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1. 发明申请

US20060156818A1 Micromechanical capacitive acceleration sensor 有权
标题翻译：微机电容加速度传感器
公开(公告)号：US20060156818A1
公开(公告)日：2006-07-20
申请号：US10471296
申请日：2002-03-07
申请人： Konrad Kapser , Peter Knittl , Ulrich Prechtel , Helmut Seidel , Sebastian Toelg , Manfried Weinacht
发明人： Konrad Kapser , Peter Knittl , Ulrich Prechtel , Helmut Seidel , Sebastian Toelg , Manfried Weinacht
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： F16N11/08 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0831 , G01P2015/0834 , G01P2015/0845 , G01P2015/0857 , G01P2015/086
摘要： A micromechanical capacitive acceleration sensor is described for picking up the acceleration of an object in at least one direction. The sensor includes a frame structure (110), a sensor inertia mass (101) made of a wafer and movably mounted relative to the frame structure (110) about a rotation axis, and a capacitive pick-up unit (120) for producing at least one capacitive output signal representing the position of the sensor mass (101) relative to the frame structure (110). The sensor inertia mass (101) has a center of gravity which offset relative to the rotation axis in a direction perpendicularly to a wafer plane for measuring accelerations laterally to the wafer plane. The sensor mass (101) and the frame structure (110) are made monolithically of one single crystal silicon wafer. A cover section (112) forms a common connector plane (150) for the connection of capacitor electrodes (125,126). Torqueable elements (105) form an electrically conducting bearing device for the sensor mass (101).
摘要翻译：描述了一种微机电容加速度传感器，用于拾取至少一个方向的物体的加速度。该传感器包括框架结构（110），由晶片制成的传感器惯性质量块（101），并围绕旋转轴线相对于框架结构（110）可移动地安装;以及电容式拾取单元（120）表示传感器质量块（101）相对于框架结构（110）的位置的至少一个电容式输出信号。传感器惯性质量（101）具有垂直于晶片平面的方向相对于旋转轴偏移的重心，用于测量横向于晶片平面的加速度。传感器质量（101）和框架结构（110）由一个单晶硅晶片制成一体。盖部分（112）形成用于连接电容器电极（125,126）的公共连接器平面（150）。扭矩元件（105）形成用于传感器质量块（101）的导电轴承装置。

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