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    • 1. 发明申请
    • X-RAY ABSORPTION MEASUREMENT SYSTEM
    • X射线吸收测量系统
    • WO2015187219A8
    • 2017-01-05
    • PCT/US2015018553
    • 2015-03-03
    • SIGRAY INC
    • LEWIS SYLVIA JIA YUNYUN WENBINGKIRZ JANOSLYON ALAN FRANCIS
    • G01N23/083G01T1/16
    • G01N23/063G21K1/067G21K2201/062G21K2201/064H01J35/08H01J2235/086H01J2235/087
    • This disclosure presents systems for x-ray absorption fine structure (XAFS) measurements that have x-ray flux and flux density several orders of magnitude greater than existing compact systems; for applications of x-ray absorption near-edge spectroscopy (XANES) or extended x-ray fine absorption structure (EXFAS) spectroscopy. The higher brightness is achieved using designs for x-ray targets that comprise aligned microstructures of x-ray generating materials fabricated in close thermal contact with a substrate having high thermal conductivity. This allows for bombardment with higher electron density and/or higher energy electrons, leading to greater x-ray brightness and high flux. The high brightness x-ray source is coupled to an x-ray reflecting optical system to collimate the x-rays, and a monochromator, which selects the exposure energy. Absorption spectra of samples using the high flux monochromatic x-rays can be made using standard detection techniques.
    • 本公开提供了具有比现有紧凑系统大几个数量级的x射线通量和通量密度的x射线吸收精细结构(XAFS)测量系统; 用于X射线吸收近边缘光谱(XANES)或扩展X射线精细吸收结构(EXFAS)光谱学的应用。 使用包括与具有高导热性的基板紧密热接触制造的x射线产生材料的对准微结构的x射线靶的设计来实现更高的亮度。 这允许用更高电子密度和/或更高能量的电子进行轰击,导致更大的x射线亮度和高通量。 高亮度x射线源耦合到x射线反射光学系统以准直x射线,以及选择曝光能量的单色仪。 使用高通量单色x射线的样品的吸收光谱可以使用标准检测技术进行。
    • 4. 发明申请
    • 散乱強度分布の測定方法及び測定装置
    • 用于测量散射强度分布的方法和装置
    • WO2014092073A1
    • 2014-06-19
    • PCT/JP2013/083064
    • 2013-12-10
    • 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
    • 松下 正フォグリ ヴォルフガング白澤 徹郎▲高▼橋 敏男荒川 悦雄
    • G01N23/20
    • G01N23/20008G01N23/20G21K2201/062G21K2201/064
    •  逆格子空間での散乱強度分布を短時間に測定可能な散乱強度分布の測定方法及び測定装置を提供すること。X線源(101)から放射されるX線を、試料(SA)の表面近傍において集束させるようにX線光学素子(102)で反射させ、複数の光路を経て集束される単色化されたX線の各光路と基準面とがなす角と、基準面の垂線と各光路の中心に位置する光路を含む面とがなす角との間に相関のある状態で、単色化されたX線を試料に対して各光路に応じて異なる視射角(ω)で一度に入射させ、試料で散乱される単色化されたX線の散乱強度を2次元検出器(103)で検出し、2次元検出器で検出される散乱強度分布及び相関に基づいて、逆格子空間での散乱強度分布を算出することを特徴とする。
    • 本发明提供一种测量散射强度分布的方法和装置,其能够快速测量互逆格子空间中的散射强度分布。 使用X射线光学元件(102)使从X射线源(101)射出的X射线被聚焦在样本(SA)的表面附近。 在由参考表面形成的角度与通过光路聚焦的单色X射线的多个光路中的每一个之间存在相关性的状态以及由基准表面的法线形成的角度和包括光 路径位于光路的中心,使单色X射线同时以与各个光路不同的扫掠角(ω)撞击在样本上。 使用二维检测器(103)检测从样本散射的单色X射线的散射强度。 基于由二维检测器检测的散射强度分布和相关性计算互逆格子空间中的散射强度分布。
    • 10. 发明申请
    • 反射面形状制御ミラー装置及び反射面形状制御ミラーの製造方法
    • 用于控制反射表面的形状的镜子装置和用于产生用于控制反射表面的形状的镜子的方法
    • WO2011081182A1
    • 2011-07-07
    • PCT/JP2010/073716
    • 2010-12-28
    • 株式会社ジェイテック国立大学法人大阪大学山内 和人木村 隆志津村 尚史
    • 山内 和人木村 隆志津村 尚史
    • G21K1/06G02B5/10
    • G21K1/06G21K2201/064G21K2201/067Y10T29/42
    • 【課題】 熱膨張係数の異なる材質の積層構造で、ミラー製造時の温度差に起因する歪による表面形状の加工誤差と、ナノ集光作業時の設置環境条件に起因する歪による表面形状の誤差を解消し、nmオーダーの形状精度を実現し、X線ビームを理想波面に変更し、また焦点距離可変な反射面形状制御ミラー装置を提供する。 【解決手段】 基板1の表面中央部に帯状のX線反射面2を形成し、X線反射面の両側に沿って基準平面3を形成し、基板の両側部で少なくとも表裏一面に複数の圧電素子4をX線反射面の長手方向に並べて基板に接合した反射面形状制御ミラーと、各圧電素子に電圧を印加する多チャンネルのコントロールシステムとからなる。
    • 提供了一种用于控制反射表面形状的反射镜装置,其具有由具有不同热膨胀系数的材料形成的层压结构; 消除了由于反射镜制造期间的温度差引起的变形而引起的表面形状的处理误差,以及由纳米光聚焦过程中的安装环境条件引起的变形引起的表面形状误差 ; 达到nm阶形状精度; 将X射线束变为理想波前; 并可以改变焦距。 该装置由以下部件构成:用于控制在基板(1)的表面的中心形成带状X射线反射面(2)的反射面的形状的反射镜,基准面(3) 沿着X射线反射面的两侧形成,并且多个压电元件(4)沿着X射线反射器的长度方向接合并布置在基板的正面和背面以及沿着基板的整个边缘 表面; 以及向每个压电元件(4)施加电压的多通道控制系统。