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21. 发明申请

WO2013131995A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG UND VERARBEITUNG EINER PASTÖSEN SIO2-MASSE, SOWIE DEREN VERWENDUNG 审中-公开
标题翻译：方法用于生产和糊状SIO2人群处理，其使用
公开(公告)号：WO2013131995A1
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：PCT/EP2013/054573
申请日：2013-03-07
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
发明人： WEBER, Jürgen , TRAEGER, Norbert , SCHEICH, Gerrit , WERDECKER, Waltraud , SCHENK, Christian , PEEKHAUS, Joachim , MEYER-MERGET, Kerstin , PANKALLA, Sebastian
IPC分类号： C01B33/12 , C01B33/157 , C01B33/187
CPC分类号： C01B33/1417 , B05D5/005 , B05D2203/35 , B05D2601/22 , B82Y30/00 , C01B33/158 , C01P2004/64 , C03B19/066 , C03C3/076 , C03C8/02 , C03C17/25 , C03C2205/00 , C03C2217/213 , C03C2218/11 , C03C2218/30
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer pastösen SiO 2 -Masse unter Verwendung eines SiO 2 -Schlickers, das einfache Zwischenlager- und Transportbedingungen zulässt ohne dass dadurch die Verarbeitbarkeit des Schlickers zur pastösen SiO 2 -Masse beeinträchtigt wird. Erfindungsgemäß wird dazu vorgeschlagen, dass ein homogenisierter SiO 2 -Grundschlicker einem Trocknungsschritt unter Bildung einer SiO 2 -Trockenmasse unterzogen und anschließend mittels eines Wiederbefeuchtungsschrittes zu der pastösen SiO 2 -Masse weiterverarbeitet wird, wobei der Wiederbefeuchtungsschritt die Zugabe von Flüssigkeit auf die SiO 2 -Trockenmasse unter Ausbildung einer pastösen knetbaren SiO 2 -Masse mit einem Feststoffgehalt von mehr als 85 Gew.-% umfasst. Die Erfindung betrifft weiterhin die Verwendung einer pastösen SiO 2 -Masse als Reparaturmasse.
摘要翻译：本发明涉及一种用于生产使用的SiO 2料浆，其允许容易中间储存和运输条件，而不影响浆料的可加工性受到影响的糊状物质的SiO 2糊状物质的SiO 2。根据本发明，意味着经历干燥步骤一均匀化的SiO 2 - 基极浆料，形成的SiO 2的固体，然后由一个Wiederbefeuchtungsschrittes的手段糊状的SiO 2质量进一步处理时，Wiederbefeuchtungsschritt添加液体到SiO 2系干质量，以形成糊状具有.-超过85％（重量），其包括的固体含量的SiO 2捏合质量。本发明还涉及到使用糊状物质的SiO 2作为修复块。

22. 发明申请

WO2011147906A1 VERFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG EINES QUARZGLASTIEGELS MIT TRANSPARENTER INNENSCHICHT AUS SYNTHETISCH ERZEUGTEM QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃坩埚用合成石英玻璃制成的透明内层生产
公开(公告)号：WO2011147906A1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：PCT/EP2011/058624
申请日：2011-05-26
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , LEHMANN, Walter , KAYSER, Thomas , TROMMER, Martin , NASAROW, Christian
发明人： LEHMANN, Walter , KAYSER, Thomas , TROMMER, Martin , NASAROW, Christian
IPC分类号： C03B19/09 , C03B19/14 , C03C17/02
CPC分类号： C03B19/1492 , C03C17/004 , C03C17/02 , C03C21/003 , C03C23/0025 , C03C2217/213 , C03C2218/1525
摘要： Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels mit einer Innenschicht aus transparentem, blasenarmem und reinem Quarzglas mit langer Standzeit anzugeben. Diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch ein Verfahren gelöst, das folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Bereitstellen eines eine Innenseite aufweisenden Tiegelbasiskörpers aus Quarzglas, (b) Erzeugen einer porösen SiO 2 -Sootschicht auf mindestens einer Teilfläche der Innenseite des Tiegelbasiskörpers durch Gasphasenabscheidung, Trocknen der porösen SiO 2 -Sootschicht zur Reduzierung des Hydroxylgruppengehalts und Sintern der Sootschicht zu der Innenschicht aus transparentem Quarzglas in einer wasserstoffarmen Atmosphäre, so dass sich in dem Quarzglas der Innenschicht ein Hydroxylgruppengehalt von weniger als 100 Gew.-ppm einstellt.
摘要翻译：本发明的基本目的是提供一种具有透明石英玻璃blasenarmem的内层和纯具有使用寿命长制造石英玻璃坩埚的方法。根据本发明通过包括以下步骤的方法解决了这个问题：（a）提供具有石英玻璃坩埚基体上的内侧，（b）关于坩埚基体的通过气相沉积在内部的至少一个部分区域产生多孔的SiO 2烟灰层，干燥多孔二氧化硅烟灰层，以减少羟基和烧结煤烟层，以透明石英玻璃的内侧层中的贫氢气氛中，使得在内层的石英玻璃小于100重量ppm的羟基含量。

