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11. 发明申请

WO2018063907A1 CHLORODISILAZANES 审中-公开
公开(公告)号：WO2018063907A1
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：PCT/US2017/052644
申请日：2017-09-21
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： HWANG, Byung K. , REKKEN, Brian D. , TELGENHOFF, Michael D. , ZHOU, Xiaobing
IPC分类号： C01B33/107 , C01B21/068
摘要： Chlorodisilazanes; silicon-heteroatom compounds synthesized therefrom; devices containing the silicon-heteroatom compounds; methods of making the chlorodisilazanes, the silicon-heteroatom compounds, and the devices; and uses of the chlorodisilazanes, silicon-heteroatom compounds, and devices.
摘要翻译：氯二硅氮烷; 由其合成的硅 - 杂原子化合物; 含有硅杂原子化合物的器件; 制备氯二硅氮烷，硅杂原子化合物和器件的方法; 以及氯二硅氮烷，硅杂原子化合物和器件的用途。

12. 发明申请

WO2017106615A1 SYNTHESIS OF DISILANYLAMINES AND POLYSILANYLAMINES 审中-公开
标题翻译：二乙烯基胺和聚硅氧烷胺的合成
公开(公告)号：WO2017106615A1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：PCT/US2016/067127
申请日：2016-12-16
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： ZHOU, Xiaobing
IPC分类号： C07F7/10 , C07F7/20 , H01L21/02
CPC分类号： C07F7/20 , C07F7/10
摘要： The present invention provides processes for preparing silanylamines, such as disilanylamines and polysilanylamines, and compositions comprising the silanylamines. In one embodiment, the present invention provides processes for preparing a silanylamine compound, the processes comprising reacting a starting compound of general formula RR 1 N-(Si x H 2x+1 ) with an amine compound of general formula R 2 R 3 NH to produce the silanylamine compound of general formula R 2 m R 3 n -N(Si x H 2x+1 ) 3-m-n .
摘要翻译：本发明提供了用于制备硅烷胺如二硅烷基胺和聚硅烷基胺的方法以及包含硅烷胺的组合物。在一个实施方案中，本发明提供了制备硅烷胺化合物的方法，所述方法包括使通式RR 1 N-（Si x H y） 2x + 1）与通式R 2 R 3 NH的胺化合物反应，生成通式R 2 2 S的硅烷基胺化合物（Si×2H×2x + 1）），其中R 1，R 2，R 3，R 4， <子> 3-MN

13. 发明申请

WO2017106587A1 TRIS(DISILANYL)AMINE 审中-公开
标题翻译： TRIS（DISILANYL）胺
公开(公告)号：WO2017106587A1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：PCT/US2016/067075
申请日：2016-12-16
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： REKKEN, Brian D. , ZHOU, Xiaobing , HWANG, Byung K. , KETOLA, Barry
IPC分类号： C07F7/02 , C07F7/20 , H01L21/02
CPC分类号： C07F7/20 , C07F7/10
摘要： A method for making tris(disilanyl)amine. The method comprises steps of: (a) contacting a disilanyl(alkyl)amine with ammonia to make bis(disilanyl)amine; and (b) allowing bis(disilanyl)amine to produce tris(disilanyl)amine and ammonia.
摘要翻译：一种制备三（二硅烷基）胺的方法。该方法包括以下步骤：（a）使二硅烷基（烷基）胺与氨接触以制备双（二硅烷基）胺; 和（b）使双（二硅烷基）胺生成三（二硅烷基）胺和氨。

14. 发明申请

WO2015184202A1 DIAMINOSILANE COMPOUNDS 审中-公开
标题翻译： DIAMINOSILANE化合物
公开(公告)号：WO2015184202A1
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：PCT/US2015/033075
申请日：2015-05-29
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： ZHOU, Xiaobing , REKKEN, Brian David
IPC分类号： C07F7/02 , C07F7/08 , C07F7/10
CPC分类号： C07F7/10 , C07F7/12 , C07F7/126 , C23C16/24 , C23C16/345 , C23C16/401 , C23C16/45553 , H01L21/02164 , H01L21/0217 , H01L21/02219 , H01L21/02271 , H01L21/02532 , H01L21/0262
摘要： Disclosed is a compound of formula (I): (R 1 R 2 N)Si n H 2n (NR 3 R 4 ) (I) wherein subscript n, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are as defined herein. Also disclosed are a method of making, intermediates useful therein, method of using, and composition comprising the compound of formula (I).
摘要翻译：公开了式（I）的化合物：（R1R2N）SinH2n（NR3R4）（I）其中下标n，R1，R2，R3和R4如本文所定义。还公开了制备其中有用的中间体，使用方法和包含式（I）化合物的组合物的方法。

