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1. 发明申请

WO2020074617A1 VERFAHREN UND HALBZEUG ZUR HERSTELLUNG EINES BETON-DOPPELWANDELEMENTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2020074617A1
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：PCT/EP2019/077427
申请日：2019-10-09
申请人： MARTIN SCHWARZENBECK & CO. BAUUNTERNEHMEN UND BETONWERK GMBH & CO. KG
发明人： SCHWARZENBECK, Martin , SCHWARZENBECK, Otto , BINSTEINER, Josef
IPC分类号： B28B23/00 , B28B23/02 , E04C2/04 , E04C2/34 , B28B7/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Beton-Doppelwand-elements mit zwei voneinander beabstandeten Betonschalen (2a, 2b), die über Verbindungsmittel (3) miteinander verbunden sind. Um während der Herstellung des Doppelwandelements (1) Verschiebungen der ersten Betonschale (2a) gegenüber dem Frischbeton (10b) der anderen Betonschale zu vermeiden, wird in die erste Betonschale (2a) eine Fixiervorrichtung (20) einbetoniert, die an einem der Betonschale (2a) beabstandeten zweiten Endabschnitt (22) ein Ankerelement (23) aufweist. Dieses Ankerelement (23) stellt beim Auflegen der ersten Betonschale (2a) auf die Frischbetonschicht (10b) eine feste Verbindung zu einer die Frischbetonschicht (10b) tragenden Palette (5b) her und fixiert somit die erste Betonschale (2a) gegenüber der Frischbetonschicht (10b).

2. 发明申请

WO2019137746A1 PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE FÜR DIE HALBLEITERLITHOGRAPHIE MIT VERBESSERTER KOMPONENTENJUSTAGE UND JUSTAGEVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2019137746A1
公开(公告)日：2019-07-18
申请号：PCT/EP2018/085255
申请日：2018-12-17
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ZWEERING, Ralf
IPC分类号： G03F7/20 , G02B7/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Projektionsbelichtungsanlage (1) für die Halbleiterlithographie, umfassend - mindestens eine Komponente (21) und ein Bauteil (22) der Projektionsbelichtungsanlage (1) - wobei die Komponente auf (21) auf dem Bauteil (22) fixiert ist - wobei die Komponente (21) und/oder das Bauteil (22) mindestens einen Anschlag (28, 40) zur Anlage an eine Referenzfläche (25) an dem Bauteil und/oder der Komponente (21) aufweist. Dabei ist der Anschlag (28,40) derart relativ zu der am Bauteil (22) fixierten Komponente (21) und/oder dem Bauteil (22) bewegbar ausgebildet, dass er von der Referenzfläche (25) wegbewegt werden kann. Weiterhin umfasst die Erfindung ein Verfahren zur Justage einer Komponente (21) auf einem Bauteil (22) einer Projektionsbelichtungsanlage (1) mit folgenden Verfahrensschritten: - Befestigung von mindestens einem Anschlag (28,40) an der Komponente (21) oder dem Bauteil (22) - Positionieren der Komponente (21) derart, dass mindestens ein Anschlag (28, 40) mit einer Referenzfläche (25) an der Komponente (21 ) oder dem Bauteil (22) in mechanischen Kontakt kommt - Fixieren der Komponente (21) an dem Bauteil (22) - Wegbewegen des Anschlages (28,40) von der Referenzfläche (25).

3. 发明申请

WO2018060126A1 PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT FLUESSIGKEITSSCHICHT ZUR WELLENFRONTKORREKTUR 审中-公开
标题翻译：用于波前校正的具有液体层的投影曝光系统
公开(公告)号：WO2018060126A1
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：PCT/EP2017/074197
申请日：2017-09-25
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： BAUER, Markus
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70258 , G03F7/70341 , G03F7/70891
摘要： Die Erfindung betrifft eine Projektionsbelichtungsanlage (1) für die Halbleiterlithographie und umfasst unter anderem ein Projektionsobjektiv (2) zur Abbildung eines Reticles (3) auf einen Wafer (15) sowie eine Flüssigkeitsschicht (51), welche im Weg der zur Abbildung verwendeten optischen Strahlung (7) angeordnet ist sowie Mitteln (4) zur Erzeugung einer bestimmten Temperaturverteilung in der Flüssigkeitsschicht (51). Dabei sind die genannten Mittel (4) zur Erzeugung einer bestimmten Temperaturverteilung geeignet, elektromagnetische Heizstrahlung in die Flüssigkeitsschicht einzubringen und es sind zusätzlich Mittel (5) zur Erzeugung eines Strömungsprofiles in der Flüssigkeitsschicht vorhanden.
摘要翻译：
本发明涉及的投射曝光设备（1），用于导航使用ř半导体光刻，并且包括投影透镜（2），用于（3）的晶片（15）和一个FL导航用途ssigkeitsschicht上成像掩模版（51 ）布置在用于成像的光辐射（7）的路径中，以及用于在液体层（51）中产生特定温度分布的装置（4）。在这种情况下，所述装置（4）适于产生一个特定的温度分布，电磁加热辐射在FL导航用途带来ssigkeitsschicht和有另外BEAR突然装置（5），用于产生一个海峡＆OUML;在FL导航用途绿豆型材Ssigkeitsschicht可用

