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    • 27. 发明授权
    • MEMS with single use valve and method of operation
    • MEMS单用阀和操作方法
    • US08779533B2
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    • US13180954
    • 2011-07-12
    • Ando FeyhPo-Jui Chen
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    • H01L29/84
    • F16K99/003F16K99/0044
    • In one embodiment, a method of opening a passageway to a cavity includes providing a donor portion, forming a heating element adjacent to the donor portion, forming a first sacrificial slab abutting the donor portion, wherein the donor portion and the sacrificial slab are a shrinkable pair, forming a first cavity, a portion of the first cavity bounded by the first sacrificial slab, generating heat with the heating element, forming a first reduced volume slab from the first sacrificial slab using the generated heat and the donor portion, and forming a passageway to the first cavity by forming the first reduced volume slab.
    • 在一个实施例中,将通道打开到空腔的方法包括提供供体部分,形成邻近供体部分的加热元件,形成邻接供体部分的第一牺牲板,其中供体部分和牺牲板是可收缩的 形成第一空腔,由第一牺牲板限定的第一空腔的一部分,用加热元件产生热量,使用产生的热量和供体部分从第一牺牲板形成第一减小体积的板坯,并形成 通过形成第一减小体积的板坯到第一空腔的通道。