15. 发明申请

WO2017200908A1 AMINOCHLOROHYDRIDODISILANES 审中-公开
公开(公告)号：WO2017200908A1
公开(公告)日：2017-11-23
申请号：PCT/US2017/032619
申请日：2017-05-15
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： CHANG, Noel , HWANG, Byung, K. , REKKEN, Brian, David , ZHOU, Xiaobing
IPC分类号： C07F7/10 , C23C16/24
摘要： Disclosed is a Silicon Precursor Compound for deposition, the Silicon Precursor Compound comprising a compound which is a disilane and which comprises at least one chloro group, at least one dialkylamino group and at least one hydrido group; a composition for film forming, the composition comprising the Silicon Precursor Compound and at least one of an inert gas, molecular hydrogen, a carbon precursor, nitrogen precursor, and oxygen precursor; a process of synthesizing the Silicon Precursor Compound; a method of forming a silicon-containing film on a substrate using the Silicon Precursor Compound; the silicon-containing film formed thereby; and a method of forming the Silicon Precursor Compound.
摘要翻译：公开了用于沉积的硅前体化合物，所述硅前体化合物包含为乙硅烷且包含至少一个氯基，至少一个二烷基氨基和至少一个氢基的化合物; 用于成膜的组合物，所述组合物包含硅前体化合物和惰性气体，分子氢，碳前体，氮前体和氧前体中的至少一种; 合成硅前体化合物的过程; 使用硅前体化合物在衬底上形成含硅膜的方法; 由此形成的含硅膜; 和形成硅前体化合物的方法。

16. 发明申请

WO2017106625A1 HIGH PURITY TRISILYLAMINE, METHODS OF MAKING, AND USE 审中-公开
标题翻译：高纯度三乙胺，制备方法和用途
公开(公告)号：WO2017106625A1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：PCT/US2016/067143
申请日：2016-12-16
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： KETOLA, Barry, M. , MADDOCK, Jesse, A. , REKKEN, Brian, D. , TELGENHOFF, Michael, D. , ZHOU, Xiaobing
IPC分类号： C07F7/10 , C07F7/20
CPC分类号： C07F7/20 , C07F7/10
摘要： A composition, comprising: trisilylamine and less than 5 ppmw of halogen. A method of making a silylamine comprising combining ammonia and a compound comprising aminosilane functionality, where the compound comprising aminosilane functionality is according to formula (I) R 1 N(R 2 )a(SiH 3 ) 2-a (I), where R 1 is an organic polymer, a C- 1-20 hydrocarbyl group or -SiR 3 3 1 , where R 3 is C 1-6 hydrocarbyl, R 2 is a C- 1-20 hydrocarbyl group, H, or -SiR 3 3 1 , where R 3 is as defined above, subscript a is 0 or 1, provided that R 1 and R 2 may be the same or different except if R 1 is phenyl, R 2 is not phenyl, under sufficient conditions to cause a reaction to form a silylamine and a byproduct.
摘要翻译：包含：三甲硅烷基胺和少于5ppmw的卤素的组合物。制备甲硅烷基胺的方法包括将氨和包含氨基硅烷官能团的化合物组合，其中包含氨基硅烷官能团的化合物根据式（I）R 1 N（R 2）（SiH（下标3））2-a（I），其中R 1是有机聚合物，C-1-C 烃基或-SiR 3 3的取代基取代，其中R 3为C≡1 -6烃基，R 2为C 1〜C 20烃基，H或-SiR 3所取代，其中R 3如上所定义，下标a为0或1，条件是R 1和R 3如上定义，除了如果R 1为苯基，R 2不为苯基，在足以引起反应形成的反应条件下，R 2可以是相同的或不同的甲硅烷胺和副产物。

17. 发明申请

WO2016191194A1 PENTACHLOROSILANE 审中-公开
公开(公告)号：WO2016191194A1
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：PCT/US2016/033263
申请日：2016-05-19
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： ZHOU, Xiaobing
IPC分类号： C23C16/34 , C23C16/40 , C23C16/455
CPC分类号： H01L21/02211 , C23C16/345 , C23C16/401 , C23C16/45527 , C23C16/45536 , C23C16/45553 , C23C16/50 , H01L21/02164 , H01L21/0217 , H01L21/02274 , H01L21/0228
摘要： Disclosed is a Silicon Precursor Compound for deposition, the Silicon Precursor Compound comprising pentachlorodisilane; a composition for film forming, the composition comprising the Silicon Precursor Compound and at least one of an inert gas, molecular hydrogen, a carbon precursor, nitrogen precursor, and oxygen precursor; a method of forming a silicon- containing film on a substrate using the Silicon Precursor Compound, and the silicon- containing film formed thereby.
摘要翻译：公开了用于沉积的硅前体化合物，包含五氯二硅烷的硅前体化合物; 用于成膜的组合物，所述组合物包含硅前体化合物和惰性气体，分子氢，碳前体，氮前体和氧前体中的至少一种; 使用硅前体化合物在基板上形成含硅膜的方法和由此形成的含硅膜。

