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热词
    • 5. 发明授权
    • Probe card thermal conditioning system
    • 探头卡热调节系统
    • US08350191B2
    • 2013-01-08
    • US12267735
    • 2008-11-10
    • Douglas S. Ondricek
    • Douglas S. Ondricek
    • F24C7/10B65D85/00
    • G01R31/2863G01R31/2874
    • Embodiments of apparatus for thermally conditioning probe cards prior to use in a testing system are provided herein. In some embodiments, a probe card thermal conditioning system may include an enclosure configured to support a probe card and a heat transfer element disposed proximate a bottom of the enclosure for thermally conditioning the probe card prior to installation in a prober. The heat transfer element may be a heating and/or cooling element. A controller may be provided for controlling operation of the heat transfer element, optionally with temperature feedback. Multiple enclosures may be provided for independently conditioning multiple probe cards. The enclosure may be contained in a cart or may be part of shipping container for shipping a probe card. A fan may be provided for circulating air within the enclosure. The fan may facilitate providing a dry purge gas to prevent condensate from forming on the probe card.
    • 本文提供了在测试系统中使用之前对探针卡进行热调节的设备的实施例。 在一些实施例中,探针卡热调节系统可以包括被配置为支撑探针卡和设置在壳体的底部附近的传热元件的外壳,用于在探测器安装之前对探针卡进行热调节。 传热元件可以是加热和/或冷却元件。 可以提供用于控制传热元件的操作的控制器,任选地具有温度反馈。 可以提供多个外壳以独立地调节多个探针卡。 外壳可以包含在推车中,或者可以是用于运送探针卡的运输容器的一部分。 可以提供用于在外壳内循环空气的风扇。 风扇可以促进提供干净的吹扫气体,以防止在探针卡上形成冷凝物。