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    • 27. 发明授权
    • Silicon/gold seed structure for crystalline alignment in a film stack
    • 硅/金种子结构,用于膜叠层中的晶体取向
    • US08492010B2
    • 2013-07-23
    • US12772179
    • 2010-05-01
    • Olav HellwigDieter K. Weller
    • Olav HellwigDieter K. Weller
    • G11B5/66
    • G11B5/732G11B5/66G11B5/667G11B5/7325G11B5/855Y10T428/12076Y10T428/12465Y10T428/12472Y10T428/12674
    • A silicon/gold (Si/Au) bilayer seed structure is located in a film stack between an amorphous or crystalline lower layer and an upper layer with a well-defined crystalline structure. The seed structure includes a Si layer on the generally flat surface of the lower layer and a Au layer on the Si layer. The Si/Au interface initiates the growth of the Au layer with a face-centered-cubic (fcc) crystalline structure with the (111) plane oriented in-plane. The upper layer grown on the Au layer has a fcc or hexagonal-close-packed (hcp) crystalline structure. If the upper layer is a fcc material its [111] direction is oriented substantially perpendicular to the (111) plane of the Au layer and if the upper layer is a hcp material, its c-axis is oriented substantially perpendicular to the (111) plane of the Au layer.
    • 硅/金(Si / Au)双层种子结构位于非晶或结晶下层与具有明确定义的结晶结构的上层之间的膜叠层中。 种子结构包括在下层的大致平坦表面上的Si层和Si层上的Au层。 Si / Au界面以(111)面定向在平面内的面心立方(fcc)晶体结构引发Au层的生长。 在Au层上生长的上层具有fcc或六方密堆积(hcp)晶体结构。 如果上层是fcc材料,其[111]方向定向成基本上垂直于Au层的(111)面,并且如果上层是hcp材料,则其c轴基本垂直于(111)面定向, Au层的平面。