23. 发明申请

WO2011054574A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES QUARZGLASZYLINDERS SOWIE TRÄGER ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃圆柱体和运营商用于执行该方法
公开(公告)号：WO2011054574A1
公开(公告)日：2011-05-12
申请号：PCT/EP2010/063438
申请日：2010-09-14
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SCHUSTER, Anke , SOWA, Rene , TROMMER, Martin , PEPER, Udo
发明人： SCHUSTER, Anke , SOWA, Rene , TROMMER, Martin , PEPER, Udo
IPC分类号： C03B19/14 , C03B37/014
CPC分类号： C03B19/1492 , C03B37/01493 , Y10T428/22 , Y10T428/2918
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaszylinders wird durch Abscheiden von SiO 2 -Partikeln auf einer Zylindermantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden Trägers, der eine Schicht aus Siliciumcarbid (SiC-Schicht) aufweist, ein poröses Sootrohr hergestellt, das zu dem Quarzglaszylinder gesintert wird. Um hiervon ausgehend einen Träger mit hoher Bruchfestigkeit anzugeben, der sich einerseits leicht entfernen lässt und von dem andererseits eine geringe Kontaminationsgefahr für den Sootkörper ausgeht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die SiC-Schicht vor dem Abscheiden der SiO 2 -Partikel bei hoher Temperatur in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre behandelt wird, derart, dass durch Oxidation eine SiO 2 -Schutzschicht mit einer Dicke von mindestens 0,1 μm erzeugt wird.
摘要翻译：在用于制造石英玻璃圆柱体公知的方法，多孔烟炱管是通过在绕具有碳化硅（SiC）层，其被烧结到石英玻璃圆柱体的层其纵向支撑件的气缸表面上沉积SiO 2个颗粒形成。以指示与高压碎强度从该开始，其可以在一方面和另一方面容易地除去载体，所述烟灰体前进的污染的风险较低，本发明提出的SiO 2个颗粒在高温下的沉积之前在SiC层的含氧具有的厚度至少为0.1微米的在SiO 2保护层是由氧化产生的气氛被处理这样。

