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11. 发明申请

WO2017081662A1 OPTICAL ALIGNMENT APPARATUSES AND METHODS FOR OPTICS USED IN ABSORPTION CELL SPECTROMETERS 审中-公开
标题翻译：用于吸收式细胞光谱仪的光学校准装置和方法
公开(公告)号：WO2017081662A1
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：PCT/IB2016/056821
申请日：2016-11-11
申请人： DUVAS TECHNOLOGIES LIMITED
发明人： SAWYERS, Craig
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/42 , G01N21/03 , G01N21/33
CPC分类号： G02B7/1822 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G01J3/0264 , G01J3/0289 , G01J3/42 , G01N21/031 , G01N21/33 , G01N2201/12 , G02B5/0891 , G02B5/10 , G02B17/0642 , G02B27/48
摘要： Systems and methods of the present disclosure are directed to optics used in absorption cell spectrometers. The absorption cell includes a plurality of mirrors arranged in a manner such that a detection light traverses multiple passes through the fluid within the absorption cell. In some implementations, the detection light is reflected by the plurality of mirrors to form optical paths in more than one plane. In some implementations, the orientation of the mirrors are aligned with specific orientations to provide the desired optical path to the detection light. In one or more embodiments, an alignment apparatus can be used to pre-align the mirrors before they are placed within the absorption cell. The alignment apparatus includes an aperture plate and an adjustable mount to mount one or more mirrors. The mirrors are aligned based on reflected images on the aperture plate laser light incident on the mirrors.
摘要翻译：本公开的系统和方法涉及用于吸收池分光计中的光学器件。吸收单元包括多个反射镜，以这样的方式排列，使得检测光穿过吸收单元内的流体的多次通过。在一些实现中，检测光被多个反射镜反射以在多于一个平面中形成光路。在一些实施方式中，镜子的取向与特定的取向对齐以向检测光提供期望的光路。在一个或多个实施例中，可以使用对准装置在反射镜被放置在吸收单元内之前预先对准反射镜。对准装置包括孔板和用于安装一个或多个反射镜的可调节支架。镜子根据入射到镜子上的孔径板激光上的反射图像进行对准。

12. 发明申请

WO2016126302A1 SYSTEMS FOR SPARSE APERTURE OPTICAL ALIGNMENT AND RELATED METHODS 审中-公开
标题翻译：微波光学对准系统及相关方法
公开(公告)号：WO2016126302A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/US2015/061811
申请日：2015-11-20
申请人： RAYTHEON COMPANY
发明人： MARTIN, Dylan, William Rohyans , WOIDA-O'BRIEN, Rigel, Quinn , TRAIL, Nicholas, D.
IPC分类号： G02B27/00 , G01M11/00
CPC分类号： G01B11/272 , G01B9/02016 , G01B9/02032 , G02B7/1822 , G02B7/1827 , G02B23/10 , G02B27/0087 , G02B27/62
摘要： According to one aspect, a sparse optical system is provided. The sparse optical system includes optical segments, an optical source module to generate beams of light, a collimating module to direct the beams of light towards two adjacent optical segments, a detector to receive a reflection of the beams of light from the optical segments, and a processor. The processor instructs the optical source module to generate a first beam of light, determines a first measurement of an alignment of the two adjacent segments based on the reflection of the first beam, adjusts a position of an optical segment based on the first measurement, instructs the optical source module to generate a second beam of light, and determines a second measurement of the alignment of the two segments based on the reflection of the second beam.
摘要翻译：根据一个方面，提供了一种稀疏的光学系统。稀疏光学系统包括光学段，用于产生光束的光源模块，用于将光束引向两个相邻的光学段的准直模块，用于接收来自光学段的光束的反射的检测器，以及一个处理器处理器指示光源模块产生第一光束，基于第一光束的反射来确定两个相邻片段的对准的第一测量，基于第一测量来调整光学片段的位置，指示所述光源模块用于产生第二光束，并且基于所述第二光束的反射来确定所述两个片段的对准的第二测量。

