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1. 发明申请

WO2019070382A1 LAMP INFRARED RADIATION PROFILE CONTROL BY LAMP FILAMENT DESIGN AND POSITIONING 审中-公开
公开(公告)号：WO2019070382A1
公开(公告)日：2019-04-11
申请号：PCT/US2018/050912
申请日：2018-09-13
申请人： APPLIED MATERIALS, INC.
发明人： CONG, Zhepeng , CHU, Schubert
IPC分类号： H01K1/18 , H05B3/00
摘要： Methods and apparatus disclosed herein generally relate to lamp heating of process chambers used to process semiconductor substrates. More specifically, implementations disclosed herein relate to arrangement and control of lamps for heating of semiconductor substrates. In some implementations of the present disclosure, fine-tuning of temperature control is achieved by dividing different lamps within an array of lamps into various subgroups or lamp assemblies defined by a specific characteristic. These various subgroups may be based on characteristics such as lamp design and/or lamp positioning within the processing chamber.

2. 发明申请

WO2018182013A1 加熱式光源审中-公开
公开(公告)号：WO2018182013A1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：PCT/JP2018/013970
申请日：2018-03-30
申请人：国立大学法人横浜国立大学
发明人：西島　喜明 , 長沼　伸
IPC分类号： H01K1/14 , G01N21/01 , H01K1/08 , H01K1/18 , H01K1/20 , H05B3/10
摘要：加熱式光源（５）は、熱源（１０）から伝達する熱に応じて加熱され、表面プラズモン共鳴に基づいて可視光帯域よりも長波長の特定波長で増強された光線を放射する放射部（７）を備える。放射部（７）は、開口が２次元状に周期的に配列された金属層、及び／又は、金属島部又は金属粒子の２次元配列を含む金属構造層（１６）と、金属構造層（１６）よりも熱源（１０）側に配される誘電体層（１４）と、金属構造層（１６）との間で誘電体層（１４）を挟むように設けられるベース金属層（１２）を含む。ベース金属層（１２）により熱源（１０）側からの放射の少なくとも一部が遮断される。

3. 发明申请

WO2018054610A1 INFRAROT-STRAHLER 审中-公开
标题翻译：红外线加热器
公开(公告)号：WO2018054610A1
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：PCT/EP2017/070670
申请日：2017-08-15
申请人： HERAEUS NOBLELIGHT GMBH
发明人： ZISSING, Holger , HONIG, Michael , GAAB, Lotta , WEBER, Jürgen
IPC分类号： H01K1/10 , H01K1/14 , H01K1/18 , H01K3/02 , H05B3/00
摘要： Die Erfindung betrifft einen Infrarot-Strahler, der ein Hüllrohr aus Quarzglas aufweist, das ein Heizfilament als Infrarotstrahlung emittierendes Element umschließt, das über Stromdurchführungen mit einem elektrischen Anschluss außerhalb des Hüllrohres verbunden ist. Zur Verbesserung hinsichtlich Standzeit und Leistungsdichte wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Heizfilament eine Trägerplatte mit einer Oberfläche aus einem elektrisch isolierenden Material umfasst, wobei die Oberfläche mit einer Leiterbahn aus einem bei Stromdurchfluss Wärme erzeugenden Werkstoff belegt ist.
摘要翻译：本发明涉及一种包括石英玻璃管的红外辐射器，该石英玻璃管通过电馈通将包括作为红外线发射元件的加热灯丝封装在外部，的插座管连接。为了改善使用寿命和功率密度，根据本发明，提出加热丝包括具有由电绝缘材料制成的表面的背板，其中该表面覆盖有导体轨道，该导体轨道包括在流过流体期间产生热量的材料

4. 发明申请

WO2013073289A1 管状ヒータおよび加熱装置审中-公开
标题翻译：管状加热器和加热装置
公开(公告)号：WO2013073289A1
公开(公告)日：2013-05-23
申请号：PCT/JP2012/074429
申请日：2012-09-24
申请人：東芝ライテック株式会社 , 加藤剛雄 , 田窪修二 , 田中以知郎 , 高塚正明 , 藤田義貴 , 岡本大徳 , 大橋剛
发明人：加藤　剛雄 , 田窪　修二 , 田中　以知郎 , 高塚　正明 , 藤田　義貴 , 岡本　大徳 , 大橋　剛
IPC分类号： H05B3/06 , G03G15/20 , H01K1/18 , H01K1/24 , H05B3/00 , H05B3/44
CPC分类号： H05B3/0038 , G03G15/2053 , H01K1/18 , H01K1/24
摘要：　実施形態の管状ヒータ１は、長尺なガラス管１０と、ガラス管１０の内部に、管軸に沿うように配置されたフィラメント３と、フィラメント３に装着された複数のアンカー４と、を具備し、アンカー４は、フィラメントに接続される係止部４１と、一端は係止部４１と接続され、他端はガラス管１０の管壁方向に延びる延出部４２と、延出部４２の他端から管壁に沿うように形成された保持部４３と、を備えており、保持部４３は、ガラス管１０の中心Ｃによる中心角αが１８０°≦α＜３６０°を満たしている。これにより、アンカーを構成する金属線の使用量を低減可能となる。
摘要翻译：一个实施例的管状加热器（1）设置有长玻璃管（10），灯丝（3），其布置在玻璃管（10）内以沿着管轴线延伸，锚（4）安装到灯丝（3）上。锚固件（4）各自设置有连接到长丝的接合部分（41），延伸部分（42），其一端连接到接合部分（41），另一端朝向玻璃管（10）和保持部（43），其形成为从延伸部（42）的另一端沿管壁延伸。保持部（43）各自被构造成使得其相对于玻璃管（10）的中心（C）的中心角（α）满足180°<α<360°的表示。作为结构的结果，可以减少构成锚固件的金属线的使用量。