24. 发明申请

WO2011039159A1 ROHLING AUS TITAN-DOTIERTEM, HOCHKIESELSÄUREHALTIGEM GLAS FÜR EIN SPIEGELSUBSTRAT FÜR DEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE UND VERFAHREN FÜR SEINE HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译： BRUTE钛掺杂的，高二氧化硅玻璃镜基底FOR USE IN EUV光刻AND METHOD FOR PRODUCTION
公开(公告)号：WO2011039159A1
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：PCT/EP2010/064317
申请日：2010-09-28
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , KUEHN, Bodo
发明人： KUEHN, Bodo
IPC分类号： C03B19/14 , C03B20/00 , C03C3/06
CPC分类号： C03B23/20 , C03B19/1453 , C03B32/00 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/42 , G02B5/10 , G03F7/708 , Y10T428/22 , Y10T428/24612
摘要： Um ausgehend von einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Rohlings aus Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas (Glas) für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie, das einen zu verspiegelnden und beim bestimmungsgemäßen Einsatz des Spiegelsubstrats als hochbelastete Zone spezifizierten Oberflächenbereich aufweist, der eine Außenkontur hat, einen Rohling bereit zu stellen, der kostengünstig herstellbar ist und der dennoch hohen Anforderungen bezüglich Homogenität, Blasen- und Schlierenfreiheit genügt, wird eine Verfahrensweise vorgeschlagen, die folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Erzeugen eines Frontkörpers aus Titan-dotiertem Glas hoher Qualität und mit Abmessungen, die die Außenkontur mit Übermaß umschließen, (b) Erzeugen eines zylinderförmigen Stützkörpers aus Titan-dotiertem Glas, (c) Verbinden von Frontkörper und Stützkörper unter Bildung eines Verbundkörpers, und (d) Bearbeitung des Verbundkörpers zum Spiegelsubstrat-Rohling, wobei das Erzeugen des Frontkörpers einen Homogenisierungsprozess umfasst, der ein Verdrillen eines durch Flammenhydrolyse einer siliziumhaltigen Verbindung erhaltenen stangenförmigen Ausgangskörpers zu einem Frontkörperrohling umfasst, und dass der Stützkörper als monolithischer Glasblock mit geringerer Homogenität als der Frontkörper ausgebildet ist.
摘要翻译：为了从用于制造由掺杂钛的高硅玻璃（玻璃），用于在EUV光刻中，它具有利用一个镜基板的空白公知的方法开始被mirrorized和打算使用的镜基板的指定为高负载区的表面积的外轮廓具有提供一种可以经济地和关于满足从条纹仍要求高的均匀性，膀胱和自由地制造，过程中提出，下面的处理步骤的空白：（a）形成的高掺杂钛的玻璃的前体质量和其与筛上，（b）中包围的外轮廓成形接合前体和支撑体上以形成复合体，而复合体的（d）中处理，以将镜基板ř钛掺杂玻璃的圆筒状支承体，（C）的尺寸 Ohling，其中所述前体的所述生成包括均质化处理，其包括加捻由含硅化合物棒状起始体的火焰水解反应前体坯而获得的信号，并且所述支撑体被形成为具有比前体的下部均匀性的单片玻璃块。

25. 发明申请

WO2010069768A2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ZYLINDERFÖRMIGEN OPTISCHEN BAUTEILS AUS QUARZGLAS SOWIE NACH DEM VERFAHREN ERHALTENES OPTISCH AKTIVES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：用于生产圆柱光学元件由石英玻璃就直奔GOT光有源COMPONENT
公开(公告)号：WO2010069768A2
公开(公告)日：2010-06-24
申请号：PCT/EP2009/066230
申请日：2009-12-02
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , BAUER, Peter , BRAEUER, Karsten , FLACH, Marco , LANGNER, Andreas , SCHMIDT, Richard , SCHMITT, Clemens , SCHOETZ, Gerhard , STECHER, Matthias
发明人： BAUER, Peter , BRAEUER, Karsten , FLACH, Marco , LANGNER, Andreas , SCHMIDT, Richard , SCHMITT, Clemens , SCHOETZ, Gerhard , STECHER, Matthias
IPC分类号： H01S3/06 , H01S3/063 , H01S3/067
CPC分类号： H01S3/0602 , C03B23/207 , C03B37/01245 , C03B2201/12 , C03B2203/02 , C03B2203/18 , C03B2203/34 , H01S3/063 , H01S3/06708 , H01S3/06745 , H01S3/094003 , H01S3/094007 , H01S3/1603 , H01S3/176
摘要： Es sind zylinderförmige optische Bauteile aus Quarzglas bekannt, die ein sich in Richtung der Längsachse erstreckende Innenzone aus einem Innenzonenglas aufweisen, die von einer Mantelzone aus einem Mantelzonenglas umhüllt ist, deren mittlere Wandstärke mindestens über einen Teil ihrer Länge in Richtung der Bauteil-Längsachse variiert. Um ein Verfahren anzugeben, das eine einfache und kostengünstige Herstellung eines derartigen optischen Bauteils aus Quarzglas ermöglicht, wird erfindungsgemäß ein Verfahren mit folgenden Verfahrensschritten vorgeschlagen: (a) Bereitstellen einer ersten Vorform aus dem Innenzonenglas, die an einer Stirnseite eine erste, außenkegelförmige Kontaktfläche aufweist, (b) Bereitstellen einer zweiten Vorform aus dem Mantelzonenglas, (c) Einbetten der außen kegelförmigen Kontaktfläche in Mantelzonenglas und Verschweißen der Kontaktfläche mit dem Mantelzonenglas unter Bildung einer Verbundvorform, die in einem Kontaktbereich einen kegelförmigen Innenzonenbereich aus dem Innenzonenglas aufweist, der von einem Mantelzonenbereich mit Innenkegelform umgeben ist, und (d) Elongieren der Verbundvorform zu dem optischen Bauteil oder einem Vorprodukt des Bauteils.
摘要翻译：有石英玻璃的已知圆柱形光学元件，其具有在内部区域的玻璃，这是由一个涂布区域的玻璃，其平均壁厚至少在其在所述部件纵向轴线的方向上的长度的一部分而变化的包层区包围的内部区域的纵轴线的方向延伸。以指示的方法允许简单和廉价生产的石英玻璃的这种光学部件的，本发明提出了一种方法，包括以下步骤：（a）提供具有在一个端部侧的第一，外圆锥形接触表面的内部区域的第一玻璃预成型坯，（b）提供该包层区的玻璃嵌入在涂层区的玻璃和与所述包层区的玻璃接触表面的焊接外部圆锥形接触表面，以形成具有在接触区域从所述内部区域的玻璃锥形内区面积有夹套区区域的复合预制件的第二预制件，（c）中内圆锥形状是包围，并且所述复合材料预制件的（d）中伸长率，所述光学部件或部件的一个前体。