13. 发明申请

WO2015071223A1 OPTIKANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：光学装置
公开(公告)号：WO2015071223A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014/074192
申请日：2014-11-10
申请人： TRUMPF LASER GMBH
发明人： LIERMANN, Martin , SCHAD, Sven-Silvius , WOLF, Manuel
IPC分类号： G02B7/182
CPC分类号： G02B7/1822 , G02B7/003
摘要： Die Erfindung betrifft eine Optikanordnung (1) mit einem um eine erste Kippachse (9a) kippbar gelagerten optischen Element (7) und mit einem ersten und einem zweiten thermisch längbaren Aktor (3a, 3b) zum Verkippen des optischen Elements (7), wobei das optische Element (7) um eine andere, zweite Kippachse (9b) kippbar gelagert ist und der erste Aktor (3a) zum Verkippen des optischen Elements (7) um die erste Kippachse (9a) und der zweite Aktor (3b) zum Verkippen des optischen Elements (7) um die zweite Kippachse (9b) ausgebildet ist, wobei das optische Element (7) um eine andere, dritte Kippachse (9c) kippbar gelagert ist und wobei die Optikanordnung (7) einen dritten thermisch längbaren Aktor (3c) aufweist, der zum Verkippen des optischen Elements (7) um die dritte Kippachse (9c) ausgebildet ist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass sich die drei Kippachsen (9a - 9c) paarweise schneiden, und dass die Aktoren (3a - 3c) jeweils in einem Schnittpunkt (13a, 13b, 13c) der Kippachsen (9a - 9c) am optischen Element (7) angreifen. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Verkippen eines optischen Elements (7).
摘要翻译：本发明涉及一种光学组件（1）具有绕第一倾斜轴线（9a）的可倾斜地安装光学元件（7），并具有第一和第二热längbaren致动器（3A，3B），用于倾斜所述光学元件（7），其中，所述光学元件（7）被可倾斜地安装到一个不同的，第二倾斜轴线（图9b）和绕所述第一倾斜轴线（9a）和第二致动器（3b）的用于倾斜光学倾斜光学元件（7）的第一致动器（3a）的元件（7）绕第二枢转轴线（图9b），其中所述光学元件（7）被可倾斜地安装到一个不同的，第三倾斜轴（图9c）形成，并且其中，所述光学装置（7）包括第三热längbaren致动器（3c）的所述光学元件的倾斜（7）围绕所述第三枢转轴线（图9c）形成。根据本发明，它提供了三个枢转轴线（图9a - 9C）对相交，并且所述致动器（图3a - 3C）在每种情况下倾斜轴（9A - 9C）的交叉点（13A，13B，13C）的光学元件（7）上攻击。本发明还涉及到用于倾斜的光学元件（7）的方法。