5. 发明申请

WO2013026352A1 卤素灯泡光源固定架及含该固定架的灯泡审中-公开
公开(公告)号：WO2013026352A1
公开(公告)日：2013-02-28
申请号：PCT/CN2012/079654
申请日：2012-08-03
申请人：秦皇岛嘉隆高科实业有限公司 , 贾伟峰 , 白彬
发明人：贾伟峰 , 白彬
IPC分类号： H01K1/18
CPC分类号： H01K1/34 , H01K1/42 , Y02B20/125
摘要：一种卤素灯泡光源的固定架，包括上部的U形夹持部和下部的与U形夹持部相连接的弹簧结构（1）。包含固定架的灯泡，包括芯柱、固定架、卤素灯泡光源，固定架的弹簧结构（1）插装在芯柱上，固定架的U型夹持部夹在卤素灯泡光源下部，卤素灯泡光源与芯柱电连接。卤素灯泡光源的固定架结构简单，用于固定卤素灯泡光源时，将卤素灯泡光源放置在U形夹持部内，固定架的弹簧结构（1）插装在芯柱上，从而将卤素灯泡光源牢固的固定在芯柱上，保证了运输过程中光源不会发生偏移。包含固定架的灯泡，安装牢固方便，成本低，使用寿命长。

6. 发明申请

WO2010103123A1 INFRAROTSTRAHLERANORDNUNG FÜR EIN GASANALYSENGERÄT 审中-公开
标题翻译：红外发射装置，用于气体分析仪
公开(公告)号：WO2010103123A1
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：PCT/EP2010/053237
申请日：2010-03-13
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , BITTER, Ralf , HEFFELS, Camiel , HÖRNER, Thomas
发明人： BITTER, Ralf , HEFFELS, Camiel , HÖRNER, Thomas
IPC分类号： G01K7/18 , H01K1/18 , H05B3/26 , H05B3/00 , G01J3/10
CPC分类号： H05B3/141 , G01J3/108 , G01K7/183 , G01K2217/00 , G01N21/3504 , G01N2201/06186 , H01K1/18 , H01K7/00 , H05B3/265 , H05B2203/032
摘要： Eine Infrarotstrahleranordnung für ein Gasanalysengerät besteht aus einem Strahlergehäuse, in dessen einseitig mit einem strahlungsdurchlässigen Fenster abgeschlossenen Innenraum ein plattenförmiger Keramikkörper (3) angeordnet ist, auf dem eine Heizwiderstandsschicht (4) aufgebracht ist. Um eine sichere und exakt definierte Halterung des Keramikkörpers (3) zu gewährleisten, ist dieser als gleichseitige Dreiecksplatte (5) ausgebildet, die mit ihren Dreiecksspitzen (6) an dem Innenumfang des Strahlergehäuses (1), vorzugsweise in einer Umlaufnut (7), gehalten ist.
摘要翻译：对于由一个辐射加热器壳体的气体分析仪的红外线辐射器组件，板状的陶瓷体（3）被布置在所述单端与透射辐射的窗口内，被施加在其上的发热电阻体（4）。为了确保安全和良好定义的支撑陶瓷体的（3），以此为等边三角形的板（5）上的发射极壳体（1）的内周形成的，与他们的三角形点（6），优选在周向槽（7），保持是。

7. 发明申请

WO2008077756A3 HALOGEN INCANDESCENT LAMP 审中-公开
标题翻译：卤素灯泡
公开(公告)号：WO2008077756A3
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：PCT/EP2007063634
申请日：2007-12-10
申请人： OSRAM GMBH , DAXLBERGER INGE , SEITZ WOLFGANG
发明人： DAXLBERGER INGE , SEITZ WOLFGANG
IPC分类号： H01K1/18
CPC分类号： H01K1/18
摘要： Disclosed is a halogen incandescent lamp comprising an elongate bulb (2) made of light-permeable material, a bulb filling containing inert gas and halogen-containing additive, a luminescent member (6) that extends within the bulb (2), at least one holder on which the luminescent member (6) is mounted inside the bulb (2), and a power supply system which is connected to the luminescent member (6). The holder for the luminescent member (6) is provided with at least one fastening clip (15) over which the luminescent member (6) is guided and which is attached inside at least one web (9) that is made of the material of the bulb (2) and extends through the bulb (2).
摘要翻译：在活塞具有长形的活塞（2）的透明材料，惰性气体的活塞填充和含卤素的添加剂的发光元件的卤素白炽灯（6）（2）延伸，至少一个托架在其上的发光体（6）在所述活塞（2）被保持，以及电源系统，其连接到该发光元件（6）。安装件为发光体（6）具有至少一个固定支架（15），（2）形成在活塞的材料的至少一种（2）和由活塞延伸的腹板（9）是固定的，通过该发光体（ 6）被引导。

