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11. 发明申请

WO2017071861A1 MESSAUFNEHMER MIT EINER ZU SCHWINGUNGEN ANREGBAREN MESSLEITUNG UND VERSTEIFUNGSSTEGEN 审中-公开
标题翻译：用振动测量法测量车辆并附着在振动条上
公开(公告)号：WO2017071861A1
公开(公告)日：2017-05-04
申请号：PCT/EP2016/071197
申请日：2016-09-08
申请人： TRUEDYNE SENSORS AG
发明人： HUBER, Christof , REITH, Patrick , FETH, Hagen
IPC分类号： G01F1/84
CPC分类号： G01F1/8404 , G01F1/8409 , G01F1/8445 , G01F1/8495
摘要： Es ist ein Messaufnehmer zur Messung mindestens einer Messgröße, insb. einer Dichte, eines Durchflusses und/oder einer Viskosität, eines Fluids, mit mindestens einer im 5 Messbetrieb vom Fluid durchströmten Messleitung (1, 1 '), die mindestens einen zu Schwingungen anregbaren Leitungsabschnitt (3, 29, 35), insb. einen geraden Leitungsabschnitt (3, 29, 35), aufweist, und einer Erregereinrichtung (E) zur Anregung einer Nutzschwingungsmode, bei der der Leitungsabschnitt (3, 29, 35) Schwingungen in einer vorgegebenen Schwingungsebene (x-y) ausführt, beschrieben, bei dem insb. auch bei100 langer Betriebsdauer eine hohe mechanische Stabilität des Leitungsabschnitts (3, 29, 35) und eine wirksame Störmodenunterdrückung erzielt wird, indem auf einander gegenüberliegenden Außenseiten des Leitungsabschnitts (3, 29, 35) senkrecht zu einer Längsachse des Leitungsabschnitts (3, 29, 35) und senkrecht zur Schwingungsebene (x-y) der Nutzschwingungsmode verlaufende, in Richtung der Längsachse des 15Leitungsabschnitts (3, 29) voneinander beabstandete Versteifungsstege (23, 33, 33') vorgesehen sind.
摘要翻译：
它是用于测量至少一个被测＆OUML的传感器;道，尤其是一个流量和/或粘度BEAR T，流体的密度，具有在由流体中的5个测量操作的至少一个的通流＆ouml; 第m测量线（1，1“），包括至少一个可振动的管道部分（3，29，35），尤指的直线部（3，29，35），以及用于激发Nutzschwingungsmode的激发装置（e）中，其中，所述线部（3，29，35）以预定的振动面振动（XY）执行导航使用HRT，其中特别是也在100长的操作的期间，高机械稳定性BEAR。吨线路部（3，29，35）和一个描述有效圣＆ouml; rmodenunterdr导航用途ckung由垂直于L＆AUML彼此面对的导航用途berliegenden线路部（3，29，35）的金ROAD enseiten实现;所述线部（3，29，35）的纵向轴线和垂直于所述振荡平面（xy）的 Nutzschwingungsmode在L＆AUML的方向延伸;所述15Leitungsabschnitts的纵向轴线（3，29）隔开的加强肋（23，33，33“）被提供。