14. 发明申请

WO2013159953A1 VERFAHREN ZUM AUSRICHTEN EINES RASTER-SPIEGELS UND RASTERSPIEGELVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：方法对齐网格和镜子镜子电网设备的
公开(公告)号：WO2013159953A1
公开(公告)日：2013-10-31
申请号：PCT/EP2013/053781
申请日：2013-02-26
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： FIESS, Reinhold , FISCHER, Frank , REISS, Sebastian , PILARD, Gael
IPC分类号： G02B26/10 , G02B27/00 , H04N9/31
CPC分类号： G02B26/0816 , G02B7/182 , G02B7/1821 , G02B7/1822 , G02B7/1824 , G02B7/1825 , G02B7/1827 , G02B26/101 , G02B26/105 , G02B27/0031 , G03B21/2066 , H04N9/3129
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ausrichten eines Lichtstrahls (30) mit den Schritten: Umlenken des Lichtstrahls (30) mittels eines ersten Spiegelelements (32) und eines zweiten Spiegelelements (34), wobei das erste Spiegelelement (32) um einen ersten Umlenkwinkel um eine erste Drehachse (38) verstellt wird, das zweite Spiegelelement (34) um einen zweiten Umlenkwinkel um eine zu der ersten Drehachse (38) geneigte zweite Drehachse (40) verstellt wird, und das zweite Spiegelelement (34) zusätzlich um einen dritten Umlenkwinkel (a) um eine zu der zweiten Drehachse (40) geneigte dritte Drehachse (39) verstellt wird, und das erste Spiegelelement (32) um einen für den dritten Umlenkwinkel (a) vorgegebenen ersten Ausgleichwinkel um eine erste Spiegelnormale (58) des ersten Spiegelelements (32) und/oder das zweite Spiegelelement (34) um einen für den dritten Umlenkwinkel (a) vorgegebenen zweiten Ausgleichwinkel um eine zweite Spiegelnormale (59) des zweiten Spiegelelements (34) verstellt werden. Ebenso betrifft die Erfindung eine Spiegelvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于对准的光束（30），包括以下步骤：由第一反射镜元件（32）和第二反射镜元件（34），其中，所述第一反射镜构件（32）偏转的光束（30）到大约一第一偏转第一旋转轴（38）被调整，倾斜至第一枢转轴线的第二反射镜元件（34）由第二偏转角（38）旋转的第二轴（40）被调整，并且除了第三导流角的第二反射镜元件（34）（一个）倾斜一个（到第二旋转轴40）转动的第三轴线（39）被移位，并且所述第一反射镜元件（32）设置为一（用于第三偏转角的）第一补偿角度围绕第一反射镜正常所述第一反射镜元件（58）（32 ）和/或以预定的（对于第三偏转角的）第二补偿角度关于第二反射镜元件的一个第二反射镜正常（59）（34）VERS第二反射镜元件（34）被tellt。本发明还涉及一种反射镜装置。

15. 发明申请

WO2010145803A1 KINEMATISCHER HALTER 审中-公开
标题翻译：运动HOLDER
公开(公告)号：WO2010145803A1
公开(公告)日：2010-12-23
申请号：PCT/EP2010/003589
申请日：2010-06-15
申请人： TOPTICA PHOTONICS AG , HEIDEMANN, Rainer , LISON, Frank
发明人： HEIDEMANN, Rainer , LISON, Frank
IPC分类号： G02B7/182
CPC分类号： G02B7/1822 , G02B7/182 , G02B7/1825 , G02B7/1827
摘要： Die Erfindung betrifft einen kinematischer Halter mit einem Basisteil (8) und einem an dem Basisteil (8) gelagerten und relativ zu diesem um wenigstens eine Kippachse verkippbaren Halteteil (7). Die Erfindung schlägt vor, dass der Halter wenigstens einen Schwenkhebel (22, 23) aufweist, der mit dem Basisteil (8) über ein erstes Gelenk (25) und mit dem Halteteil (7) über ein von dem ersten Gelenk (25) in Längsrichtung des Schwenkhebels (22, 23) beabstandetes zweites Gelenk (27, 24, 28) verbunden ist, wobei das Basisteil (8), der Schwenkhebel (22, 23) und das Halteteil (7) ein Getriebe bilden, das eine Bewegung eines auf den Schwenkhebel (22, 23) einwirkenden Stellorgans (11, 12) in eine Verkippung des Halteteils (7) relativ zum Basisteil (8) umsetzt.
摘要翻译：本发明涉及的运动安装与基体部（8）和一个在基座部分（8）和所述可倾斜的关于至少一个保持构件倾斜轴线相对于安装（7）。本发明提出的是，在纵向方向上连接到所述基体部分（8）通过的第一接头（25）的保持器的至少一个枢转杆（22，23）和与所述保持部（7）经由所述第一铰链（25）的形成所述枢转杆的一个齿轮（22，23）隔开的连接，第二铰链（27，24，28），其中所述基体部分（8），所述枢转杆（22，23）和所述保持部（7），所述的一个的运动枢转杆（22，23）在所述保持部（7）相对于所述基座部分（8）的倾斜作用式驱动器（11，12）进行反应。