4. 发明申请

WO2011110559A1 KOFFERSYSTEM 审中-公开
标题翻译： CASE系统
公开(公告)号：WO2011110559A1
公开(公告)日：2011-09-15
申请号：PCT/EP2011/053469
申请日：2011-03-08
申请人： METABOWERKE GMBH , PLASTON AG , LOREK, Patricia , KLEMENT, Manfred
发明人： LOREK, Patricia , KLEMENT, Manfred
IPC分类号： B25H3/02
CPC分类号： B65D13/00 , B25H3/021 , B25H3/022
摘要： Die Erfindung betrifft ein Behältersystem aufweisend einen Behälter (1) mit einem Behälteroberteil (11) und einem Behälterunterteil (12), welches einen Boden (121) und daran angebracht eine umlaufende Seitenwand (122) aufweist, wobei die Seitenwand (122) zusammen mit dem Boden (121) einen Innenraum des Behälters (1) begrenzt, welcher zur Lagerung von Gegenständen geeignet ist, und wobei der Behälter (1) einen geschlossenen Zustand aufweist, in welchem das Behälteroberteil (11) und das Behälterunterteil (12) den Innenraum gemeinsam nach außen hin verschließen, und einen geöffneten Zustand aufweist, in welchem der Innenraum von außen her zugänglich ist, und zumindest einen Zusatzbehälter (2), welcher eine Verbindungsstruktur (223) aufweist, und welcher zur Lagerung von weiteren Gegenständen geeignet ist, wobei der Zusatzbehälter (2) im geöffneten Zustand des Behälters (1) mittels der Verbindungsstruktur (223) an der Seitenwand (122) lösbar anbringbar ist und wobei das Behälteroberteil (11) relativ zum Behälterunterteil (12) im geschlossenen Zustand derart angeordnet ist, dass es ein Entfernen des Zusatzbehälters (2) vom Behälter (1) verhindert.
摘要翻译：本发明涉及其上连接一个底部（121）的容器系统，其包括与容器的上部（11）和下部容器部分（12）的容器（1），它其特征在于，所述侧壁（122）一起具有一圆周侧壁（122），与所述所述容器的内部的底部（121）（1）是有限的，这是适合于物品的存储，并且其中，所述容器（1）具有一个封闭的状态，其中容器顶部部分（11）和容器底部部分（12）的内部空间一起向外封闭并且具有其中内部是从外部接近的打开状态，和（2），其具有的连接结构（223）的至少一个附加的容器，其适合于存储进一步的目的的，其特征在于，所述辅助碗（ 2）（在侧壁122）是附接在由所述连接结构（223）的装置的容器（1）的开启状态释放，并且其中所述容器顶部部分（11）相对于所述容器下部（12）以这样的方式被布置在关闭状态，它可以防止从所述容器（1）移除所述附加容器（2）的。

