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    • 14. 发明申请
    • TESTSTRUKTUREN ZUR UEBERPRUEFUNG DER POSITIONIERGENAUIGKEIT BEI MIKROELEKTRONISCHEN SCHALTKREISEN
    • 测试结构检查电子微电路的定位
    • WO2009112456A1
    • 2009-09-17
    • PCT/EP2009/052723
    • 2009-03-09
    • X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AGLERNER, Ralf
    • LERNER, Ralf
    • G01R31/26G03F7/20H01L21/66H01L23/544
    • G03F7/70658G03F7/70633H01L22/34
    • Vorgeschlagen wird eine Teststruktur zur Überprüfung der Positioniergenauigkeit der Prozessschritte einer Metallisierung bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltkreise. Eine elektrisch leitfähige Untergrundschicht (1) hat eine geometrisch begrenzte Flächenausdehnung. Eine über der Untergrundschicht (1) befindliche erste elektrisch isolierende Schicht (2) und eine über der ersten elektrisch isolierenden Schicht (2) liegende zu kontaktierende Leitschicht (3), die eine bezüglich der vorgegebenen Positioniergenauigkeit und Größe von vier Durchgangsleitern (4) abgestimmte, geometrisch begrenzte Flächenausdehnung aufweist, sind vorgesehen. Eine über der Leitschicht (3) befindliche zweite elektrisch isolierende Schicht (5) hat vier Durchgangsleiter (4), die in definierter Lage zueinander und zum Zentrum der zu kontaktierenden Leitschicht (3) liegen. Eine über der zweiten elektrisch isolierenden Schicht (5) liegende elektrisch leitenden Anschlussschicht (6) steht, mit den Durchgangsleitern (4) in Verbindung. Durch die Überlappung der Flächenausdehnung der Durchgangsleiter (4) mit der Leitschicht (3) erfolgt ein Kontakt zwischen der Anschlussschicht (6) und der Leitschicht. Es ist wenigstens ein elektrischer Anschluss an der Untergrundschicht (1) sowie wenigstens ein elektrischer Anschluss an der Anschlussschicht (6) vorgesehen, wobei bei Anlegen einer Spannung an die Anschlüsse (7, 8) festzustellen ist, ob ein Strompfad zwischen der Anschlussschicht (6) und der Untergrundschicht (1) vorhanden ist. Die Teststruktur wird in einem Verfahren zur Überprüfung der Positioniergenauigkeit bei der Herstellung von ICs eingesetzt.
    • 公开了用于在微电子电路的制造测试的金属化的处理步骤的定位精度的测试结构。 导电性基材层(1)具有一几何学上限定的表面的程度。 位于一个副基体层上面(1)第一电绝缘层(2)和所述第一电绝缘层上(2),其设置于由(3),其具有相对的直通导体(4)相匹配的四个预定的位置精度和尺寸的导电层接触, 几何具有有限的表面程度,提供了。 一个位于第二电绝缘层(5)具有四个通导体(4)在限定的位置,以彼此和(3)在导电层的中心到接触谎言导电层(3)的上方。 一个第二电绝缘层上方(5),其设置导电连接层(6)是通过在组合的导体(4)与所述反应。 通过经由导体(4)具有所述导电层(3)的表面区域的重叠,连接层(6)和所述导电层之间的接触下进行。 有基础层(1)上的至少一个电连接器和所述连接层(6),其特征在于,在加电压时给终端的应用(7,8)是,以确定至少一个电连接是否连接层之间的电流路径(6) 和底涂层(1)的存在。 该测试结构的方法中的用于在IC制造验证所述定位精度。
    • 18. 发明申请
    • BEHÄLTER MIT EINER VERSCHLUSS-KOMBINATION AUS DECKELRING NACH ART EINES EINDRÜCKDECKELS UND WIEDERVERSCHLUSSKAPPE
    • 与A型压并再次VERSCHLUSSKAPPE的盖环的锁暗集装箱
    • WO2007107580A1
    • 2007-09-27
    • PCT/EP2007/052667
    • 2007-03-20
    • IMPRESS METAL PACKAGING SAKEILBERG, BirgerSPICKERMANN, Winfried
    • KEILBERG, BirgerSPICKERMANN, Winfried
    • B65D51/20
    • B65D51/20Y10T29/49826
    • Es ist ein Behälter zu bilden, bei dem einerseits das abgefüllte Fluid durch die - den Gefahrgutanforderungen entsprechende - Verpackung ausreichend geschützt ist und bei einfacher Ausbildung der Verschluss-Kombination ein einfaches Erstverschließen des gefüllten Behälters und ein leichtes Öffnen und Wiederverschließen erreicht werden. Vorgeschlagen wird dazu ein Behälter für beispielsweise Farbe, mit einem zum Erstverschließen dienenden Eindrückdeckel (6). Er hat einen Deckelring (7) mit an diesem fluidicht befestigter Folie (12), die eine vom Deckelring innen begrenzte Öffnung verschließt. Es ist eine zum Wiederverschließen des Behälters dienende Deckelkappe (15) vorgesehen. Der Erstverschluss (7, 12) und der Wiederverschluss (15) können wahlweise jeder einzeln oder - zu einer Einheit vormontiert - gemeinsam beim Erstverschließen des gefüllten Behälters mittels Druck in Richtung einer Achse (4) des Behälters in eine dicht verschließende Stellung gebracht werden.
    • 它是形成其中一方面,通过瓶装流体的容器 - 得到充分保护的包装和填充容器的简单Erstverschließen,易于开启和重闭可与盖的组合件的一个简单的设计来实现 - 的危险要求适当。 提出了例如,彩色的容器,具有服务于Erstverschließen插头盖(6)。 它有一个盖环(7),其封闭由盖开环界定的内部该流体层附片(12)。 它是用于重新封闭容器罩盖(15)每份。 每个罐的Erstverschluss(7,12)和再封闭件(15),单独地,或 - 预组装成一个单元 - 一起在填充容器的Erstverschließen通过在容器(4)被带入一个密封位置闭合的轴的方向上的压力的装置。