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    • 13. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON PHTHALOCYANINEN
    • 用于生产酞菁
    • WO2005066179A1
    • 2005-07-21
    • PCT/EP2004/014825
    • 2004-12-30
    • BASF AktiengesellschaftGESSNER, ThomasEBERT, Sophia
    • GESSNER, ThomasEBERT, Sophia
    • C07D487/22
    • C07D487/22
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von metallfreien Phthalocyaninen der Formel (I) durch Umsetzung eines ortho-Phthalodinitrils der Formel Ia in einem inerten Lösungsmittel mit einer Siedetemperatur von wenigstens 120°C (unter Normaldruck) in Gegenwart von Ammoniak, wobei in Formel (I) bzw. Ia die Variable n Werte von 1, 2, 3 oder 4 annehmen kann und die Reste R einen gegebenenfalls mit ein oder zwei C 1 -C 8 -Alkylgruppen substituierten fünf- oder sechsgliedrigen gesättigten stickstoffhaltigen heterocyclischen Ring bezeichnen, der über ein Ringstickstoffatom an den Benzolring gebunden ist und der noch ein oder zwei weitere Stickstoffatome oder ein weiteres Sauerstoff- oder Schwefelatom enthalten kann, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass die Umsetzung in Gegenwart eines Alkalimetallhydroxids oder Alkalimetallcarbonats durchgeführt wird.
    • 本发明涉及一种通过式Ia的邻 - 苯二甲腈反应在惰性溶剂中制备式(I)的无金属酞菁与至少120℃的沸点的处理(在常压下)在氨的存在下,其中(在式 I)或Ia,变量n可以采用的1,2,3或4个值,并且基团R表示任选被一个或两个C 1 -C 8烷基基团的五元或六元饱和含氮杂环环附连到环氮原子取代的 苯环连接和一个或两个另外的氮原子或另外的氧或硫原子,其特征在于该反应是在碱金属氢氧化物或碱金属碳酸盐的存在下进行。
    • 14. 发明申请
    • RESONANZSCANNER
    • 磁共振扫描仪
    • WO2002099504A2
    • 2002-12-12
    • PCT/EP2002/004118
    • 2002-04-12
    • SCHNEIDER LASER TECHNOLOGIES AGGESSNER, ThomasDÖTZEL, WolframKAUFMANN, ChristianMEHNER, JanHahn, RamonKURT, Steffen
    • GESSNER, ThomasDÖTZEL, WolframKAUFMANN, ChristianMEHNER, JanHahn, RamonKURT, Steffen
    • G02B26/10
    • G02B26/105B81B3/004B81B2201/047G02B26/0841
    • Resonanzscanner, bei dem ein Rahmen (3), eine Antriebsplatte (4), ein Spiegel (5) und Torsionsfedern (6, 7) ein Aktorteil (1) bilden, wobei die Antriebsplatte (4) innerhalb des Rahmens (3) durch zwei erste Torsionsfedern (6) so befestigt ist, dass die Antriebsplatte (4) um eine gemeinsame erste Torsionsachse (8) beider Torsionsfedern (6) schwingungsfähig ist, der Spiegel (5) innerhalb der Antriebsplatte (4) durch zwei zweite Torsionsfedern (7) so befestigt ist, dass der Spiegel (5) um eine gemeinsame zweite Torsionsachse (9) beider Torsionsfedern (7) schwingungsfähig ist und die erste Torsionsachse (8) und die zweite Torsionsachse (9) parallel zueinander verlaufen, weiterhin nur der Rahmen (3) des Aktorteils (1) auf Seitenwänden (10) eines kastenförmigen Statorteils (2) befestigt ist, auf einem Boden (11) des Statorteils (2) ein Antriebsmittel (Statorelektroden (15) oder Spule (24)) nur im Bereich der geometrisch flächenhaften Ausdehnung der Antriebsplatte (4) angeordnet ist und der Boden (11) im Bereich der geometrisch flachenhaften Ausdehnung des Spiegels (5) eine Ausnehmung (13) hat, die mindestens so groß bemessen ist, dass eine maximale mechanische Auslenkung des Spiegels (5) nicht durch den Boden (11) begrenzt wird, wobei das Antriebsmittel (Statorelektroden (15) oder Spule (24)) eine Kraft nur unmittelbar auf die Antriebsplatte (4) ausübt und diese Kraft einer periodischen Funktion folgt, deren Periode auf die Eigenfrequenz des Spiegels (5) abgestimmt ist, die sich Von der Eigenfrequenz der Antriebsplatte (4) unterscheidet.
