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    • 91. 发明申请
    • OPTICAL ELEMENT, LITHOGRAPHIC APPARATUS INCORPORATING SUCH AN ELEMENT, METHOD OF MANUFACTURING AN OPTICAL ELEMENT
    • 光学元件,包含这种元件的光刻设备,制造光学元件的方法
    • WO2013113537A3
    • 2013-09-26
    • PCT/EP2013050395
    • 2013-01-10
    • ASML NETHERLANDS BV
    • SINGH HARMEET
    • G03F7/20G02B5/18G02B5/20G21K1/04
    • G03F7/70575B82Y10/00G02B5/1838G02B5/203G02B5/208G03F7/70191G03F7/702G21K1/062G21K1/067G21K2201/064
    • A spectral purity filter is integrated with a collector optic (CO) in an EUV lithography apparatus. The element is coated on at least one surface (410) with a multilayer stack comprising a plurality of alternating material layers (for example Mo, Si) suitable for reflecting radiation of EUV wavelength. To manufacture the element, a substrate (402) is provided with a three-dimensional profile (410a, 412, 410b) on a scale much larger than the wavelength of EUV radiation. The multilayer stack is then applied as a series conformal coatings formed by atomic layer deposition on the substrate after formation of said profile. The profile, as reproduced in the MLM coating (310a, 312, 310b), forms a spectral purity filter. Unwanted radiation such as infrared radiation will be scattered or diffracted so that a reduced portion is reflected in the same direction as the reflected EUV radiation. The profile may be designed to form a phase grating, or a scattering texture.
    • 光谱纯度滤光片与EUV光刻设备中的收集器光学器件(CO)集成。 该元件用至少一个表面(410)涂覆有多层叠层,该叠层包括适于反射EUV波长的辐射的多个交替材料层(例如Mo,Si)。 为了制造元件,衬底(402)设置有比EUV辐射的波长远大得多的三维轮廓(410a,412,410b)。 然后在形成所述轮廓之后,将多层叠层施加为通过原子层沉积形成在衬底上的串联保形涂层。 如在MLM涂层(310a,312,310b)中再现的轮廓形成光谱纯度滤光片。 诸如红外辐射之类的不需要的辐射将被散射或衍射,使得减少的部分以与反射的EUV辐射相同的方向被反射。 该轮廓可以被设计成形成相位光栅或散射纹理。
    • 95. 发明申请
    • 近赤外反射フィルムおよびこれを用いた近赤外反射ガラス
    • 近红外反射膜和近红外反射玻璃
    • WO2013129335A1
    • 2013-09-06
    • PCT/JP2013/054809
    • 2013-02-25
    • コニカミノルタ株式会社中島 彰久
    • 中島 彰久
    • G02B5/28B32B7/02G02B5/26
    • G02B5/208B32B7/02B32B17/10449B32B27/08B32B27/18B32B27/281B32B27/30B32B27/32B32B27/34B32B27/36B32B27/365B32B2250/05B32B2255/10B32B2255/20B32B2255/205B32B2264/102B32B2307/202B32B2307/306B32B2307/412B32B2307/416B32B2307/418B32B2307/516B32B2307/518B32B2307/732B32B2419/00B32B2605/00G02B5/282G02B5/285