12. 发明申请

WO2007147786A1 SENSOR IN MIKROMECHANISCHER BAUWEISE ZUM MESSEN DES MASSENDURCHFLUSSE NACH DEM CORIOLIS-PRINZIP 审中-公开
标题翻译：传感器微机械结构用于测定质量后河科里奥利原理
公开(公告)号：WO2007147786A1
公开(公告)日：2007-12-27
申请号：PCT/EP2007/055946
申请日：2007-06-15
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , FRAHNOW, Roman , STECKENBORN, Arno
发明人： FRAHNOW, Roman , STECKENBORN, Arno
IPC分类号： G01F1/84
CPC分类号： G01F1/8495 , B81B3/0032 , B81B2201/0292 , B81B2201/058 , G01F1/8445 , G01F1/8477
摘要： Die Erfindung betrifft einen Sensor (11) in mikromechanischer Bauweise zum Messen eines Massendurchflusses nach dem Coriolis-Prinzip. Dafür werden zwei Leitungsabschnitte (13) schwingungsfähig in einer Aufhängung (24) gelagert, wodurch sie gegenphasig zu Schwingungen angeregt werden können (wesentlich für das Messprinzip). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass zwischen den die Leitungsabschnitte (13) bildenden Lagen (12a, 12b) eine Abstandslage (18) vorgesehen ist, die einen Abstand zwischen den Leitungsabschnitten (13) im Ruhezustand gewährleistet. Hierdurch wird eine gegenphasige Schwingung der Leitungsabschnitte überhaupt erst möglich, da hierdurch eine Kollision der sich annähernden Leitungsabschnitte (13) verhindert wird.
摘要翻译：本发明涉及微机械设计的一个传感器（11），用于根据所述科里奥利原理测量质量流量。对于这一点，两个线路部分（13）中的悬浮液（24），由此它们可被激发相位相反（为测量的原理必要的）振动安装能够振荡的。根据它提供的是，引线部（13）之间的本发明形成的层（12A，12B）提供了一种隔离层（18），其确保在休息线路区段（13）之间的距离。以这种方式，线路区段的反相位振动是在所有可能的，因为防止了接近线路区段（13）的该冲突。

13. 发明申请

WO0107875A9 CORIOLIS EFFECT TRANSDUCER 审中-公开
标题翻译： CORIOLIS效应传感器
公开(公告)号：WO0107875A9
公开(公告)日：2002-05-10
申请号：PCT/US0040416
申请日：2000-07-18
申请人： ANALOG DEVICES INC
发明人： GEEN JOHN ALBERT
IPC分类号： G01C19/5719 , G01C25/00 , G01F1/84 , G01F25/00 , G01F1/20
CPC分类号： G01F1/8445 , G01C19/5719 , G01C25/005 , G01F25/0007
摘要： A method for testing a Coriolis transducer (10) having a mass (14) adapted to vibrate along a vibratory direction, here axis (21), in a resonant structure (47) and undergo a displacement along a sensitive axis (27) perpendicular to the vibration, in response to an angular rate about a mutually perpendicular rate sensing axis (25). In the absence of an angular rate forces are applied on the mass along the direction of vibration and along the sensitive axis, in a predetermined ratio, N. The output of the transducer is measured in response thereto. With such method, a knowm test input angular rate is simulated. Thus the proportionality constant K can be calculated without expensive rate table testing. Further, because the test can be performed with a transducer prior to packaging, electronics integrally formed on the same semiconductor wafer of the mechanical transduction structure can be easily trimmed to provide a desired proportionality constant K.
摘要翻译：一种用于测试科里奥利传感器（10）的方法，其具有适于在谐振结构（47）中沿着振动方向（在此为轴线）21振动的质量块（14），并且沿垂直于...的敏感轴线（27）进行位移响应于围绕相互垂直的速率感测轴线（25）的角速度的振动。在不存在角速度的情况下，沿着振动方向和沿着敏感轴的质量沿着该预定比率N对质量施加力。响应于此，测量换能器的输出。通过这种方法，可以模拟一个知识测试输入角速率。因此，可以在没有昂贵的速率表测试的情况下计算比例常数K. 此外，由于可以在封装之前用换能器进行测试，所以可以容易地修整在机械转导结构的同一半导体晶片上整体形成的电子线以提供期望的比例常数K.