8. 发明申请

WO2007025458A1 卤钨石英灯审中-公开
公开(公告)号：WO2007025458A1
公开(公告)日：2007-03-08
申请号：PCT/CN2006/002098
申请日：2006-08-17
申请人：文德彪
发明人：文德彪
IPC分类号： H01K1/18
CPC分类号： H01K1/18
摘要： A tungsten-halogen quartz lamp with a structure for preventing glass-bead supporter from breaking off, which can insure that its glass-bead supporter could not leave and drop from the top of a bulb in any case, so that reliability of a holding-filament structure is greatly improved and the service life of the lamp is prolonged.For this purpose, a concave-baking ring is provided at the circumference of the bulb, which corresponds to a position below the glass-bead supporter which is mounted in the upper of inner-cavity of the bulb in a horizontal direction, to restrict the glass-bead supporter to the upper of the bulb.

9. 发明申请

WO2005022587A2 HALOGEN LAMP 审中-公开
标题翻译：卤素灯泡
公开(公告)号：WO2005022587A2
公开(公告)日：2005-03-10
申请号：PCT/DE2004001863
申请日：2004-08-20
申请人： PATENT TREUHAND GES FUER ELEKTRISCHE GLUEHLAMPEN MBH , KRIEGLMEYER CHRISTOPH
发明人： KRIEGLMEYER CHRISTOPH
IPC分类号： H01K1/18 , H01K1/32 , H01K
CPC分类号： H01K1/18 , H01K1/325
摘要： The invention relates to a halogen lamp whose lamp vessel (100) has a cylindrical section (101) configured in the form of a reflector.
摘要翻译：卤素白炽灯技术领域本发明涉及一种卤素白炽灯，其灯容器（100）具有被设计为反射器的圆柱形容器部分（101）。

10. 发明申请

WO2005001887A1 SINGLE END HALOGEN INCANDESCENT BULB 审中-公开
标题翻译：单端卤化物INC ENT ENT
公开(公告)号：WO2005001887A1
公开(公告)日：2005-01-06
申请号：PCT/IB2004/050951
申请日：2004-06-21
申请人： KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS, N.V. , BALDRIDGE, Jack , MORRELL, Mark
发明人： BALDRIDGE, Jack , MORRELL, Mark
IPC分类号： H01K1/18
CPC分类号： H01K1/40 , H01K1/16 , H01K1/18 , H01K1/38 , H01K3/06
摘要： A single end incandescent halogen bulb has an envelope (112) having a sealed cavity (114) containing a halide material, a pich or press seal (110) at one end, and a coiled wire filament (100) disposed in the sealed cavity (114). Filament legs (102, 104) comprise portions of the coiled wire filament (100) that have been drawn out straight so as to have a diameter which is approximately the same as a diameter of a wire from which filament (100) is formed. A first current supply (106) wire extends through the press seal (110) into the sealed cavity. This first wire (106) has a first clamp (118) formed at a terminal end thereof. The first clamp (118) clamps a first filament (102) leg to establish a first electrical connection and suspend the filament (100) in the sealed cavity (114). A second current supply wire (108) extends into and terminates within the press seal (110). This second wire (108) has a second clamp (116) which clamps a second filament leg (104) to establish a second electrical connection. The second clamp (116) is enclosed in the press seal (110).
摘要翻译：单端白炽灯泡具有外壳（112），该外壳具有封闭的空腔（114），其包含卤化物材料，一端处的烙印或压力密封件（110）和设置在密封空腔中的螺旋丝丝（100） 114）。长丝腿（102,104）包括螺旋丝丝（100）的部分，其已经被直线拉出以具有与形成细丝（100）的丝的直径大致相同的直径。第一电流供应（106）线延伸穿过压力密封件（110）进入密封空腔。该第一线（106）具有形成在其末端的第一夹具（118）。第一夹具（118）夹紧第一细丝（102）腿以建立第一电连接并将细丝（100）悬挂在密封空腔（114）中。第二电流供应线（108）延伸到压紧密封件（110）内并终止于压力密封件（110）内。第二线（108）具有夹紧第二细丝支脚（104）以建立第二电连接的第二夹具（116）。第二夹具（116）被封闭在压力密封件（110）中。

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