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热词
    • 21. 发明申请
    • 流体圧インプリント装置およびインプリント方法
    • 流体压力印刷装置和印刷方法
    • WO2012165310A1
    • 2012-12-06
    • PCT/JP2012/063397
    • 2012-05-24
    • SCIVAX株式会社河口宏輔田村裕宣田中覚
    • 河口宏輔田村裕宣田中覚
    • B29C59/02G11B5/84H01L21/027
    • G11B5/855
    •  型と被成形物との間の気体を確実に除去することができるインプリント装置およびインプリント方法を提供する。型100の成型パターンを被成形物200に転写するためのインプリント装置であって、型100と被成形物200を流体によって加圧するための加圧室51を有する加圧部5と、加圧部5の圧力を受けた型100および被成形物200を支持するステージ2と、加圧室51内の流体の圧力を調節する加圧手段6と、型100と被成形物200の周りの雰囲気を減圧するための減圧室91を有する減圧部9と、減圧室91内において、型100と被成形物200の間を離す離間手段7と、で構成する。
    • 提供了一种压印装置和压印方法,通过该方法可以可靠地去除模具和被模制物体之间的气体。 将模具(100)的模制图案转印到待模制对象(200)上的压印装置通过以下方式构成:加压单元(5),包括加压室(51)以对模具(100)加压 待流体物体(200); 支撑来自加压单元(5)的压力的模具(100)和待模制对象物(200)的阶段(2); 加压装置(6),用于调节加压室(51)中的流体的压力; 减压单元(9),包括用于使模具(100)周围的气氛和被成型体(200)减压的减压室(91) 以及分离装置(7),用于将模具(100)与待模制对象(200)分离到减压室(91)中。
    • 22. 发明申请
    • インプリント装置
    • 印刷设备
    • WO2012117930A1
    • 2012-09-07
    • PCT/JP2012/054389
    • 2012-02-23
    • SCIVAX株式会社河口宏輔谷口 豊田中覚
    • 河口宏輔谷口 豊田中覚
    • B29C59/04H01L21/027B29L7/00
    • B29C59/04
    •  フィルム状の被成形物に加わる圧力をコントロールできるインプリント装置を提供する。フィルム状の型100のパターンをフィルム状の被成形物200に転写するためのインプリント装置であって、円周面上で回転方向に所定距離Sの間、型100及び被成形物200を押圧する成型ロール1と、成型ロール1に型100を搬送する型搬送手段2と、無限軌道構造の被成形物用送りベルト31を有し、被成形物200を成型ロール1に搬送する被成形物搬送手段3と、成型ロール1が型100と被成形物200とを押圧している間に、被成形物200を露光又は加熱する定着手段4と、を具備する。
    • 提供一种能够控制施加到要形成的薄膜状制品的压力的压印装置。 压印装置被配置为将膜状模具(100)的图案转印到待成形的薄膜状物品(200)上,并设置有:用于按压模具(100)的成形辊(1)和 在辊(1)的圆周表面上沿旋转方向形成(200)预定距离(S)的制品; 用于将模具(100)输送到成型辊(1)的模具输送装置(2); 一种物品输送装置(3),包括具有用于将待成形物品(200)输送到成形辊(1)的环形履带结构的物品进给带(31); 以及用于当模具(100)和制品(200)被成形辊(1)按压时,用于使要形成的制品(200)露出以照亮或加热制品(200)的固定装置(4)。
    • 29. 发明申请
    • インプリント装置およびインプリント方法
    • 印刷设备和印刷方法
    • WO2014034576A1
    • 2014-03-06
    • PCT/JP2013/072620
    • 2013-08-23
    • SCIVAX株式会社
    • 河口宏輔萩野竜也田中覚
    • H01L21/027B29C39/10B29C43/10B29C59/02G02B1/11
