster (46), einer Mustererzeugungseinrichtung (16) mit zumindest einem Mustererzeugungselement (36, 38; 42) zum Herbeiführen einer ortsvarianten Intensitätsverteilung des Beleuchtungsmusters (46), und einer optischen Sensoranordnung (18) zum Erfassen des von dem Messobjekt (12) reflektierten und/oder gestreuten Beleuchtungsmusters (46). Des Weiteren weist die Messeinrichtung (10) eine zumindest messobjektseitig telezentrische Optik (44) auf, die in einem Strahlengang (24) von der Beleuchtungseinrichtung (14) auf das Messobjekt (12) angeordnet ist, wobei die optische Sensoranordnung (18) derart angeordnet ist, dass sie das Beleuchtungsmuster (46) durch zumindesteinen Teil der telezentrischen Optik (44) erfasst, und wobei die Mustererzeugungseinrichtung (16) mit dem zumindest einen Mustererzeugungselement (36, 38; 42) derart ausgebildet ist, dass das Beleuchtungsmusters (46) eine orts- und/oder spektralvariante messobjektseitige Schnittweitenverteilung (52, 54, 56) aufweist. Darüber hinaus betrifft die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung mit einer solchen Messeinrichtung und ein Verfahren zum Vermessen eines Messobjekts.
摘要翻译：本发明涉及一种测量设备（10），用于测量测量对象（12），与照明装置（14），用于与照明图案（46），图案生成装置（16）具有至少一个图案形成元件（36，38照射测量对象（12） ; 42）反射的，以实现所述照明图案（46）的用于检测（从测量对象12）和/或散射的光图案（46）的位点变体的强度分布，和光学传感器装置（18）。此外，测量装置（10）至少一个测量物体侧远心光学系统（44），其在所述照明装置（14）的光束路径（24）到所述被测物体（12）被布置，其中，所述光学传感器组件（18）被布置成使得它由远心光学系统（44），并且其中，所述图案生成装置（16）与所述至少一个图案形成元件的至少一个部分检测所述照明图案（46）（36，38; 42）被形成为使得所述照明图案（46）包括固定 - 和/或spektralvariante被测物体侧剖宽分布（52，54，56）。此外，本发明涉及具有这样的测量装置的装置和用于测量测量对象的方法。

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