会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 36. 发明授权
    • Phase change memory devices and their methods of fabrication
    • 相变存储器件及其制造方法
    • US07598112B2
    • 2009-10-06
    • US11392310
    • 2006-03-28
    • Jae-Hyun ParkJae-Hee OhSe-Ho LeeWon-Cheol Jeong
    • Jae-Hyun ParkJae-Hee OhSe-Ho LeeWon-Cheol Jeong
    • H01L29/04
    • H01L45/144H01L27/2409H01L27/2463H01L45/06H01L45/1233H01L45/126H01L45/1666
    • In an embodiment, a phase change memory device includes a semiconductor substrate of a first conductivity type and a first interlayer insulating layer disposed on the semiconductor substrate. A hole penetrates the first interlayer insulating layer. A first and a second semiconductor pattern are sequentially stacked in a lower region of the hole. A cell electrode is provided on the second semiconductor pattern. The cell electrode has a lower surface than a top surface of the first interlayer insulating layer. A confined phase change material pattern fills the hole on the cell electrode. An upper electrode is disposed on the phase change material pattern. The phase change material pattern in the hole is self-aligned with the first and second semiconductor patterns by the hole. A method of fabricating the phase change memory device is also provided.
    • 在一个实施例中,相变存储器件包括第一导电类型的半导体衬底和设置在半导体衬底上的第一层间绝缘层。 一个孔穿透第一层间绝缘层。 第一和第二半导体图案顺序地堆叠在孔的下部区域中。 电池电极设置在第二半导体图案上。 电池电极具有比第一层间绝缘层的顶表面更低的表面。 限制的相变材料图案填充电池电极上的孔。 上电极设置在相变材料图案上。 孔中的相变材料图案通过孔与第一和第二半导体图案自对准。 还提供了一种制造相变存储器件的方法。