    • 形式磁共振扫描器,其中,框架(3),驱动板(4),反射镜(5)和扭转弹簧(6,7)的致动器部(1),其中,所述驱动板(4)的框架(3)由两个第一内 扭转弹簧(6)被固定,以使驱动板(4)可摆动大约扭转共同的第一轴线(8)的两个扭转弹簧(6),反射镜(5)(4)固定由两个第二扭转弹簧(7),以使驱动板内 是反射镜(5)可摆动大约扭转共同的第二轴(9)的两个扭转弹簧(7)并平行于彼此的,扭转(8)和扭转(9)的所述第二轴的第一轴,还只在框架(3)的致动器部分的 的箱状的定子的侧壁(10)(1)(2)安装在所述定子的基部(11)(2)上,一个驱动装置(定子(15)或线圈(24))仅在驱动板的几何平面范围的区域 (4),以及d (11)在所述反射镜(5)的几何平棒膨胀区域具有它底部其至少尺寸使得镜(5)的最大机械偏转不是由底部(11)限定的凹部(13), 其中,所述驱动装置(定子((15)或线圈24))仅直接的力到驱动板(4)上施加和一个周期函数,随后通过其周期被调谐到反射镜(5)的固有频率上的力,从延伸 所述驱动板(4)的固有频率是不同的。
    • 15. 发明申请
    • MIKROSTRUKTUR, VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG, VORRICHTUNG ZUM BONDEN EINER MIKROSTRUKTUR UND MIKROSYSTEM
    • 微结构,其制造方法,装置来粘合一个微结构和微
    • WO2010085942A2
    • 2010-08-05
    • PCT/DE2010/000085
    • 2010-01-26
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.TECHNISCHE UNIVERSITÄT CHEMNITZBRÄUER, JörgGESSNER, ThomasHOFMANN, LutzFRÖMEL, JörgWIEMER, MaikLETSCH, HolgerBAUM, Mario
    • BRÄUER, JörgGESSNER, ThomasHOFMANN, LutzFRÖMEL, JörgWIEMER, MaikLETSCH, HolgerBAUM, Mario
    • B81C3/00
    • B81C3/001B81C2203/019B81C2203/032
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei das reaktive Mehrschichtsystem wenigstens eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen den Nanostrukturen befindliche, mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllte Bereiche aufweist. Die Erfindung beinhaltet ferner ein Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei für ein Ausbilden des reaktiven Mehrschichtsystems eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates unter Ausbildung vertikal ausgerichteter, voneinander beabstandeter Nanostrukturen strukturiert wird oder strukturiert abgeschieden wird und Bereiche zwischen den Nanostrukturen mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllt werden. Zudem enthält die Erfindung eine Vorrichtung zum Bonden einer Mikrostruktur, wobei die Vorrichtung eine öffen- und/oder schließbare, evakuierbare Bondkammer, in welcher die Mikrostruktur und die weitere Struktur einbringbar und zueinander justierbar sind, sowie einen mit der Bondkammer gekoppelten Aktivierungsmechanismus aufweist, mit welchem das aus reaktiven Nanostrukturen mit einem dazwischen befindlichen einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material ausgebildete reaktive Mehrschichtsystem der Mikrostruktur derart mechanisch, elektrisch, elektromagnetisch, optisch und/oder thermisch aktivierbar ist, dass zwischen den Nanoschichten eine selbstausbreitende, exotherme Reaktion stattfindet. Außerdem betrifft die Erfindung ein Mikrosystem, welches aus zwei Bondsubstraten und einem zwischen den Bondsubstraten liegenden Aufbau ausgebildet ist, der ein reagiertes, reaktives Schichtsystem aufweist, wobei das reagierte, reaktive Schichtsystem eine reagierte Strukturabfolge aus wenigstens einer auf dem Bondsubstrat vorgesehenen Oberflächenschicht mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen den Nanostrukturen mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllten Bereichen ist, wobei das Mikrosystem ein mit Biomaterial beschichteter Sensor ist und/oder Elemente aus polymerem Material und/oder wenigstens eine magnetische und/oder piezoelektrische und/oder piezoresistive Komponente aufweist.
