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    • 10. 发明授权
    • Stage assembly including a damping assembly
    • 舞台组合包括阻尼组件
    • US06724466B2
    • 2004-04-20
    • US10107663
    • 2002-03-26
    • Kazuya OnoAndrew J. Hazelton
    • Kazuya OnoAndrew J. Hazelton
    • G03B2758
    • G03F7/70766G03F7/70716
    • A stage assembly (10) for moving and positioning a device (30) includes a stage (14), a stage mover assembly (16), a device table (18), a table mover assembly (20) and a damping assembly (22). The table mover assembly (20) moves the device table (18) along a Z axis, about an X axis and about a Y axis relative to the stage (14) and generates reaction forces. The damping assembly (22) is coupled to the table mover assembly (20). Uniquely, the damping assembly (22) reduces the reaction forces created by the table mover assembly (20) that are transferred to the stage (14).
    • 用于移动和定位装置(30)的平台组件(10)包括台架(14),平台移动器组件(16),装置台(18),台动机组件(20)和阻尼组件(22) )。 台式移动器组件(20)沿Z轴围绕X轴移动设备台(18),并相对于平台(14)绕Y轴移动并产生反作用力。 阻尼组件(22)联接到台式推动器组件(20)。 唯一地,阻尼组件(22)减小了由移动器组件(20)产生的反作用力,这些反作用力被传递到载物台(14)。