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11. 发明申请

WO2015074865A1 VAKUUMPUMPEN-SYSTEM SOWIE VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES VAKUUMPUMPEN-SYSTEMS 审中-公开
标题翻译：真空系统和运行方法真空系统
公开(公告)号：WO2015074865A1
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：PCT/EP2014/073681
申请日：2014-11-04
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人： BEYER, Christian , DREIFERT, Thomas , MÜLLER, Roland , SCHNEIDENBACH, Daniel , PELIKAN, Max , SCHILLER, Dirk , STRATMANN, Dirk
IPC分类号： F04C28/06 , F04C25/02 , F04C28/02 , F04C28/08
CPC分类号： F04C28/06 , F04C18/16 , F04C25/02 , F04C28/02 , F04C28/08 , F04C2220/12
摘要： Ein Vakuumpumpen-System weist eine insbesondere als Schraubenpumpe ausgebildete Vakuumpumpe (10) auf. Dies dient zur Evakuierung einer Kammer (16). Bei Erreichen eines gewünschten Solldrucks in der Kammer (16) kann das Vakuumpumpen-System in einem Standby-Modus betrieben werden. Hierzu ist eine Auslassleitung (22) über eine Bypassleitung (24) mit einer Einlassleitung (30) verbunden. Im Standby-Modus ist das Einlassventil (18) geschlossen und ein Bypassventil (26) geöffnet, so dass von der Vakuumpumpe (10) Medium im Kreis gefördert werden kann. Hierdurch wird die Vakuumpumpe im Wesentlichen auf Betriebstemperatur gehalten.
摘要翻译：真空泵系统包括形成在特别是作为螺杆泵真空泵（10）的开口。这用于抽空的腔室（16）。一旦到达在所述腔室（16）所期望的目标压力，该真空抽吸系统能够以待机模式操作。用于此目的的出口管道（22）经由具有入口导管中的旁路管线（24）（30）连接。在待机状态下，所述进气门（18）关闭，旁通阀（26）打开，使得真空泵（10）培养基中，可以在一个圆进料。以这种方式，所述真空泵在工作温度下基本上保持。

12. 发明申请

WO2014009375A3 VERFAHREN ZUM STEUERN EINER VAKUUMPUMPE 审中-公开
公开(公告)号：WO2014009375A3
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：PCT/EP2013/064496
申请日：2013-07-09
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人： DREIFERT, Thomas , KRESSE, Wolfgang , GREVEN, Alois , WYBRANIETZ, Manfred , GRIEGEL, Thomas
IPC分类号： F04B17/03 , H02P27/08 , H02P7/00 , F04D19/04 , F04D25/06 , F04D27/00 , F04D29/66
摘要： Ein Verfahren zur Reduktion der Geräuschentwicklung einer mit einem Frequenzumrichter betriebenen Vakuumpumpe (10), die einen von einem Frequenzumrichter (14) angesteuerten Pumpenmotor (12) aufweist, ist dadurch gekennzeichnet, dass der Motorstrom gemessen wird und in Abhängigkeit von dem Motorstrom die dem Motor (12) von dem Frequenzumrichter (14) zugewiesene Schaltfrequenz derart eingestellt wird, dass die Geräuschentwicklung der Vakuumpumpe (10) reduziert ist.