    • 本发明涉及具有至少一个键合衬底的微结构和反应性多层系统,其中,所述反应性多层系统位于至少与垂直定向的,间隔开的纳米结构和纳米结构之间的键合衬底的表面层,具有至少一个反应物表示对所述纳米结构材料的材料填充 有区域。 本发明还包括一种制造微结构与至少一个键合衬底和反应性多层系统,其中,垂直取向的用于形成所述反应性多层系统中形成的,间隔的纳米结构被图案化或结构化的接合基板的一个表面层的纳米结构之间沉积的和区域的方法 表示对所述纳米结构材料的材料的反应物中的至少一个被填充。 此外,本发明包括联接到所述接合室激活机构用于结合微结构,其中该装置具有其中所述微结构和进一步的结构可以被插入,并调整为彼此可打开和/或关闭的,抽空的接合室的装置,和输出通过该 它由与居间表示对微结构的纳米结构材料的反应性多层系统的材料的反应物形成的反应性纳米结构是这样的机械,电,电磁,光学和/或热活化来进行,所述纳米层之间的自传播的放热反应。 此外,本发明涉及一种微系统,该系统由两个粘合基底的形成,并且位于键合衬底结构之间,其包括反应的反应层系统,其中所述反应的反应层系统的至少一个设置有垂直对齐的接合基板表面层上的反应结构序列, 隔开的纳米结构和填充在纳米结构之间具有至少一个表示对所述纳米结构材料的区域的材料的反应物,所述微系统是一个用生物材料传感器和/或聚合材料和/或至少一个磁和/或压电和元素 具有/或压阻元件。
    • 16. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABFORMEN VON STRUKTUREN
    • 用于形成结构的方法和装置
    • WO2007025519A2
    • 2007-03-08
    • PCT/DE2006/001506
    • 2006-08-29
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.OTTO, ThomasFRÖMEL, JörgNESTLER, JörgGESSNER, Thomas
    • OTTO, ThomasFRÖMEL, JörgNESTLER, JörgGESSNER, Thomas
    • B29C59/02B29C37/00
    • B29C59/02B29C37/0003B29C2059/023
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Abformen von Strukturen, bei denen ein Substrat (7) auf einem Substrat träger (1) positioniert wird, der ein oder mehrere integrierte Kanäle (5) zum Ansaugen des Substrates (7) mittels Unterdruck aufweist. Zwischen dem Substratträger (1) und dem Substrat (7) wird beim vorliegenden Verfahren eine Zwischenplatte (4) eingesetzt, die nach dem Prägevorgang vom Substrat (7) getrennt wird, indem der Substrat träger (1) und ein Werkzeugträger (2) , von dem das Prägewerkzeug (3) bei diesem Schritt gehalten wird, auseinander bewegt werden. Die Zwischenplatte (4) wird anschließend vom Substratträger (1) entfernt und das Substrat (7) durch entgegen gesetzte Bewegung von Substrat träger (1) und/oder Werkzeugträger (2) mit dem Substratträger (1) in Kontakt gebracht und durch Ansaugen gehalten. Im nächsten Schritt wird das Substrat (4) vom Prägewerkzeug (3) getrennt, indem der Substrat träger (1) und der Werkzeugträger (2) , von dem das Prägewerkzeug (3) gehalten wird, auseinander bewegt werden. Das vorliegende Verfahren und die zugehörige Vorrichtung ermöglichen ein schnelles und automatisierbares Wechseln des Substrates sowie ein automatisiertes Trennen des Substrates vom Prägewerkzeug.
