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    • 8. 发明专利
    • 表面特性檢查裝置及表面特性檢查方法
    • 表面特性检查设备及表面特性检查方法
    • TW201530108A
    • 2015-08-01
    • TW103134712
    • 2014-10-06
    • 新東工業股份有限公司SINTOKOGIO, LTD.
    • 牧野良保MAKINO, YOSHIYASU太田和弘OTA, KAZUHIRO加賀秀明KAGA, HIDEAKI
    • G01L1/00G01N27/72
    • G01N27/9046G01N27/90G01N27/9086
    • 本發明之的目在於提供能夠將溫度變化等檢查環境的影響減小而高精度地對對施作過珠擊處理、熱處理、氮化處理等表面處理的處理材的表面處理狀態進行檢查,並且能夠適用於線內(in-line)量測的表面特性檢查裝置及表面特性檢查方法。 本發明的表面特性檢查裝置1係具備交流電源10、交流橋式電路20及評價裝置30,交流橋式電路20係由分配比γ可變的可變電阻21、基準檢測器22及檢查檢測器23所構成。檢查檢測器23係具備以與被檢體M的表面特性檢查區域相對向之方式捲繞的線圈23b,將來自交流電源10的交流電力供給至線圈23b,藉此在被檢體M激發渦電流。在基準檢測器22係配置與被檢體M相同構造的基準檢體S,抵消檢查環境的影響。
    • 本发明之的目在于提供能够将温度变化等检查环境的影响减小而高精度地对对施作过珠击处理、热处理、氮化处理等表面处理的处理材的表面处理状态进行检查,并且能够适用于线内(in-line)量测的表面特性检查设备及表面特性检查方法。 本发明的表面特性检查设备1系具备交流电源10、交流桥式电路20及评价设备30,交流桥式电路20系由分配比γ可变的可变电阻21、基准检测器22及检查检测器23所构成。检查检测器23系具备以与被检体M的表面特性检查区域相对向之方式卷绕的线圈23b,将来自交流电源10的交流电力供给至线圈23b,借此在被检体M激发涡电流。在基准检测器22系配置与被检体M相同构造的基准检体S,抵消检查环境的影响。