13. 发明申请

WO2015197396A1 VAKUUMPUMPEN-SYSTEM 审中-公开
标题翻译：真空系统
公开(公告)号：WO2015197396A1
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：PCT/EP2015/063287
申请日：2015-06-15
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人： DREIFERT, Thomas , MÜLLER, Roland , PELIKAN, Max , SCHILLER, Dirk , SCHNEIDENBACH, Daniel , STRATMANN, Dirk
IPC分类号： F04C23/00 , F04C25/02 , F04C28/26 , F04C18/16 , F04C18/12 , F04C28/02
CPC分类号： F04C23/005 , F04C18/12 , F04C18/126 , F04C18/16 , F04C25/02 , F04C28/02 , F04C28/26 , F04C29/0085 , F04C29/124
摘要： Ein Vakuumpumpen-System zur Evakuierung einer Kammer, insbesondere einer Schleusen-oder Prozesskammer weist eine, vorzugsweise als Schraubenpumpe ausgebildete Hauptvakuumpumpe (12) auf. Ein Einlass (30) der Hauptvakuumpumpe (12) ist mit der zu evakuierenden Kammer verbunden. In Förderrichtung der Hauptvakuumpumpe (12) ist eine Hilfsvakuumpumpe (24) angeordnet, bei der es sich insbesondere um eine Roots-Pumpehandelt. Ein Auslassbereich (32) der Hauptvakuumpumpe (12) ist einerseits mit einem Hauptauslass (34) und andererseits mit einem Einlass (38) der Hilfsvakuumpumpe verbunden. Ferner ist ein Auslass (40) der Hilfsvakuumpumpe mit dem Hauptauslass (34) verbunden.
摘要翻译：用于抽空室的真空抽气系统，特别是负载锁定或处理室具有一种，优选构造为螺杆泵主真空泵（12）。主真空泵（12）的入口（30）被连接到要被抽空的腔室中。在主真空泵（12）的辅助真空泵的输送方向（24）布置，这是特别罗茨泵。主真空泵（12）的出口（32）被连接在一方面与主出口（34）和，另一方面与辅助真空泵的入口（38）。此外，辅助真空泵与所述主出口（34）的出口（40）连接。

14. 发明申请

WO2014095432A1 PUMPSTAND ZUM PUMPEN LEICHTER GASE SOWIE VERWENDUNG DES PUMPSTANDES 审中-公开
标题翻译：泵泵轻气体和泵之前的使用
公开(公告)号：WO2014095432A1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/EP2013/075835
申请日：2013-12-06
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人： SCHILLER, Dirk , SCHNEIDENBACH, Daniel , DREIFERT, Thomas
IPC分类号： F04B37/14 , F04B37/18 , F04B41/06
CPC分类号： F04B37/18 , F04B41/06 , F04C18/12 , F04C18/16 , F04C23/001 , F04C23/008 , F04C25/02 , F04C2210/105 , F04C2210/224 , F04C2220/12
摘要： Ein Pumpstand zum Pumpen leichter Gase weist eine erste mit der zu evakuierenden Kammer (10) verbundene trockenverdichtende Pumpe (12) sowie eine mit der ersten trockenverdichtende Pumpe (12) verbundene zweite trockenverdichtende Pumpe (14) auf. Ebenfalls weist der Pumpstand weitere parallel oder in Reihe zu diesen Pumpen angeordnete trockenverdichtende Pumpen auf. Zur Vermeidung der Verunreinigung der leichten Gase aufgrund des Vorsehens ölgedichteter Pumpen oder aufgrund des Vorsehens von Purgegas handelt es sich erfindungsgemäß um trockenverdichtende Pumpen, die gegenüber der Umgebung hermetisch dicht sind, sodass niedrige Prozessdrücke in der zu evakuierenden Kammer (10) erzeugt werden können.
摘要翻译：用于泵送轻气体泵送单元具有第一与所述腔室被抽空（10）连接到所述干式泵（12）以及一个与连接到第二干泵（14）的第一干泵（12）。此外，泵站进一步平行或布置为与这些泵，干泵系列。为了避免轻气体的污染由于设置油密封泵或由于提供吹扫气体被根据本发明的干式泵，其被气密地从环境密封，使得在所述腔室低的工艺压力下被抽真空（10）可以生成。