    • 【課題】可視領域に生じうるリップル等の反射ピークを抑制し、優れた近赤外領域の反射ピークを示す近赤外反射フィルムを提供する。 【解決手段】支持体と、前記支持体上に配置された、高屈折率層と低屈折率層とが交互に積層された誘電多層膜と、を有する、近赤外反射フィルムであって、任意の前記高屈折率層および当該高屈折率層に隣接する前記低屈折率層が、1.1≧(dH×nH)/(dL×nL)>1または1>(dH×nH)/(dL×nL)≧0.9(式中、dHは高屈折率層の厚さを表し、nHは高屈折率層の屈折率を表し、dLは低屈折率層の厚さを表し、nLは低屈折率層の屈折率を表し、dH×nHは高屈折率層の光学膜厚を表し、dL×nLは低屈折率層の光学膜厚を表す。) を満たし、前記誘電多層膜が、高屈折率層(屈折率n 1 H、厚さd 1 H)および低屈折率層(屈折率n 1 L、厚さd 1 L)のそれぞれ少なくとも3つからなる第1の誘電膜群と、前記第1の誘電膜群の支持体とは反対の面に接する高屈折率層(屈折率n 2 H、厚さd 2 H)および低屈折率層(屈折率n 2 L、厚さd 2 L)のそれぞれ少なくとも3つからなる第2の誘電膜群と、からなる誘電膜群セットを有し、この際、前記誘電膜群セットが、1.10≧d 2 H/d 1 H>1および1.10≧d 2 L/d 1 L>1を満たす、近赤外反射フィルム。
    • [问题]提供一种近红外区域具有优异的反射峰值的近红外反射膜,其中抑制了可见光区域中可能出现的波纹等反射峰。 [解决方案]具有支撑体的近红外反射膜和设置在支撑体上的电介质多层膜,其中高折射率层和低折射率层交替层叠,其中任意的高折射率 1和1>(dH×nH)/(dL×nL)> = 0.9(dH×nH)/(dL×nL)> 1 其中dH表示高折射率层的厚度,nH表示高折射率层的折射率,dL表示低折射率层的厚度,nL表示低折射率层的折射率, 折射率层,dH×nH表示高折射率层的光学膜厚度,dL×nL表示低折射率层的光学膜厚),电介质多层膜具有电介质膜组 其包括第一电介质膜组,其包含至少三个 高折射率层(折射率n1H,厚度d1H)和低折射率层(折射率n1L,厚度d1L)的第二电介质膜组以及包含至少三个高折射率层 (折射率n2H,厚度d2H)和与支撑体相邻的第一电介质膜组的相反侧的低折射率层(折射率n2L,厚度d2L),满足关系式1.10> = d2H / d1H> 1和1.10> = d2L / d1L> 1。
    • 98. 发明申请
    • SOLAR WINDOW AND SOLAR WALL STRUCTURE AND METHOD
    • 太阳窗和太阳墙结构和方法
    • WO2013062576A2
    • 2013-05-02
    • PCT/US2011/058298
    • 2011-10-28
    • SOLARPATH, INC.KAPANY, Narinder Singh
    • KAPANY, Narinder Singh
    • H01L31/048
    • G02B5/208G02B1/11G02B5/08H01L31/0488Y02E10/50
    • A window includes first and second panes and a frame coupled to the first and second panes to form an air gap there between. The window further includes an electrical generator disposed in the air gap configured to convert electromagnetic radiation to electricity. The window further includes a venting system configured to vent heat from the air gap away from the first pane or the second pane. A construction panel includes a pane, a construction substrate, and a frame that form an air gap therebetween. An electrical generator and an air venting system are in the air gap. First and second reflective coatings are respectively on first surfaces of the pane and the construction substrate. A water circulator may also be in the air gap. The reflective coatings reflect IR to heat water in the water circulator and heat air in the air gap. First and second antireflective coatings are respectively on a second surface of the pane and on the first reflective coating. The second surface faces away from the air gap. The antireflective coatings transmit electromagnetic radiation to the electrical generator for electricity generation.
    • 窗口包括第一和第二窗格以及耦合到第一和第二窗格的框架,以在其之间形成气隙。 窗口还包括设置在空气间隙中的发电机,其被配置为将电磁辐射转换成电。 窗口还包括排气系统,该排气系统构造成将空气中的热量从第一窗格或第二窗格排出。 建筑面板包括一个窗格,一个建筑基板和一个在其间形成气隙的框架。 发电机和排气系统处在气隙中。 第一和第二反射涂层分别在玻璃板和构造基板的第一表面上。 水循环器也可以在气隙中。 反射涂层反射IR,加热水循环器中的水,并加热气隙中的空气。 第一和第二抗反射涂层分别位于窗格的第二表面和第一反射涂层上。 第二表面背离气隙。 抗反射涂层将电磁辐射传输到发电机用于发电。