14. 发明申请

WO0136918A3 CORIOLIS MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
标题翻译： CORIOLIS质量流量控制器
公开(公告)号：WO0136918A3
公开(公告)日：2002-03-21
申请号：PCT/US0029837
申请日：2000-10-30
申请人： MICRO MOTION INC
发明人： BARGER MICHAEL J , DILLE JOSEPH C , WHITELEY JEFFREY L , SCOTT TIMOTHY W
IPC分类号： G01F1/84 , G05D7/06
CPC分类号： G01F1/8409 , G01F1/8404 , G01F1/8422 , G01F1/8427 , G01F1/8436 , G01F1/844 , G01F1/8445 , G01F1/8472 , G05D7/0635
摘要： A capacitive pick off sensor for a mass flow measurement device is disclosed. The mass flow measurement device includes a flow sensor tube and a drive device for vibrating the flow sensor tube. The capacitive pick off sensor includes at least one conductive plate connectable to a first voltage potential and adapted to be situated adjacent the flow sensor tube which is connected to a second voltage potential. The conductive plate is positioned relative to the flow sensor tube so as to define a gap therebetween. The capacitance between the conductive plate and the flow sensor tube varies due to the relative motion of the conductive plate and the flow sensor tube when the flow sensor tube is vibrated. In other aspects of the present invention, the flow sensor tube is situated in a housing and the drive device is positioned outside the housing for vibrating the flow sensor tube.
摘要翻译：公开了一种用于质量流量测量装置的电容式拾取传感器。质量流量测量装置包括流量传感器管和用于振动流量传感器管的驱动装置。电容式拾取传感器包括至少一个可连接到第一电压电位的导电板，并且适于邻近于连接到第二电压电位的流量传感器管。导电板相对于流量传感器管定位，以便在它们之间形成间隙。导电板和流量传感器管之间的电容由于当流量传感器管振动时导电板和流量传感器管的相对运动而变化。在本发明的其他方面，流量传感器管位于壳体中，并且驱动装置位于壳体的外部，用于使流量传感器管振动。

15. 发明申请

WO9516897A3 SINGLE PATH RADIAL MODE CORIOLIS MASS FLOW RATE METER 审中-公开
标题翻译：单路径径向流量计流量计
公开(公告)号：WO9516897A3
公开(公告)日：1995-09-21
申请号：PCT/US9414569
申请日：1994-12-14
申请人： DIRECT MEASUREMENT CORP
发明人： CAGE DONALD
IPC分类号： G01F1/84 , G01L9/00 , G01N9/00
CPC分类号： G01F15/024 , G01F1/8409 , G01F1/8413 , G01F1/8418 , G01F1/8431 , G01F1/8445 , G01F1/8463 , G01F1/849 , G01L9/0008 , G01N9/002 , G01N2009/006
摘要： A flow meter apparatus for measuring the mass flow rate of a fluid using the Coriolis principle. A single straight flow conduit is employed which is vibrated in a radial mode of vibration. Coriolis forces are thereby produced along the walls of the flow conduit which deform the conduit's cross-sectional shape as a function of mass flow rate. Additional embodiments are disclosed employing vibration of selected portions of the flow conduit walls. In addition, a method is described to determine the pressure and the density of a fluid by simultaneously vibrating a flow conduit in two modes of vibration and thereby determining pressure and density based on changes in each frequency.

16. 发明申请

WO2017123089A1 CORIOLIS FLOWSENSOR 审中-公开
标题翻译： CORIOLIS流量传感器
公开(公告)号：WO2017123089A1
公开(公告)日：2017-07-20
申请号：PCT/NL2017/050014
申请日：2017-01-13
申请人： BERKIN B.V.
发明人： LÖTTERS, Joost Conrad , GROENESTEIJN, Jarno , SANDERS, Remco Gerardus Petrus , WIEGERINK, Remco John
IPC分类号： G01F1/84
CPC分类号： G01F1/8445 , G01F1/8427 , G01F1/849
摘要： The invention relates to a Coriolis flow sensor, comprising at least a Coriolis–tube, wherein the flow sensor comprises excitation means for causing the tube to oscillate, as well as detection means for detecting at least a measure of displacements of parts of the tube during operation. According to the invention, the detection means comprise two detection elements that are positioned on both sides of the Coriolis tube, wherein the detection elements partly overlap each other.
摘要翻译：本发明涉及科里奥利流量传感器，其至少包括科里奥利管，其中流量传感器包括用于使管振荡的激励装置以及用于检测至少一个测量值的检测装置操作过程中部分管子的位移。根据本发明，检测装置包括位于科里奥利管两侧的两个检测元件，其中检测元件部分地彼此重叠。