26. 发明申请

WO2010029147A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES QUARZGLASKÖRPERS 审中-公开
标题翻译：用于生产的石英玻璃体
公开(公告)号：WO2010029147A1
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/EP2009/061803
申请日：2009-09-11
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , WERDECKER, Waltraud , BAUER, Peter , SCHOETZ, Gerhard , LANGNER, Andreas , BRAEUER, Karsten
发明人： WERDECKER, Waltraud , BAUER, Peter , SCHOETZ, Gerhard , LANGNER, Andreas , BRAEUER, Karsten
IPC分类号： C03B32/00 , C03B37/012
CPC分类号： C03B37/01282 , C03B19/066 , C03B37/01291 , C03B2203/14 , C03B2203/42
摘要： Die Herstellung eines Quarzglaskörpers in einem Aufbau prozess, bei dem aus amorphen SiO2-Teilchen ein offenporiger Formkörper (5) mit zylinderförmiger Aussenseite gebildet wird, und einem Verdichtungsprozess, bei dem der Formkörper (5) zu dem Quarzglaskörper thermisch verdichtet wird, ist allgemein bekannt. Um dieses Verfahren hinsichtlich Produktivität und Kosteneffizienz zu optimieren, wird erf indungsgemäss vorgeschlagen, dass vor dem Verdichtungsprozess die zylinderförmige Aussenseite des Formkörpers (5) unter Belassung eines offenporigen Formkörper-Innenbereichs (6) mit einer gasdichten Versiegelungsschicht (7) versehen, und der mit der gasdichten Versiegelungsschicht (7) versehene offenporige Formkörper-Innenbereich (6) einer Konditionierungsbehandlung unterzogen wird.
摘要翻译：形成在无定形SiO 2颗粒的制造中的结构的石英玻璃体的过程的具有开孔的具有圆柱形外表面模制体（5），和一个压缩方法，其中所述成形体（5）热压缩到石英玻璃体，是众所周知的。为了在生产率和成本效率方面优化该过程中，提出ERFindungsgemäss提供所成型体的圆筒状的外侧面（5），同时留下一个开孔成型体内部区域（6）气密密封层（7）的压缩过程之前，并与设置有开孔的模制品调理治疗的内部区域（6）进行气密密封层（7）。