18. 发明申请

WO2015184214A1 PROCESS OF SYNTHESIZING DIISOPROPYLAMINW-DISILANES 审中-公开
标题翻译：合成二取代亚甲基二恶烷的方法
公开(公告)号：WO2015184214A1
公开(公告)日：2015-12-03
申请号：PCT/US2015/033092
申请日：2015-05-29
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： ZHOU, Xiaobing , KETOLA, Barry M. , REKKEN, Brian David
IPC分类号： C07F7/02 , C07F7/08 , C07F7/10
CPC分类号： C07F7/10 , C07F7/12 , C07F7/126
摘要： Chemical processes comprise selectively synthesizing diisopropylamino-disilanes and reduction of chloride in aminosilanes, and the compositions comprise the diisopropylamino- disilanes and at least one reaction by-product prepared thereby. The diisopropylamino- disilanes are diisopropylamino-pentachlorodisilane and diisopropylamino-disilane.
摘要翻译：化学方法包括选择性合成二异丙基氨基二硅烷和在氨基硅烷中还原氯化物，并且组合物包含二异丙基氨基 - 二硅烷和由此制备的至少一种反应副产物。二异丙基氨基 - 二硅烷是二异丙基氨基 - 五氯二硅烷和二异丙基氨基 - 乙硅烷。

19. 发明申请

WO2017106632A1 METHOD FOR MAKING AN ORGANOAMINOSILANE; A METHOD FOR MAKING A SILYLAMINE FROM THE ORGANOAMINOSILANE 审中-公开
标题翻译：制备有机氨基硅烷的方法; 一种从有机氨基硅烷制备甲酰胺的方法
公开(公告)号：WO2017106632A1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：PCT/US2016/067152
申请日：2016-12-16
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： KETOLA, Barry, M. , MADDOCK, Jesse, A. , REKKEN, Brian, D. , TELGENHOFF, Michael, D. , ZHOU, Xiaobing
IPC分类号： C07F7/10 , C07F7/20
CPC分类号： C07F7/20 , C07F7/10
摘要： A method of making an organoaminosilane compound, comprising i) combining A) a compound comprising a primary or secondary amine, B) monosilane (SiH 4 ), and C) a catalyst, where the catalyst comprises magnesium or boron, where A), B) and C) are combined under sufficient conditions to form the organoaminosilane compound and hydrogen. A method of making a silylamine, the method comprising: i) forming an organoaminosilane compound by i) combining A) a compound comprising a primary or secondary amine, B) monosilane (SiH 4 ), and C) a catalyst, where the catalyst comprises magnesium or boron, and ii) combining ammonia and the organoaminosilane compound produced in i) under sufficient conditions to form a silylamine product and a byproduct, where the byproduct is a primary or secondary amine.
摘要翻译：一种制备有机氨基硅烷化合物的方法，包括i）将A）包含伯胺或仲胺，B）甲硅烷（SiH 4）的化合物和C）a）催化剂，其中催化剂包含镁或硼，其中A），B）和C）在足够的条件下结合以形成有机氨基硅烷化合物和氢。一种制备甲硅烷基胺的方法，所述方法包括：i）通过以下步骤形成有机氨基硅烷化合物：i）将A）包含伯胺或仲胺，B）甲硅烷（SiH 4）的化合物与C）催化剂，其中催化剂包含镁或硼，和ii）将氨和在i）中产生的有机氨基硅烷化合物在足够的条件下混合以形成甲硅烷基胺产物和副产物，其中副产物为伯胺或仲胺。

20. 发明申请

WO2016191199A1 DIISOPROPYLAMINOPENTACHLORODISILANE 审中-公开
公开(公告)号：WO2016191199A1
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：PCT/US2016/033273
申请日：2016-05-19
申请人： DOW CORNING CORPORATION
发明人： ZHOU, Xiaobing
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/34 , C23C16/32 , C23C16/24
CPC分类号： C23C16/45553 , C23C16/24 , C23C16/325 , C23C16/345 , C23C16/401
摘要： Disclosed is a Silicon Precursor Compound for deposition, the Silicon Precursor Compound comprising diisopropylamino-pentachlorodisilane, which is of formula (A): [(CH 3 ) 2 CH] 2 NSiCl 2 SiCl 3 (A); a composition for film forming, the composition comprising the Silicon Precursor Compound and at least one of an inert gas, molecular hydrogen, a carbon precursor, nitrogen precursor, and oxygen precursor; a method of forming a silicon- containing film on a substrate using the Silicon Precursor Compound, and the silicon- containing film formed thereby.
摘要翻译：公开了用于沉积的硅前体化合物，包含式（A）：[（CH 3）2 CH] 2 NSiCl 2·SiCl 3（A）的二异丙基氨基 - 五氯二硅烷的硅前体化合物; 用于成膜的组合物，所述组合物包含硅前体化合物和惰性气体，分子氢，碳前体，氮前体和氧前体中的至少一种; 使用硅前体化合物在基板上形成含硅膜的方法和由此形成的含硅膜。

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