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1. 发明授权

US08970964B2 Projection objective lens system 有权
标题翻译：投影物镜系统
公开(公告)号：US08970964B2
公开(公告)日：2015-03-03
申请号：US13991080
申请日：2011-11-25
申请人： Lirong Zhu
发明人： Lirong Zhu
IPC分类号： G02B3/00 , G02B13/18 , G02B13/24 , G03F7/20 , G02B13/14
CPC分类号： G02B13/18 , G02B13/143 , G02B13/24 , G03F7/70241
摘要： A projection objective lens system includes from an object plane to an image plane: a first lens group (S1) with a positive refractive power; a second lens group (S2) with a negative refractive power; a third lens group (S3) with a positive refractive power; a fourth lens group (S4) with a negative refractive power; and a fifth lens group (S5) with a positive refractive power being divided into two sub-lens groups. An aperture stop (AS) is provided between the two sub-lens groups. The following conditions are met: 0.12
摘要翻译：投影物镜系统包括从物平面到像平面的方法：具有正折射光焦度的第一透镜组（S1）具有负屈光力的第二透镜组（S2）; 具有正屈光力的第三透镜组（S3）; 具有负屈光力的第四透镜组（S4）和具有正折光力的第五透镜组（S5）被分成两个子透镜组。在两个子透镜组之间设置孔径光阑（AS）。满足以下条件：0.12 <| L / f | <0.4，＆Dgr; R / R <1％，其中f是系统的有效焦距，L是物体与像平面之间的距离，＆Dgr ; R表示边缘场束束的孔径光阑处的半径与中心场束束之间的差，R表示中心场束束的孔径光阑处的半径。

2. 发明申请

US20130250434A1 PROJECTION OBJECTIVE LENS SYSTEM 有权
标题翻译：投影目标镜头系统
公开(公告)号：US20130250434A1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：US13991080
申请日：2011-11-25
申请人： Lirong Zhu
发明人： Lirong Zhu
IPC分类号： G02B13/18
CPC分类号： G02B13/18 , G02B13/143 , G02B13/24 , G03F7/70241
摘要： A projection objective lens system includes from an object plane to an image plane: a first lens group (S1) with a positive refractive power; a second lens group (S2) with a negative refractive power; a third lens group (S3) with a positive refractive power; a fourth lens group (S4) with a negative refractive power; and a fifth lens group (S5) with a positive refractive power being divided into two sub-lens groups. An aperture stop (AS) is provided between the two sub-lens groups. The following conditions are met: 0.12
摘要翻译：投影物镜系统包括从物平面到像平面的方法：具有正折射光焦度的第一透镜组（S1）具有负屈光力的第二透镜组（S2）; 具有正屈光力的第三透镜组（S3）; 具有负屈光力的第四透镜组（S4）和具有正折光力的第五透镜组（S5）被分成两个子透镜组。在两个子透镜组之间设置孔径光阑（AS）。满足以下条件：0.12 <| L / f | <0.4，ΔR/ R <1％，其中f是系统的有效焦距，L是物体与像平面之间的距离，DeltaR表示在边缘场束束的孔径光阑处的半径与中心场束束之间的差异，R表示中心场束束的孔径光阑处的半径。

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