16. 发明申请

WO2007106492A2 DEVICE WITH PRECISE TIP-TILT ADJUSTMENT 审中-公开
标题翻译：具有精确倾斜调节的装置
公开(公告)号：WO2007106492A2
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/US2007/006325
申请日：2007-03-13
申请人： BOOKHAM TECHNOLOGY PLC , ZHENG, Bing , CHRISTMAN, Joseph
发明人： ZHENG, Bing , CHRISTMAN, Joseph
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B7/1825 , G02B7/023 , G02B7/1822
摘要： A device assembly (216) for positioning a device (222) in a precision apparatus (10) includes a first housing (224), a second housing (226), a movement ball joint (229), and a locking ball joint (249). The first housing (224) retains the device (222). The second housing (226) is coupled to an apparatus frame (12). The movement ball joint (229) facilitates movement of the first housing (224) relative to the second housing (226). The locking ball joint (249) facilitates locking of the first housing (224) to the second housing (226). The movement ball joint (229) can guide movement of the first housing (224) relative to the second housing (226). For example, the first housing (224) can include a first guide surface (230) and the second housing (226) can include a second guide surface (232). In this embodiment, the guide surfaces (230) (232) cooperate to form the movement ball joint (229). Additionally, each of the guide surfaces (230) (232) can form a portion of a sphere.
摘要翻译：一种用于将装置（222）定位在精密装置（10）中的装置组件（216）包括第一壳体（224），第二壳体（226），运动球形接头（229）和锁定球窝接头（249））。第一壳体（224）保持装置（222）。第二壳体（226）联接到装置框架（12）。移动球接头（229）有助于第一壳体（224）相对于第二壳体（226）的移动。锁定球接头（249）有助于将第一壳体（224）锁定到第二壳体（226）。运动球接头（229）可引导第一壳体（224）相对于第二壳体（226）的运动。例如，第一壳体（224）可以包括第一引导表面（230），并且第二壳体（226）可以包括第二引导表面（232）。在该实施例中，引导表面（230）（232）协作以形成运动球接头（229）。另外，每个引导表面（230）（232）可以形成球体的一部分。

17. 发明申请

WO2007084448A1 OPTICAL ASSEMBLY WITH ADJUSTABLE SENSORS 审中-公开
标题翻译：光学组件与可调节传感器
公开(公告)号：WO2007084448A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/US2007/001019
申请日：2007-01-16
申请人： BOOKHAM TECHNOLOGY PLC , GREEN, Evan Drake, Harriaman , IACONO, Carl , PIETERSE, Jan-Willem
发明人： GREEN, Evan Drake, Harriaman , IACONO, Carl , PIETERSE, Jan-Willem
IPC分类号： G02B7/182
CPC分类号： G02B7/1827 , G02B7/1822 , G02B7/1825 , G02B7/20
摘要： A device assembly (16) for a precision apparatus (10) includes a device housing (30), a device (32), a device mover assembly (34), and a measurement system (36). The device mover assembly (34) moves the device (32) relative to the device housing (30) about a first axis and about a second axis that is orthogonal to the first axis. The measurement system (36) monitors movement of the device (32). The measurement system (36) monitors movement of the device (32) and can include a first sensor assembly (260) that monitors movement about the first axis and a second sensor assembly (262) that monitors movement about a second axis. Each sensor assembly (260) (262) can include a sensor adjuster (474) (476) that adjusts the position of a portion of the respective sensor assembly (260) (262) to independently tune the sensor assemblies (260) (262) and independently enhance the performance of each sensor assembly (260) (262). Further, each sensor assembly (260) (262) can be a magnetic type sensor.
摘要翻译：一种用于精密设备（10）的设备组件（16）包括设备壳体（30），设备（32），设备移动器组件（34）和测量系统（36）。装置移动器组件（34）围绕第一轴线和与第一轴线正交的第二轴线相对于装置壳体（30）移动装置（32）。测量系统（36）监视设备（32）的移动。测量系统（36）监测设备（32）的运动并且可以包括监测关于第一轴线的运动的第一传感器组件（260）和监测关于第二轴线的运动的第二传感器组件（262）。每个传感器组件（260）（262）可以包括传感器调节器（474）（476），其调节相应传感器组件（260）（262）的一部分的位置以独立调谐传感器组件（260）（262）并且独立地增强每个传感器组件（260）（262）的性能。此外，每个传感器组件（260）（262）可以是磁性型传感器。