17. 发明申请

WO2015066045A1 FLOW SENSING WITH MICROMACHINED DUAL-TUBE RESONATOR 审中-公开
标题翻译：用MICROMACHINED双管谐振器的流量感测
公开(公告)号：WO2015066045A1
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：PCT/US2014/062681
申请日：2014-10-28
申请人： PUTTY, Michael William , SMITH, Richard Thayre , NAJAFI, Nader
发明人： PUTTY, Michael William , SMITH, Richard Thayre , NAJAFI, Nader
IPC分类号： G01F1/68 , G01F1/78 , G01F1/84
CPC分类号： G01N11/04 , G01F1/8445 , G01F1/8472 , G01N9/002 , G01N9/32 , G01N2009/006
摘要： In some embodiments, an apparatus includes a base structure and a tube. The tube has a first tube portion, a second tube portion substantially parallel to the first tube portion, an inlet portion, and an outlet portion. The tube is configured to have a material pass from the inlet portion to the outlet portion. The apparatus further includes a drive element in contact with the tube. The drive element is configured to vibrate the tube such that the first tube portion conducts vibrational movements out of phase with vibrational movements of the second tube portion. The apparatus also includes a sensing element, at least a portion of which is in contact with the tube. The sensing element is configured to sense deflections of the first tube portion and the second tube portion such that at least one property of the material is determined.
摘要翻译：在一些实施例中，一种装置包括基部结构和管。管具有第一管部分，基本上平行于第一管部分的第二管部分，入口部分和出口部分。管被配置为具有从入口部分到出口部分的材料通过。该装置还包括与管接触的驱动元件。所述驱动元件构造成使所述管振动，使得所述第一管部分与所述第二管部分的振动运动异相地进行振动运动。该装置还包括感测元件，其至少一部分与管接触。感测元件被配置为感测第一管部分和第二管部分的偏转，使得确定材料的至少一个性质。

18. 发明申请

WO2009111487A1 PROCESS OF MAKING A MICROTUBE AND MICROFLUIDIC DEVICES FORMED THEREWITH 审中-公开
标题翻译：制造微波和微流控器件的方法
公开(公告)号：WO2009111487A1
公开(公告)日：2009-09-11
申请号：PCT/US2009/035902
申请日：2009-03-03
申请人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC. , SPARKS, Douglas Ray , NAJAFI, Nader
发明人： SPARKS, Douglas Ray , NAJAFI, Nader
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00 , H01L21/302 , H01L21/304 , C23F1/00 , G01D21/02
CPC分类号： B81B1/002 , B01L3/5027 , B81B2201/0242 , B81B2201/055 , B81B2203/0323 , B81B2203/0338 , B81C1/00 , B81C1/00119 , B81C1/0019 , B81C1/00357 , B81C1/00468 , G01F1/84 , G01F1/8404 , G01F1/8409 , G01F1/844 , G01F1/8445 , Y10T428/13 , Y10T436/11 , Y10T436/25 , Y10T436/2575
摘要： A process for producing a micromachined tube microtube (50) suitable for microfluidic devices. The process entails isotropically etching a surface of a first substrate (18) to define therein a channel (20) having an arcuate cross-sectional profile, and forming a substrate structure (30) by bonding the first substrate (18) to a second substrate (22) so that the second substrate (22) overlies and encloses the channel (20) to define a passage (32) having a cross-sectional profile of which at least half is arcuate. The substrate structure (30) can optionally then be thinned to define a microtube (50) and walls thereof that surround the passage (32).
摘要翻译：一种用于生产适用于微流体装置的微加工管微管（50）的方法。该方法需要各向同性蚀刻第一衬底（18）的表面以在其中限定具有弓形横截面轮廓的通道（20），并且通过将第一衬底（18）结合到第二衬底（18）来形成衬底结构（30）（22），使得所述第二基板（22）覆盖并包围所述通道（20）以限定具有至少一半弧形的横截面轮廓的通道（32）。衬底结构（30）可任选地被减薄以限定围绕通道（32）的微管（50）及其壁。