5. 发明申请

WO2011095548A1 KRAFTFAHRZEUG MIT AUSKLEIDUNGSMODUL, AUSKLEIDUNGSMODUL UND VERBUNDGRUPPE 审中-公开
标题翻译：衬砌结构模块，模块及LINING混编群机动车辆
公开(公告)号：WO2011095548A1
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：PCT/EP2011/051569
申请日：2011-02-03
申请人： HURLER, Walter
发明人： HURLER, Walter
IPC分类号： B62D33/04
CPC分类号： B62D25/2054 , B62D33/02 , B62D33/044 , B62D33/048
摘要： Ein Kraftfahrzeug (81, 91, 93, 95, 97, 99) weist wenigstens ein Auskleidungsmodul (1, 16, 24, 35, 44, 54, 56, 57, 58, 60, 84, 94, 96, 98) mit wenigstens einem Grundelement (2, 49, 85), wenigstens zwei Seitenwänden (3, 4, 27, 28, 40, 41, 47, 48, 62, 64, 66, 68, 87, 88) sowie wenigstens einer Deckplatte (5, 20, 31, 42, 50, 86) auf. Das Grundelement (2, 49, 85) ist zum wenigstens teilweisen Anlegen des Auskleidungsmoduls (1, 16, 24, 35, 44, 54, 56, 57, 58, 60, 84, 94, 96, 98) an einer Unterlage (82) vorgesehen, während die Seitenwände (3, 4, 27, 28, 40, 41, 47, 48, 62, 64, 66, 68, 87, 88) an wenigstens zwei entgegengesetzten Endabschnitten des Grundelements (2, 49, 85) mit diesem verbunden sind und die Deckplatte (5, 20, 31, 42, 50, 86) an dem Grundelement (2, 49, 85) abgewandten Randabschnitten (6, 7, 25, 26, 38, 39, 45, 46) der Seitenwände (3, 4, 27, 28, 40, 41, 47, 48, 62, 64, 66, 68, 87, 88) gehalten sind. Grundelement (2, 49, 85), Seitenwände (3, 4, 27, 28, 40, 41, 47, 48, 62, 64, 66, 68, 87, 88) und Deckplatte (5, 20, 31, 42, 50, 86) umschließen wenigstens einen Hohlraum (13, 17, 89, 90). Das Auskleidungsmodul (3, 4, 27, 28, 40, 41, 47, 48, 62, 64, 66, 68, 87, 88) deckt wenigstens einen Teil eines Ladebereichs oder wenigstens einen Teil einer Wandfläche des Kraftfahrzeugs (81, 91, 93, 95, 97, 99) ab, das sich durch eine erhöhte Praktikabilität, Flexibilität und Beständigkeit auszeichnet.
摘要翻译：一种机动车辆（81，91，93，95，97，99）具有至少一个衬里模块（1，16，24日，44，54，56，57，58，60，84，94，96，35 98），其具有至少一个基体部件（2，49，85），至少两个侧壁（3,4，27，28，40，41，47，48，62，64，66，68，87，88）和至少一个盖板（5，20 ，31，42，50，86）。所述基体部件（2，49，85），用于至少部分地将所述衬里模块（1，16，24，35，44，54，56，57，58，60，84，94，96，98）到垫层（82 ）被提供，而侧壁（3,4，27，28，40，41，47，48，62，64，66，68，87，88）（至少在基体部件2，49）具有两个相对的端部，85 从侧壁的边缘部分（6，7，25，26，38，39，45，46）的面向远离该连接和所述基座元件（2，49，85），在盖板（5，20，31，42，50，86）（3,4，27，28，40，41，47，48，62，64，66，68，87，88）被保持。基本元件（2，49，85），侧壁（3,4，27，28，40，41，47，48，62，64，66，68，87，88）和盖板（5，20，31，42， 50，86）封闭至少一个腔（13，17，89，90）。衬里模块（3,4，27，28，40，41，47，48，62，64，66，68，87，88）至少覆盖的充电区域的一部分，或者至少在机动车辆（81，91的壁表面的一部分， 93，95，97，99）从它的特点是增加的实用性，柔性和耐久性。

6. 发明申请

WO2011000932A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES REFRAKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTES UND REFRAKTIVES OPTISCHES ELEMENT 审中-公开
标题翻译：方法生产光学元件折射式的和折射光学元件
公开(公告)号：WO2011000932A1
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：PCT/EP2010/059411
申请日：2010-07-01
申请人： BADEN-WUERTTEMBERG STIFTUNG gGMBH , SIMON, Markus
发明人： SIMON, Markus
IPC分类号： G21K1/06 , G03F7/00
CPC分类号： G21K1/06
摘要： Die Erfindung betrifft ein refraktives optisches Element (5) mit einer Mehrzahl optischer Teilelemente (3), wobei die optischen Teilelemente (3) derart angeordnet sind, dass die Anzahl der optischen Teilelemente (3), die von elektromagnetischer Strahlung, welche auf das optische Element (5) parallel zur optischen Achse des optischen Elementes (5) einfällt, passiert werden, mit steigendem Abstand zur optischen Achse ebenfalls ansteigt, wobei die optischen Teilelemente (3) um die optische Achse gekrümmt ausgebildet sind. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen optischen Elementes (5).
摘要翻译：本发明涉及一种折射光学元件（5），具有多个光学子元件（3），其中，所述光学子元件（3）被布置成使得光学子元件的数量（3）电磁辐射，其中，所述光学元件上（5）平行于所述光学元件（5）的光轴入射，被传递，以从光轴增大距离也增加，与弯曲的绕光轴的光学子元件（3）形成的。此外，本发明涉及一种用于制备本发明（5）的光学元件的方法。

7. 发明申请

WO2023016758A1 PROJECTION EXPOSURE APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR LITHOGRAPHY HAVING A CONNECTING ELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2023016758A1
公开(公告)日：2023-02-16
申请号：PCT/EP2022/070012
申请日：2022-07-18
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： GUGLIELMI RABE, Rodolfo , SPEIDEL, Timo
IPC分类号： G03F7/20 , F16L27/00
摘要： The invention relates to a projection exposure apparatus (1) for semiconductor lithography, having a connecting element for connecting two components of the projection exposure apparatus (1), having at least one mechanical decoupling element (33), wherein the connecting element (30) comprises at least two mechanical decoupling elements (33), which each decouple in two mutually orthogonal rotational degrees of freedom, wherein overall a decoupling in all three rotational degrees of freedom is achieved by the at least two decoupling elements (33).

