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    • 5. 发明授权
    • Quartz-glass reactor for MOCVD systems
    • 用于MOCVD系统的石英玻璃反应器
    • US4991540A
    • 1991-02-12
    • US334109
    • 1989-02-24
    • Holger JurgensenMeino Heyen
    • Holger JurgensenMeino Heyen
    • C23C16/44C23C16/455C23C16/458C30B25/08C30B25/14C30B29/40C30B29/48H01L21/205
    • C30B25/14C23C16/4583C30B25/08
    • A reactor for MOCVD systems, having a reaction vessel through which the reacting gas or gases flow and in which the substrates are arranged in such a manner that a main surface is approximately parallel to the flow direction. The reaction vessel is made of quartz-glass and has, at least in the region in which the reacting gas flows, a rectangular cross-section. A flange element is provided at the gas-entrance-side end of the reaction vessel, while a protective tube surrounds the reaction vessel. The protective tube is provided with a face-end reactant gas inlet connected with a flange element to which the flange element of the reaction vessel can be flanged. The protective tube has a protective gas inlet in its superficies, which permits purging the space between the reaction vessel and the protective tube, and a reactant gas outlet. The reactant gases are deflected in the reaction vessel and exit through the superficies of the reaction vessel. A diffusion barrier is provided at the end opposite the gas-entrance-side end of the reaction vessel.
    • PCT No.PCT / DE88 / 00397 Sec。 371日期1989年2月24日 102(e)日期1989年2月24日PCT Filed 1988年6月30日PCT Pub。 出版物WO89 / 00212 PCT 日本1989年1月12日。一种用于MOCVD系统的反应器,具有反应容器,反应气体或气体通过该反应容器流动,并且其中基板被布置成使得主表面大致平行于流动方向。 反应容器由石英玻璃制成,至少在反应气体流过的区域中具有矩形横截面。 在反应容器的气体入口侧端部设置有法兰元件,同时保护管围绕反应容器。 保护管设置有与凸缘元件连接的面端反应气体入口,反应容器的法兰元件可与其凸缘连接。 保护管在其上部具有保护气体入口,其允许清除反应容器和保护管之间的空间以及反应物气体出口。 反应物气体在反应容器中偏转并通过反应容器的上部排出。 在与反应容器的气体入口侧端相对的端部设置扩散阻挡层。