19. 发明申请

WO2009076287A2 SYSTEM AND METHOD OF ASSESSING A PROPERTY OF A FLOWING FLUID 审中-公开
标题翻译：评估流动流体特性的系统和方法
公开(公告)号：WO2009076287A2
公开(公告)日：2009-06-18
申请号：PCT/US2008/085866
申请日：2008-12-08
申请人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC. , SPARKS, Douglas Ray , SMITH, Richard Thayre , NAJAFI, Nader
发明人： SPARKS, Douglas Ray , SMITH, Richard Thayre , NAJAFI, Nader
IPC分类号： G01N33/00 , G01F17/00 , G01N27/00 , G01D21/02 , B81B7/00
CPC分类号： G01F1/8445 , G01N9/002
摘要： A fluid sensing system and method for sensing properties of a flowing fluid. The system and method entail a microfluidic device (10) having a micromachined tube (14) supported above a substrate (12), a tube passage (20) within a freestanding portion (16) of the tube (14), an inlet (36a) and outlet (36b) in fluidic communication with the tube passage (20) and an exterior of the microfluidic device (10), elements (22) for vibrating the freestanding portion (16) of the tube (14), and elements (24) for sensing movement of the freestanding portion (16) of the tube (14) so as to measure the vibration frequency and/or deflection of the freestanding portion (16) and produce therefrom at least one output corresponding to a property of a fluid flowing through the tube passage (20). The system and method further entail placing the microfluidic device (10) in a flowing fluid so that a fraction of the fluid enters the tube passage (20), and processing the output of the device (10) to compute a property of the fluid.
摘要翻译：用于感测流动流体特性的流体传感系统和方法。该系统和方法需要微流体装置（10），其具有支撑在基底（12）上方的微加工管（14），管（14）的独立部分（16）内的管通道（20），入口（36a ）和与管通道（20）和微流体装置（10）的外部流体连通的出口（36b），用于振动管（14）的独立部分（16）的元件（22），以及元件（24 ），用于感测管（14）的独立式部分（16）的运动，从而测量独立式部分（16）的振动频率和/或偏转并由此产生至少一个对应于流体流动特性的输出通过管通道（20）。该系统和方法还需要将微流体装置（10）放置在流动流体中，使得一部分流体进入管通道（20），并处理装置（10）的输出以计算流体的性质。

20. 发明申请

WO01036918A2 CORIOLIS MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
标题翻译： CORIOLIS质量流量控制器
公开(公告)号：WO01036918A2
公开(公告)日：2001-05-25
申请号：PCT/US2000/029837
申请日：2000-10-30
IPC分类号： G01F1/84 , G01F1/00
CPC分类号： G01F1/8409 , G01F1/8404 , G01F1/8422 , G01F1/8427 , G01F1/8436 , G01F1/844 , G01F1/8445 , G01F1/8472 , G05D7/0635
摘要： A capacitive pick off sensor for a mass flow measurement device is disclosed. The mass flow measurement device includes a flow sensor tube and a drive device for vibrating the flow sensor tube. The capacitive pick off sensor includes at least one conductive plate connectable to a first voltage potential and adapted to be situated adjacent the flow sensor tube which is connected to a second voltage potential. The conductive plate is positioned relative to the flow sensor tube so as to define a gap therebetween. The capacitance between the conductive plate and the flow sensor tube varies due to the relative motion of the conductive plate and the flow sensor tube when the flow sensor tube is vibrated. In other aspects of the present invention, the flow sensor tube is situated in a housing and the drive device is positioned outside the housing for vibrating the flow sensor tube.
摘要翻译：公开了一种用于质量流量测量装置的电容式拾取传感器。质量流量测量装置包括流量传感器管和用于振动流量传感器管的驱动装置。电容式拾取传感器包括至少一个可连接到第一电压电位的导电板，并且适于邻近于连接到第二电压电位的流量传感器管。导电板相对于流量传感器管定位，以便在它们之间形成间隙。导电板和流量传感器管之间的电容由于当流量传感器管振动时导电板和流量传感器管的相对运动而变化。在本发明的其他方面，流量传感器管位于壳体中，并且驱动装置位于壳体的外部，用于使流量传感器管振动。

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