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    • 3. 发明授权
    • Semiconductor device and fabrication method of the semiconductor device
    • 半导体器件的半导体器件和制造方法
    • US08178899B2
    • 2012-05-15
    • US12270236
    • 2008-11-13
    • Keiichi Matsushita
    • Keiichi Matsushita
    • H01L29/778
    • H01L29/1029H01L29/2003H01L29/207H01L29/7785
    • A semiconductor device and a fabrication method of the semiconductor device, the semiconductor device including: a substrate; a nitride based compound semiconductor layer placed on the substrate and doped with a first transition metal atom; an aluminum gallium nitride layer (AlxGa1−xN) (where 0.1
    • 半导体器件和半导体器件的制造方法,所述半导体器件包括:衬底; 放置在基板上并掺杂有第一过渡金属原子的氮化物基化合物半导体层; 置于氮化物基化合物半导体层上的氮化镓铝层(Al x Ga 1-x N)(其中,0.1 <= x <= 1) 放置在氮化铝镓层(Al x Ga 1-x N)(其中0.1 <= x <= 1)上并掺杂有第二过渡金属原子的氮化物基化合物半导体层; 放置在掺杂有第二过渡金属原子的氮化物基化合物半导体层上的氮化镓铝层(Al y Ga 1-y N)(其中0.1 <= y <= 1) 以及放置在氮化铝镓层(Al y Ga 1-y N)上(其中0.1≤y≤1)的栅电极,源电极和漏电极。 因此,压电电荷失活,泄漏电流和电流崩溃减少,通过获得高电阻率半导体层可以提高高频特性,并且可以获得稳定的高频性能。