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1. 发明申请

US20060039666A1 In-line light sensor 有权
标题翻译：在线光传感器
公开(公告)号：US20060039666A1
公开(公告)日：2006-02-23
申请号：US10500318
申请日：2002-12-27
申请人： Andrew Knights , Adrian Vonsovici , Dominic Brady , Andrew House , George Hopper
发明人： Andrew Knights , Adrian Vonsovici , Dominic Brady , Andrew House , George Hopper
IPC分类号： G02B6/10 , G02B6/26 , G02B6/42
CPC分类号： H01L31/105 , G02B6/12004 , G02B2006/12123 , G02B2006/12138 , H01L21/84 , H01L27/1203 , H01L31/028 , H01L31/035281 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： An integrated optical waveguide (1) having an in-line light sensor (2) integrally formed therewith for tapping off a small proportion of the signal transmitted along the waveguide (1). A first part (1A) of the waveguide leads to a photodiode portion (2) and a second part (1B) of the waveguide leads away from the photodiode portion (2), the photodiode portion (2) comprising one or more regions (14) of light absorbing material within the waveguide (1) arranged to absorb a minor proportion of light transmitted along the waveguide (1) and thereby to generate free charge carriers within the waveguide (1). Deep band gap levels (21) are introduced into photodiode portion by ion implantation to enable it to absorb selected wavelengths. The free charge carriers are detected by a p-i-n diode formed across the waveguide (1). Wavelength selective reflectors (11, 12) may be provided either side of the photodiode portion (2) so light passes repeatedly through the photodiode portion (2).
摘要翻译：一种集成光波导（1），其具有与其一体形成的一体式光传感器（2），用于抽出沿着波导（1）传输的信号的一小部分。波导的第一部分（1A）导致光电二极管部分（2），并且波导的第二部分（1B）引出远离光电二极管部分（2），光电二极管部分（2）包括一个或多个区域（1）内的吸光材料（14），其被布置成吸收沿着波导（1）传输的少量光，从而在波导（1）内产生自由电荷载流子。通过离子注入将深带隙水平（21）引入光电二极管部分，以使其能够吸收所选择的波长。通过形成在波导（1）上的p-i-n二极管来检测自由电荷载流子。可以在光电二极管部分（2）的任一侧设置波长选择反射器（11,12），使得光反射通过光电二极管部分（2）。

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