18. 发明申请

WO2005111687A1 HALTERUNG FÜR OPTISCHE ELEMENTE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN SYSTEMS MIT EINER SOLCHEN HALTERUNG 审中-公开
标题翻译：支持用于生产该等持有人的光学系统的光学元件和方法
公开(公告)号：WO2005111687A1
公开(公告)日：2005-11-24
申请号：PCT/DE2005/000891
申请日：2005-05-10
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DAMM, Christoph , PESCHEL, Thomas , ZEITNER, Uwe, Detlef , FEIGL, Torsten , BANSE, Henrik
发明人： DAMM, Christoph , PESCHEL, Thomas , ZEITNER, Uwe, Detlef , FEIGL, Torsten , BANSE, Henrik
IPC分类号： G02B7/18
CPC分类号： G02B7/181 , G02B7/1822 , G02B13/143 , G02B17/061
摘要： Die Erfindung betrifft eine Halterung für optische Elemente und Verfahren zur Herstellung eines optischen Systems mit einer solchen Halterung. Sie kann besonders vorteilhaft in Verbindung mit optischen Elementen eingesetzt werden, die für elektromagnetische Strahlung mit sehr kleinen Wellenlängen eingesetzt werden. Gemäss der gestellten Aufgabe soll eine dauerhafte Justiergenauigkeit mit entsprechend fixierten optischen Elementen erreicht werden können. Bei der erfindungsgemässen Halterung sind an einem Träger drei Halteelemente vorhanden, mit denen das jeweilige optische Element befestigt ist. Die drei Halteelemente weisen jeweils zwei Festkörpergelenke auf, wobei eines der Festkörpergelenke eine Bewegung in einem Freiheitsgrad und das jeweils andere Festkörpergelenk auch Bewegungen in weiteren Freiheitsgraden ermöglichen. Die Halteelemente sind stoffschlüssig an einer Fläche mit dem optischen Element verbunden. Bei der Erfindung können auch weitere optische Elemente an einer solchen Halterung befestigt werden.
摘要翻译：本发明涉及一种光学元件和方法的光学系统的制造具有这种保持器的保持器。它们可以特别有利地在与用于电磁辐射具有非常小的波长的光的元件结合使用。根据所陈述的问题是一个永久的对准精度可以与相应的固定的光学元件来实现。在根据本发明的被设置在载体上，与相应的光学元件安装三个固定元件支架。三个支撑件分别具有两个固体关节，所述固态接头允许在其它自由度的一个自由度和其它固体体关节运动，运动之一。保持元件被一体地贴合到光学元件的表面上。在本发明中，附加的光学元件可以附接到这样的保持器。

