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    • 8. 发明专利
    • 基板處理方法
    • 基板处理方法
    • TW201604330A
    • 2016-02-01
    • TW104112653
    • 2015-04-21
    • 荏原製作所股份有限公司EBARA CORPORATION
    • 小泉竜也KOIZUMI, RYUYA
    • C25D17/06C25D17/16C25D21/12
    • C25D17/06C25D17/00C25D17/001
    • 本發明提供一種可同時處理複數種基板而提高處理量之基板 處理方法。 基板處理方法係將複數個基板固持器6劃分成第一群及第 二群,將複數個基板固持器6分別分配於規定基板W之處理條件的第一製法或第二製法的任何一個,為了執行按照第一製法之第一處理及按照第二製法之第二處理,就有可能搬送基板W及基板固持器6之全部搬送順序計算總搬送時間,而決定總搬送時間為最短之搬送順序,按照所決定之搬送順序搬送複數個基板W,而且使用屬於第一群之基板固持器6對1個或複數個基板W執行第一處理,使用屬於第二群之基板固持器6對1個或複數個基板W執行第二處理。
    • 本发明提供一种可同时处理复数种基板而提高处理量之基板 处理方法。 基板处理方法系将复数个基板固持器6划分成第一群及第 二群,将复数个基板固持器6分别分配于规定基板W之处理条件的第一制法或第二制法的任何一个,为了运行按照第一制法之第一处理及按照第二制法之第二处理,就有可能搬送基板W及基板固持器6之全部搬送顺序计算总搬送时间,而决定总搬送时间为最短之搬送顺序,按照所决定之搬送顺序搬送复数个基板W,而且使用属于第一群之基板固持器6对1个或复数个基板W运行第一处理,使用属于第二群之基板固持器6对1个或复数个基板W运行第二处理。