27. 发明申请

WO2010003856A1 BIEGEUNEMPFINDLICHE OPTISCHE FASER, QUARZGLASROHR ALS HALBZEUG FÜR SEINE HERSTELLUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER FASER 审中-公开
标题翻译：弯曲光纤RESISTANTS，QUARZGLAS管作为用于生产纤维生产和方法，半成品
公开(公告)号：WO2010003856A1
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：PCT/EP2009/058247
申请日：2009-07-01
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , VYDRA, Jan , BAUER, Peter , BRAEUER, Karsten , HUENERMANN, Michael
发明人： VYDRA, Jan , BAUER, Peter , BRAEUER, Karsten , HUENERMANN, Michael
IPC分类号： G02B6/00 , C03B37/018
CPC分类号： C03B37/01823 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/31 , C03B2203/22 , G02B6/036 , Y02P40/57
摘要： Eine bekannte biegeunempfindliche optische Faser weist eine Kernzone mit einem Brechungsindex n K , einen die Kernzone umhüllende Mantelzone mit einem Brechungsindex n M , und eine die Mantelzone umgebende Ringzone aus einem mit Fluor dotierten Quarzglas mit einem Brechungsindex n F auf, wobei gilt n F M K . Hiervon ausgehend soll eine optische Faser zur Verfügung gestellt werden, die sich durch hohe Biegeunempfindlichkeit, gute Spleißbarkeit und Kompatibilität auszeichnet und ein Verfahren für eine kostengünstige Herstellung einer derartigen Faser angegeben werden. Hinsichtlich des Verfahrens wird diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass das Quarzglas der Ringzone (21) in einem Plasma-Außenabscheideprozess erzeugt wird, indem auf einem Substratkörper (20) eine Ringzonenschicht aus dem mit Fluor dotierten Quarzglas mit einer Schichtdicke von mindestens 1 mm und einer Brechzahl n F
摘要翻译：一种已知的弯曲不敏感的光纤包括具有折射率n k，具有折射率nm的核心区包围涂布区域，以及围绕具有折射率nF的，掺氟石英玻璃的环区域是其中nf中号K.适用此基础上的包层区域的芯区光纤被提供，其特点是高的耐弯曲性，良好的拼接和相容性，以及这种纤维的制造成本低廉的方法，可以给出。通过施加到基底主体（20）关于该目的是这样实现的，所述环形区域的石英玻璃（21）在等离子体Außenabscheideprozess生成方法具有厚度至少为1毫米，掺氟石英玻璃的环区层折射率nF的是<1.4519，基于钠灯的D线，生产的。

28. 发明申请

WO2009146992A1 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A CRUCIBLE OF QUARTZ GLASS 审中-公开
标题翻译：用于生产QUARTZ玻璃的可溶性的方法和装置
公开(公告)号：WO2009146992A1
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：PCT/EP2009/055451
申请日：2009-05-06
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , KAYSER, Thomas , LEHMANN, Walter , LAUDAHN, Hilmar
发明人： KAYSER, Thomas , LEHMANN, Walter , LAUDAHN, Hilmar
IPC分类号： C03B19/09
CPC分类号： C30B15/10 , C03B19/095 , C30B35/002
摘要： The invention starts from a method for producing a crucible of quartz glass in that SiO 2 inner layer granules are vitrified in a rotating melting mold (1), which is covered at least in part by a heat shield (2), in a light gas-containing atmosphere under the action of a plasma to obtain a transparent inner layer, at least part of the light gas being supplied to the melting mold (1) through a gas inlet (8,9) of the heat shield. In order to form an inner layer with a particularly low bubble content and with minimal efforts in terms of energy and material, it is proposed that in a layer-forming step preceding the vitrifying step, a granule layer (14) of the SiO 2 inner layer granules is formed on the inner wall, and wherein the plasma zone (13) and the heat shield (2) together with the gas inlet (8,9) are movable at least in a direction perpendicular to the rotation axis and are moved laterally in the direction of the granule layer (14) during the vitrifying step so as to vitrify the granule layer (14).
摘要翻译：本发明从石英玻璃坩埚的制造方法开始，其中SiO 2内层颗粒在至少部分由隔热罩（2）覆盖的旋转熔融模具（1）中进行玻璃化，在等离子体的作用下形成含气氛，以获得透明的内层，至少部分轻质气体通过隔热罩的气体入口（8,9）供应到熔化模具（1）。为了形成具有特别低的气泡含量并且在能量和材料方面的最小努力的内层，提出在玻璃化步骤之前的层形成步骤中，SiO 2内层的颗粒层（14）颗粒形成在内壁上，并且其中等离子体区域（13）和隔热罩（2）与气体入口（8,9）一起可以至少在垂直于旋转轴线的方向上移动并且横向移动在玻璃化步骤期间颗粒层（14）的方向以使颗粒层（14）玻璃化。