15. 发明申请

WO2006061317A1 VAKUUM-ANLAGE MIT EINER SCHRAUBENPUMPE MIT ZWISCHENEINLASS 审中-公开
标题翻译：与进水口之间的螺旋泵真空系统
公开(公告)号：WO2006061317A1
公开(公告)日：2006-06-15
申请号：PCT/EP2005/056043
申请日：2005-11-17
申请人： LEYBOLD VACUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang , KLIEM, Bernhard , OSTROWSKY, Lothar
发明人： DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang , KLIEM, Bernhard , OSTROWSKY, Lothar
IPC分类号： F04C18/16 , F04C18/08 , F04C28/10
CPC分类号： F04C18/086 , F04C18/16 , F04C25/02 , F04C28/10 , F04C29/122 , F04C2220/10 , F04C2250/101
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuum-Anlage (10) mit einem ersten Behälter (12) mit einem ersten Vakuum-Arbeitsdruck und einem zweiten Behälter (14) mit einem zweiten Arbeitsdruck, der über dem ersten Arbeitsdruck liegt. Bei herkömmlichen Vakuum-Anlagen (10) werden zur Erzeugung der beiden verschiedenen Arbeitsdrücke mindestens zwei Vakuumpumpen eingesetzt. Aufgabe der Erfindung war es demgegenüber, den Aufwand zur Erzeugung der verschiedenen Arbeitsdrücke in einer Vakuum-Anlage (10) zu verringern. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass eine Vakuum-Schraubenpumpe (16) einen Gas-Zwischeneinlass (22) aufweist, der zwischen dem Haupteinlass (20) und dem Auslass (18) einer Schraubenpumpe (16) angeordnet ist. Auf diese Weise können mit der Schraubenpumpe zwei verschiedene Arbeitsdrücke erzeugt werden.
摘要翻译：本发明涉及一种真空系统（10），包括具有第一真空工作压力和具有第二工作压力比所述第一工作压力高的第二容器（14）的第一容器（12）。在传统的真空系统（10），用于产生两个不同的操作压力，使用至少两个真空泵。这是本发明的一个目的是减少产生在真空装置（10）的不同的操作压力所需要的努力。该目的创造性地实现，即具有气体中间入口（22）连接在所述主入口（20）和所述出口（18）之间的真空螺杆泵（16）设置的螺旋泵（16）。通过这种方式，可以用螺杆泵可以产生两种不同的工作压力。

16. 发明申请

WO2003071134A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2003071134A1
公开(公告)日：2003-08-28
申请号：PCT/EP2003/001598
申请日：2003-02-18
申请人： LEYBOLD VAKUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang , GROSS, Hans-Rochus , KRIEHN, Hartmut
发明人： DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang , GROSS, Hans-Rochus , KRIEHN, Hartmut
IPC分类号： F04C27/00
CPC分类号： F04C27/009 , F04C2220/40
摘要： Die Vakuumpumpe (10) weist mindestens eine Rotorwelle (12) auf, die einen Rotorabschnitt (14) mit einem Rotor (16), einen Lagerabschnitt (18) mit einem Lager (20) und axial zwischen dem Rotorabschnitt (14) und dem Lagerabschnitt (18) eine Wellendichtungsanordnung (22) aufweist. Die Wellendichtungsanordnung (22) weist axial rotorseitig eine Gasdichtung (32) und lagerseitig eine Öldichtung (34) auf. Die Wellendichtungsanordnung (22) weist zwischen der Gasdichtung (32) und der Öldichtung (34) eine die Rotorwelle (12) umgebende Trennkammer auf, die durch mindestens einen Trennkammer-Lüftungskanal (60,62) belüftet wird. Hierdurch wird erreicht, dass die über der Gasdichtung abfallende Druckdifferenz und die über der Öldichtung abfallende Druckdifferenz eingestellt werden können. Durch entsprechende Einstellung kann vermieden werden, dass Öl von der Lagerseite durch die Öldichtung Richtung Trennkammer wandert.
摘要翻译：真空泵（10）具有至少一个转子轴（12）在其上的转子部分（14）具有转子（16）与轴承（轴承部（18）（20）和转子部分（14）和轴承部之间轴向 18）包括一个轴密封组件（22）。轴密封组件（22）包括沿轴向在转子侧的气体密封件（32）和轴承侧油封（34）。轴密封组件（22）包括围绕分离室的气体密封件（32）和油封（34）上的转子轴（12），其由至少一个分离室排放通道（60,62）之间的通风。这确保了跨越气体密封压力差和整个油封压力差的电压降的电压降可以被设置。通过适当的调整可通过油封朝向分离室移动时可避免从轴承侧的油。