8. 发明申请

WO2023016701A1 PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE UND VERFAHREN ZUR AUSLEGUNG EINER KLEBSTOFFSCHICHT 审中-公开
公开(公告)号：WO2023016701A1
公开(公告)日：2023-02-16
申请号：PCT/EP2022/068269
申请日：2022-07-01
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： WEBER, Ulrich , SCHAFFER, Dirk , STAMPE, Tim
IPC分类号： G03F7/20 , C09J5/00 , G02B7/00 , G02B7/18 , G02B7/02
摘要： Die Erfindung betrifft eine Projektionsbelichtungsanlage (1, 101) für die Halbleiterlithografie mit zwei stoffschlüssig verbundenen Komponenten (31, 32), wobei der Stoffschluss über eine Klebstoffschicht (35) realisiert ist, wobei sich die Klebstoffschicht (35) dadurch auszeichnet, dass sich eine zumindest bereichsweise konstante Dicke (IK) der Klebstoffschicht (35) zu einer Dicke (IR) zum Randbereich hin erhöht. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Auslegung einer Klebstoffschicht (35) für eine stoffschlüssige Verbindung von zwei Komponenten (31, 32) einer Projektionsbelichtungsanlage (1, 101) für die Halbleiterlithografie, wobei die maximale Normalspannung (σmax,xx) am Klebstoffrand (37) durch die Formel (I) berechnet wird, wobei Normalspannungsspitze am Rand: σmax,xx, Elastizitätsmodul Klebstoff: E, Poisson-Zahl Klebstoff: V, Klebstoffdicke am Klebstoff rand: IR, Seitversatz am Klebstoffrand: uR ist.

9. 发明申请

WO2022258478A2 DREHTROMMEL-OFEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2022258478A2
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：PCT/EP2022/065020
申请日：2022-06-02
申请人： BENGEL, Wolfgang
发明人： BENGEL, Wolfgang
IPC分类号： C10B1/10 , C10B7/06 , C10B47/30 , C10B47/40 , C10B53/07 , C10G1/10 , F27B7/32 , F27D3/00 , F27D2003/0063
摘要： Die Erfindung betrifft einen Drehtrommel-Ofen (1) zur Verdampfung von Partikeln (80) mit einem zur Verdampfung der Partikel (80) ausgebildeten Drehrohr (2) und einer Fördervorrichtung (10) zum Befördern der Partikel (80) in das Drehrohr (2), wobei die Fördervorrichtung (10) eine Düseneinheit (40, 67, 75) zur Unterstützung der Beförderung der Partikel (80) umfasst. Weiterhin betrifft die Erfindung einen Drehtrommel-Ofen (1) mit Mitteln (63) zur Vereinfachung der Wartung der Fördervorrichtung (10), mit Mitteln zur Erhöhung der Lebensdauer der Fördervorrichtung (10) und mit Mitteln (53, 59) zur Verbesserung der Materialzufuhr der Fördervorrichtung (10). Weiterhin betrifft die Erfindung einen Drehtrommel-Ofen (1) mit Sensoren (29, 30, 31, 32, 33, 34) und einen Drehtrommel-Ofen (1) bei welchem die in einem Überlaufbereich (70) gesammelten Partikel dem Drehtrommel-Ofen (1) wieder zugeführt werden.

10. 发明申请

WO2020233838A1 HF-SCHIRMTÜR MIT BEWEGLICHEM KONTAKTSYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2020233838A1
公开(公告)日：2020-11-26
申请号：PCT/EP2020/025239
申请日：2020-05-22
申请人： INTERFLEX MEDIZINTECHNIK GMBH
发明人： FIORE, Roberto , JARCZINSKI, Kai
IPC分类号： E06B5/18 , E06B7/18 , H05K9/00 , E06B7/23
摘要： Die Erfindung betrifft eine Tür für eine Türöffnung einer HF-Schirmungskabine, wobei die Tür ein Türblatt (2) und eine die Türöffnung mindestens teilweise umgebende Türzarge umfasst und wobei in der Ebene der Türöffnung bewegliche Dichtungskörper (9) zwischen dem Türblatt (2) und der Türzarge vorhanden sind und wobei die Dichtungskörper (9) im Bereich mindestens einer Ecke der Tür über mindestens einen Eckverbinder (11) zueinander beweglich miteinander verbunden sind.

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