29. 发明申请

WO2009106134A1 METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL COMPONENT OF QUARTZ GLASS 审中-公开
标题翻译：用于生产QUARTZ玻璃的光学部件的方法
公开(公告)号：WO2009106134A1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：PCT/EP2008/052370
申请日：2008-02-27
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , ZWARG, Steffen , KUEHN, BODO
发明人： TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , ZWARG, Steffen , KUEHN, BODO
IPC分类号： C03B19/14 , C03C3/06
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C4/0085 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , Y02P40/57
摘要： To provide a method for the reproducible and reliable production of synthetic, UV- radiation resistant quartz glass which has a predetermined hydroxyl group content and containshardly any chlorine and oxygen defect centers, if possible, the present invention suggests a method which comprises the following steps: (a) producing an SiO 2 soot body, (b) drying the soot body such that a mean hydroxyl group content of less than 60 wtppm is obtained, and (c) vitrifying the soot body with formation of a cylindrical quartz glass blank which is further processed into the optical component, wherein prior to vitrification according to method step (c) the soot body is subjected to a conditioning treatment which comprises a treatment with a nitrogen containing gas, preferably a nitrogen oxide,or a sequence of treatments with ammonia and an oxidizing agent.
摘要翻译：为了提供一种可重复且可靠地生产具有预定羟基含量并且包含任何氯和氧缺陷中心的合成耐紫外线辐射石英玻璃的方法，如果可能，本发明提出了一种方法，包括以下步骤：（a）生产SiO2烟灰体，（b）干燥烟灰体，使得得到小于60重量ppm的平均羟基含量，和（c）使形成圆柱形石英玻璃坯料的烟灰体玻璃化，其进一步加工成光学部件，其中根据方法步骤（c）在玻璃化之前，对烟灰体进行调理处理，其包括用含氮气体，优选氮氧化物的处理，或用氨和氧化剂。

30. 发明申请

WO2009040287A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DOTIERTEM QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产掺杂石英玻璃
公开(公告)号：WO2009040287A1
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：PCT/EP2008/062410
申请日：2008-09-18
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , INSTITUT FUER PHOTONISCHE TECHNOLOGIEN E.V. , LANGNER, Andreas , KAYSER, Thomas , SCHOETZ, Gerhard , SUCH, Mario , KIRCHHOF, Johannes , GRIMM, Stephan , REICHEL, Volker
发明人： LANGNER, Andreas , KAYSER, Thomas , SCHOETZ, Gerhard , SUCH, Mario , KIRCHHOF, Johannes , GRIMM, Stephan , REICHEL, Volker
IPC分类号： C03B19/06 , C03B19/12 , C03C3/06
CPC分类号： C03B37/01282 , C03B19/06 , C03B19/063 , C03B19/066 , C03B19/1065 , C03B19/1095 , C03B20/00 , C03B2201/10 , C03B2201/12 , C03B2201/30 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/54 , C03C1/026 , C03C3/06 , C03C4/0071 , C03C4/10 , C03C13/045 , C03C14/008 , C03C23/0075 , C03C25/106 , C03C2201/12 , C03C2201/36 , C03C2203/20 , C03C2203/34
摘要： Es wird ein Verfahren angegeben, das die wirtschaftliche Herstellung von dotiertem Quarzglas ermöglicht, insbesondere von laseraktivem Quarzglas, das hinsichtlich der Homogenität der Dotierstoffverteilung verbessert ist, indem eine Suspension bereitgestellt wird, die SiO 2 -Teilchen sowie eine Ausgangsverbindung für mindestens einen Dotierstoff in einer wässrigen Flüssigkeit enthält, die Flüssigkeit unter Bildung eines dotierten Zwischenprodukts, das Teilchen des Dotierstoffs oder Teilchen einer Vorläufersubstanz des Dotierstoffs enthält, entfernt wird, und aus dem dotierten Zwischenprodukt durch Sintern das dotierte Quarzglas gebildet wird, wobei mindestens ein Teil der Teilchen des Dotierstoffs oder der Teilchen der Vorläufersubstanz desselben in der Suspension als Präzipitat einer pH-Wertgesteuerten Fällungsreaktion der Ausgangsverbindung erzeugt wird.
摘要翻译：本发明提供这使得经济地生产掺杂的石英玻璃，特别是激光活性石英玻璃，这是在掺杂剂的均匀性的方面通过悬浮改进的，提供了一种方法，其SiO 2颗粒和在含水液体中至少一种掺杂剂的输出连接含有液体含有以形成掺杂剂或掺杂剂的前体的颗粒的颗粒被除去，掺杂的石英玻璃从通过烧结掺杂中间产物，所形成的掺杂的中间体，其中至少所述掺杂剂的颗粒的一部分或所述颗粒前体在悬浮液中作为起始化合物的pH受控沉淀反应的沉淀物产生。

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