17. 发明申请

WO2003081048A1 EXZENTERPUMPE UND VERFAHREN ZUM BETRIEB DIESER PUMPE 审中-公开
标题翻译：偏心泵及其操作方法本设备
公开(公告)号：WO2003081048A1
公开(公告)日：2003-10-02
申请号：PCT/EP2003/001597
申请日：2003-02-18
申请人： LEYBOLD VAKUUM GMBH , DREIFERT, Thomas
发明人： DREIFERT, Thomas
IPC分类号： F04C18/107
CPC分类号： F04C18/107 , F04C2220/50
摘要： Pumpe (1) mit einem Gehäuse (2) mit Einlass (28) und Auslass (29), mit einem Antrieb (5), mit einem ortsfesten, zu einer Mittelachse (9) zentrischem Zylinder (2), mit einem im Zylinder (2) exzentrisch kreisenden Verdränger (18), mit einem Kurbelantrieb (13) für den Verdränger (18), mit einem umlaufenden, sichelförmigen Förderraum (26) zwischen Zylinder (2) und Verdränger (18) und mit einem wendelförmigen Dichtelement (27, 27′, 27‘‘, 39) im Förderraum (26); es wird vorgeschlagen, dass sie als trockene Vakuumpumpe ausgebildet ist und dass der Verdränger (18) berührungsfrei im Zylinder (2) kreist.
摘要翻译：泵（1），具有一个壳体（2）具有入口（28）和出口（29）配有一个驱动器（5），具有固定的中心轴为中心的（9）气缸（2），其中一个（在气缸2内）偏心轨道置换器（18），（曲柄驱动器13）（用于置换器18），与所述气缸（2）和置换器（18）和（具有螺旋形密封件27，27'之间的周向，镰刀状输送空间（26）在泵送室，27 ''，39）（26）; 因此建议它被设计为干式真空泵和该置换器（18）公转，而不在气缸（2）中接触。

18. 发明申请

WO2011018370A2 VAKUUMPUMPENSYSTEM 审中-公开
标题翻译：真空系统
公开(公告)号：WO2011018370A2
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：PCT/EP2010/061140
申请日：2010-07-30
申请人： OERLIKON LEYBOLD VAKUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang
发明人： DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang
IPC分类号： F04C23/00
CPC分类号： F04C25/02 , F01C21/007 , F04B37/14 , F04C23/001 , F04C28/02 , F04C2230/604 , F04C2240/30 , F04C2240/70 , F04C2240/805
摘要： Ein Vakuumpumpensystem weist zwei Vakuumpumpen (12, 35) auf, die miteinander verbunden sind. Um ein kompaktes Vakuumpumpensystem zu schaffen, erfolgt die Verbindung der beiden Vakuumpumpen an unmittelbar mit dem Pumpengehäuse verbundenen Verbindungselementen ( 22, 38), die Verbindungsstellen (34) ausbilden und der Auslassflansch (46) der oberen Pumpe (35) direkt auf dem Einlassflansch (14) der unteren Pumpe (12) aufgesetzt wird, ohne dass hierdurch größere Kräfte oder Momente zu übertragen sind.
摘要翻译：的真空抽吸系统包括两个泵，其连接到彼此（12，35）。为了提供一种紧凑的真空泵系统，所述两个真空泵的连接是直接进行的连接到入口凸缘14上方的泵（35）的泵壳体的连接元件（22，38）形成连接点（34）和右（出口凸缘（46））放置在下部泵（12），如果没有这个更大的力或力矩要发送。