    • 本发明涉及一种用于模制结构的方法和装置,其中基板(7)位于具有一个或多个集成通道(图1)的基板载体(1)上。 5)用于借助于负压吸引基板(7)。 之间的Substrattr BEAR从基板(7)通过在衬底&AUML的TR分离机动;亨特(1)和基片(7)的中间板(4)中采用本发明的方法中,后镨&AUML GER(1)和一个 在此步骤中工具(3)保持在其上的工具架(2)被移开。 随后通过衬底载体(1)和/或工具载体(2)与衬底载体(2)的相对运动,中间板(4)随后从衬底载体(1)移除并且衬底(7)移动。 1)接触并通过吸力保持。 在下一步骤中,通过保持衬底载体(1)和保持冲压工具(3)的工具保持器(2),将衬底(4)与冲压工具(3)分离。 被分开。 本发明的方法和设备允许基板的快速和自动改变以及基板与测试工具的自动分离。
    • 18. 发明申请
    • MEMS VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP
    • MEMS传感器真空摩擦原理AFTER
    • WO2007134714A1
    • 2007-11-29
    • PCT/EP2007/004078
    • 2007-05-09
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.KURTH, SteffenTENHOLTE, DirkHILLER, KarlaKAUFMANN, ChristianGESSNER, ThomasDÖTZEL, Wolfram
    • KURTH, SteffenTENHOLTE, DirkHILLER, KarlaKAUFMANN, ChristianGESSNER, ThomasDÖTZEL, Wolfram
    • G01L9/00G01L21/22
    • G01L21/22
    • Die Erfindung betrifft ein Sensorelement zur Druckmessung, welches ein Substrat (5) und mindestens ein Massenelement (1) aufweist, das beabstandet zum Substrat (5) angeordnet und schwingungs fähig mit dem Substrat (5) und/oder einem relativ zum Substrat (5) unbeweglichen Trägerkörper (6) verbunden ist, so dass zwischen dem Massenelement (1) und dem Substrat (5) ein Spalt besteht, dessen Breite durch Schwingungen des Massenelements (1) variierbar ist. In der den Spalt begrenzenden Fläche des Substrats (5) befindet sich mindestens eine Vertiefung und/oder mindestens eine Durchführung, die zur Reduktion der Dämpfung der Schwingung des Massenelements durch das das Massenelement (1) umgebende Gas oder Plasma dient. Das Sensorelement findet insbesondere Anwendung in Drucksensoren zur Messung von Drücken im Vakuumbereich. Durch die Verwendung des erfindungsgemäßen Sensorelements als Druckaufnehmer lassen sich maximale Drücke bis in den Bereich des atmosphärischen Luftdrucks erfassen. Die tiefsten zu bestimmenden Drücke liegen im Bereich von 10 -6 mbar.
    • 本发明涉及的传感器元件,用于测量压力,包括:基板(5)和至少一个质量元件,其与所述衬底间隔开的(1)(5)和振动能够与基板(5)和/或相对于所述基板(5) 固定支撑体(6)连接,从而使接地元件(1)与基板(5)之间有一间隙,其宽度由所述质量元件的振动(1)是可变的。 在所述衬底的所述间隙界定表面(5)是至少一个凹部和/或至少一个通道,其用于减少,通过该(1)质量构件周围的气体或等离子体质量构件的振动的阻尼。 该传感器元件具有用于在真空范围测量压力在压力传感器的特定应用。 通过使用本发明作为一个压力换能器的最大压力的传感器元件可以被记录到大气压力的面积。 最深的待确定的压力在10 -6 毫巴的范围内。