    • B29C59/02B29C43/10B29C43/36B29C51/28B29C2043/3233B29C2043/3605B29C2043/3647B29C2043/3652B29C2059/023B29C2791/006B29C2791/007B29D11/00B29D11/00336B82Y40/00G03F7/0002
    • 被成形物の両面に成型パターンを形成するインプリント装置およびインプリント方法を提供する。可撓性のある第1の型(1A)および第2の型(1B)を用いて被成形物(2)の両面に成型パターンを転写するためのものであって、第1圧力室(30A)の圧力を型(1A)と被成形物(2)に加えるための第1筐体(33A)と、第2圧力室(30B)の圧力を型(1B)と被成形物(2)に加えるための第2筐体(33B)と、圧力室(30A)および圧力室(30B)の圧力を調節する加圧手段(35)と、型(1A)と被成形物(2)とを 接離方向に相対的に移動可能な第1移動手段と、型(1B)と被成形物とを接離方向に相対的に移動可能な第2移動手段と、筐体(33A)と筐体(33B)の間に形成される減圧室(40)を減圧し、型(1A)と被成形物(2)の間および型(1B)と被成形物(2)の間の流体を除去する減圧手段(45)と、減圧室(40)と圧力室(30A)および圧力室(30B)との圧力差が小さくなるように調節する調圧手段と、で構成する。
    • 提供了在待模制对象的两侧上形成模制图案的压印装置和压印方法。 压印装置通过使用第一柔性模具(1A)和第二柔性模具(1B)在待模制对象物(2)的两侧上传送模制图案,并且包括:第一壳体(33A),用于将压力 第一压力室(30A)到模具(1A)和待模制物体(2); 用于将第二压力室(30B)中的压力施加到模具(1B)和待模制对象(2)的第二壳体(33B); 用于调节压力室(30A)和压力室(30B)中的压力的​​压力施加装置(35); 能够在接近和分离方向上相对移动模具(1A)和待模制物体(2)的第一移动装置; 第二移动装置,其能够在接近和分离方向上相对移动模具(1B)和待模制物体; 用于减小形成在壳体(33A)和壳体(33B)之间的减压室(40)中的压力以去除模具(1A)和待模制物体(2)之间的流体的减压装置(45) )和模具(1B)与待模制物体(2)之间; 以及用于进行调节以减小减压室(40)和压力室(30A)之间的压力差以及减压室(40)和压力室(30B)之间的压力差的压力调节装置。
    • 30. 发明申请
    • ローラ式加圧装置、インプリント装置、ローラ式加圧方法
    • 辊式压力装置,压缩装置和滚筒压力方法
    • WO2013191206A1
    • 2013-12-27
    • PCT/JP2013/066836
    • 2013-06-19
    • SCIVAX株式会社
    • 河口宏輔谷口豊田中覚
    • B29C59/02H01L21/027
    • B29C59/04B29C35/0805B29C2059/023B29L2007/001G03F7/0002
    • ローラの加圧力を制御して、型や被成形物等の対象物を加圧することができるローラ式加圧装置及び当該ローラ式加圧装置を利用したインプリント装置、インプリント方法を提供することを目的とする。対象物をローラ(38)によって加圧するためのローラ式加圧装置であって、ローラ(38)が配置された調圧プレート(332)と、ローラ(38)を対象物に対して相対的に移動するローラ移動手段(381)と、調圧プレート(332)の両面にかかる流体の差圧によって生じる力がローラ(38)に加わるように当該調圧プレート(332)を保持する調圧部と、ローラの圧力を、対象物を間に挟んで受ける受圧ステージ(322)と、調圧プレート(332)の両面にかかる流体圧の差圧を調節する調圧手段(45)と、で構成される。
    • 本发明的目的是提供一种能够控制滚筒的按压力并压制诸如模具或模制件的物体以及使用所述辊压装置的压印装置的辊压装置和压印方法。 使用辊(38)按压物体的辊压装置由以下部件构成:设置有辊(38)的压力调节板(332) 用于使辊(38)相对于物体移动的辊移动装置(381); 用于保持压力调节板(332)的压力调节部分,使得由施加在压力调节板(332)的两个表面上的流体的压差产生的力施加到辊( 38); 受压台(322),用于接收所述辊之间的所述辊的压力; 以及用于调节施加在压力调节板(332)的两个表面上的流体压力的压差的压力调节装置(45)。