19. 发明申请

WO2006106069A1 WELLENDICHTUNG 审中-公开
标题翻译：轴封
公开(公告)号：WO2006106069A1
公开(公告)日：2006-10-12
申请号：PCT/EP2006/061185
申请日：2006-03-30
申请人： LEYBOLD VACUUM GMBH , DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang , KLIEM, Bernhard , THÖREN, Heinz
发明人： DREIFERT, Thomas , GIEBMANNS, Wolfgang , KLIEM, Bernhard , THÖREN, Heinz
IPC分类号： F16J15/447 , F04C27/00
CPC分类号： F16J15/406 , F04C18/16 , F04C27/009 , F04D29/104
摘要： Eine Wellendichtung, die insbesondere für Vakuumpumpen, wie Schraubenpumpen, geeignet ist, weist einen mit der Weile verbindbaren inneren DichtrÊng (18) und einen den inneren Dichtring ( 18) umgebenden äußeren DÊchtring (20) auf. In dem äußeren Dichtring (20) ist eine umlaufende Nut (30) vorgesehen, in die über einen Zuführkanal (22) Sperrgas eÊnleÊtbar ist. Ferner ist mit der Welle (10) eine Sperrgasscheibe (34) verbindbar, die einen in die Nut (30) weisenden Ansatz (32) aufweist. Hierdurch ist eine Sperrgaskammer (28) in der Nut (30) ausgebildet. Die Sperrgaskammer (28) ist über einen Kammerspalt (36), durch den das Sperrgas gelangen kann, mit einem Dichtspalt (40), der zwischen dem inneren und dem äußeren Dichtring (18, 20) angeordnet ist, verbunden . An den Dichtspalt (40) schließt sich eine durch den inneren und den äußeren Dichtring ( 18, 20) gebildete Trennkammer (42) an, die zur Sperrgasabfuhr mit einem Abführkanal (44) verbunden ist.
摘要翻译：轴封，其特别适用于真空泵，如螺杆泵，具有可连接与所述内而DichtrÊng（18）和围绕外DÊchtring（20）的内密封环（18）。在外部密封环（20）具有周向槽（30）设置，在其中一个供给通道（22）的密封气体是eÊnleÊtbar。另外，气体隔离片（34）可连接到具有在所述凹槽（30）凸耳（32）的对向的轴（10）。这导致在该槽中的阻挡气体室（28），（30）形成。密封气室（28）经由腔室间隙（36），通过该可通阻挡气体，与被设置在所述内和外密封环（18，20）之间的密封间隙（40）相连接。在密封间隙（40），由内和外密封环（18，20）形成的分离室（42）关闭时，其被连接到与排出通道（44）的阻挡气体放电。

20. 发明申请

WO2002073037A1 SCHRAUBENVAKUUMPUMPE MIT ZUSÄTZLICHEN STRÖMUNGSKÖRPERN 审中-公开
标题翻译：额外的流动BODIES螺杆真空泵
公开(公告)号：WO2002073037A1
公开(公告)日：2002-09-19
申请号：PCT/EP2002/000122
申请日：2002-01-09
申请人： LEYBOLD VAKUUM GMBH , GIEBMANNS, Wolfgang , DREIFERT, Thomas
发明人： GIEBMANNS, Wolfgang , DREIFERT, Thomas
IPC分类号： F04C18/08
CPC分类号： F04C29/122 , F04C18/084 , F04C18/16 , F04C29/0021
摘要： Die Erfindung betrifft eine Schraubenvakuumpumpe mit zwei Rotoren (4, 5), die jeweils eine Nabe (6, 7) und ein Gewinde (8, 9) aufweisen, sowie mit einem Gehäuse (2), in dem die Rotoren mit ineinander greifenden Gewinden derart untergebracht sind, dass sie gemeinsam mit dem Gehäuse saugseitig angeordnete Eintrittsquerschnitte (15, 16) sowie druckseitig angeordnete Auslassquerschnitte (29) bilden und während der Drehbewegung der Rotoren (4, 5) eine Förderung von Gasen von der Saugseite zur Druckseite bewirken; zur Verbesserung der Ein- und Ausströmverhältnisse wird vorgeschlagen, dass die Rotoren (4, 5) saugseitig mit Strömungskörpern (21, 22; 26, 27, 28; 36, 37) ausgerüstet sind, die den Eintrittsquerschnitten (15, 16) vorgelagert und derart ausgebildet sind, dass sie die Zuströmverhältnisse der zu fördernden Gase zu den Eintrittsquerschnitten (15, 16) verbessern.
摘要翻译：本发明涉及一种螺杆真空泵与两个转子（4,5），每一个具有一个毂（6,7）和螺纹（8，9），并与壳体（2），其中具有啮合螺纹，转子形式被收容，即一起在排列有与壳体入口的横截面（15,16）和所述压力侧的出口横（29）的吸入侧和转子的旋转过程中（图4，5）使从吸入侧到压力侧气体的输送; 以改善的输入和Ausströmverhältnisse提议与流体吸入侧的转子（4,5）（21，22; 26，27，28; 36，37）被提供，该入口的横截面的上游（15，16）和以这样的方式被形成为气体的流入条件被输送到所述入口的横截面（15,16）改善。

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