19. 发明申请

WO2004066010A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES FACETTENSPIEGELS 审中-公开
标题翻译：用于生产面镜
公开(公告)号：WO2004066010A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/EP2004/000331
申请日：2004-01-17
申请人： CARL ZEISS SMT AG , WEISS, Markus , SEIFERT, Andreas , HEISLER, Andreas , DORNHEIM, Stefan
发明人： WEISS, Markus , SEIFERT, Andreas , HEISLER, Andreas , DORNHEIM, Stefan
IPC分类号： G02B7/182
CPC分类号： B82Y10/00 , G02B7/1822 , G02B7/1824 , G03F7/70141 , G03F7/70166 , G03F7/702 , G03F7/70233 , G03F7/70825
摘要： Bei einem Verfahren zur Herstellung eines Facettenspiegels 24 mit mehreren Spiegelfacetten 12 und 12', insbesondere für eine Beleuchtungseinrichtung in einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie und hier insbesondere für die Verwendung mit einer Beleuchtung im Bereich des extremen Ultravioletts wird in einem ersten Verfahrensschritt die Spiegelfacette 12,12' gefertigt. Danach wird in einem zweiten Verfahrensschritt die Winkelabweichung der optischen Achse der Spiegelfläche jeder der Spiegelfacetten gegenüber der Normalen 20 der Spiegelfacette 12,12' ermittelt. Anschliessend wird in einem dritten Verfahrensschritt in Kenntnis der im zweiten Verfahrensschritt ermittelten Messwerte für die jeweilige Spiegelfacette 12,12' eine Aufnahmebohrung 22 in eine Trägerplatte 16 eingebracht. Die Aufnahmebohrung 22 ist hinsichtlich der zu erzielenden Winkelstellung bereits um den im zweiten Verfahrensschritt gemessenen Messwert korrigiert. Dann werden die Spiegelfacetten 12,12' in die für die jeweilige Spiegelfacette 12,12' vorgesehene Aufnahmebohrung 22 eingesetzt, wonach eine erneute Messung der Ausrichtung der Spiegeloberfläche 15 jeder Spiegelfacette 12,12' erfolgt. Abschliessend erfolgt eine Nachbearbeitung der Spiegeloberfläche 15 der Spiegelfacette 12,12' zum Erzielen der endgültigen geforderten Winkelgenauigkeit.
摘要翻译：在用于制造一个面反射镜24具有多个反射镜的小面12和12”，尤其是用于照明装置中用于微光刻的投射曝光设备，并且特别是对于具有光在极端紫外线在第一工艺步骤中使用的方法，该镜面是12,12- “制造。此后，在第二方法步骤中，每个反射镜的反射镜表面的光轴的角度偏差刻面相对于镜面12,12的法线20“确定。随后，接收孔被放置在支撑板16 22第三方法步骤对于在用于相应的镜面12,12”第二工艺步骤的测量值所确定的。容纳孔22已经通过在第二工艺步骤中的测量值相对于要实现的角位置所测量的校正。然后，镜面被用来12,12“其中，每个镜面12,12”提供了一种接收孔22，此后每个镜面12,12的反射镜表面15的取向的一个新的测量“发生。最后完成的镜面12,12“以达到最终所需的角度精度的镜面15的返工。

20. 发明申请

WO2004029685A1 OPTICAL ELEMENT, METHOD FOR MANUFACTURING SUCH AN ELEMENT AND A METHOD FOR ALIGNING A LIGHT BEAM AND SUCH AN ELEMENT 审中-公开
标题翻译：光学元件，制造这种元件的方法和用于对准光束和这样一个元件的方法
公开(公告)号：WO2004029685A1
公开(公告)日：2004-04-08
申请号：PCT/IB2003/004187
申请日：2003-09-23
申请人： KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. , VULLERS, Rudolf, J., M.
发明人： VULLERS, Rudolf, J., M.
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G11B7/131 , G02B6/422 , G02B6/4225 , G02B7/023 , G02B7/1822 , G11B7/133 , G11B7/1353 , G11B7/1374 , G11B7/22
摘要： Optical element, provided with a receiving plane (10) comprising a receiving section (11) for receiving at least one light beam (2), wherein the receiving plane (10) is provided with at least one light-detection element (3) being arranged to detect whether at least part of said light beam is projected thereon.Further, the invention relates to a method for manufacturing an optical element, wherein the optical element substrate is provided with the at least one light-detection element, using at least one thin layer deposition technique.
摘要翻译：光学元件设置有包括用于接收至少一个光束（2）的接收部分（11）的接收平面（10），其中所述接收平面（10）设置有至少一个光检测元件（3）布置成检测所述光束的至少一部分是否在其上投影。此外，本发明涉及一种用于制造光学元件的方法，其中所述光学元件基板设置有所述至少一个光检测元件，使用至少一个薄层沉积技术。

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