专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

12. 发明申请

WO2006079739A1 PROCEDE DE MESURE DE VOLUME PAR PROFILOMETRIE OPTIQUE DE SURFACE DANS UN DSIPOSITIF MICROMECANIQUE ET ENSEMBLE DESTINE A UNE TELLE MESURE 审中-公开
标题翻译：用于通过微机电装置中的光学表面分布测量仪测量体积的方法和用于进行测量的系统
公开(公告)号：WO2006079739A1
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：PCT/FR2006/050045
申请日：2006-01-24
申请人： DEBIOTECH S.A. , CHAPPEL, Eric
发明人： CHAPPEL, Eric
IPC分类号： G01F22/00
CPC分类号： G01F22/00
摘要： Procédé de mesure de volume par prof ilométrie optique de surface dans un dispositif micromécanique (100) fluidique, le dispositif comprenant une plaquette de silicium (132) recouverte d'un plaque transparente (120) , au moins d'un cavité (138) étant formée entre les deux plaques et un organe mobile (133) formé dans la plaquette de silicium avec une surface de référence, le procédé comprenant les étapes suivantes : a) on dispose un appareil de prof ilométrie optique (10 , -50; 30 ; 70) de surface, b) on fournit des moyens d'acquisition et de traitement d'image (24, -44 ;64; 84) c) on place ledit organe mobile (133) dans une première puis une deuxième position et on active ledit appareil de prof ilométrie pour diriger un faisceau lumineux sur ladite face de référence, on active les moyens d'acquisition et de traitement d'image pour obtenir une image de ladite face de référence dans chacune des positions, et d) on compare les deux images pour déterminer la variation de volume de la cavité .
摘要翻译：本发明涉及一种在微机械流体装置（100）中的光学表面轮廓仪的体积测量方法，该方法包括：a）在提供和设置光学表面轮廓仪仪器（10; 50; 30; 70）时，b）在提供装置 ; 44; 64; 84），用于获取和处理由所述光学轮廓仪产生的图像; c）在随后位于第一和第二位置的位置上放置可动构件（133），以使得所述光学表面轮廓仪被引导到参考表面，激活图像获取和处理装置，用于获得在可动构件（133）的第二位置中的第一和之后的第一图像，以及d）在比较参考表面的所述第二图像时，以便确定由移动构件变形产生的腔（138）体积变化。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式