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    • 9. 发明专利
    • 用於電流金屬沉積之水平電流電鍍加工線之電流電鍍裝置
    • 用于电流金属沉积之水平电流电镀加工线之电流电镀设备
    • TW201716639A
    • 2017-05-16
    • TW105131816
    • 2016-09-30
    • 德國艾托特克公司ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
    • 溫諾 菲德納WIENER, FERDINAND摩爾連 菲利克斯MORLEIN, FELIX
    • C25D3/38C25D5/00C25D17/00C25D17/08C25D7/12H05K3/18
    • C25D17/008C25D5/08C25D7/00C25D17/00C25D17/005H05K3/241
    • 本發明係關於一種用於特定而言係銅之電流金屬沈積之一水平電流電鍍加工線之電流電鍍裝置;其中該電流電鍍裝置包括配置於一待處理基板之一輸送水平面下方之至少一第一電流電鍍模組及配置於該電流電鍍裝置之一第一側上之至少一電鍍夾具;其中該第一電流電鍍模組包括位於該電流電鍍模組內部之至少一電解質噴嘴及至少一陽極元件,其中該電流電鍍模組進一步包括配置於該陽極元件及該電解質噴嘴上方之具有複數個開口之至少一蓋板,其中該電流電鍍裝置進一步包括配置於該電流電鍍模組之該蓋板之表面上之至少一基板導引元件,其中該基板導引元件係與該電流電鍍模組之該蓋板之該表面結合。 本發明進一步係關於一種此一電流電鍍裝置之用途,該電流電鍍裝置用於印刷電路箔、撓性印刷電路板及嵌入式晶片基板上之較佳地係銅之電流金屬沈積。
    • 本发明系关于一种用于特定而言系铜之电流金属沉积之一水平电流电镀加工线之电流电镀设备;其中该电流电镀设备包括配置于一待处理基板之一输送水平面下方之至少一第一电流电镀模块及配置于该电流电镀设备之一第一侧上之至少一电镀夹具;其中该第一电流电镀模块包括位于该电流电镀模块内部之至少一电解质喷嘴及至少一阳极组件,其中该电流电镀模块进一步包括配置于该阳极组件及该电解质喷嘴上方之具有复数个开口之至少一盖板,其中该电流电镀设备进一步包括配置于该电流电镀模块之该盖板之表面上之至少一基板导引组件,其中该基板导引组件系与该电流电镀模块之该盖板之该表面结合。 本发明进一步系关于一种此一电流电镀设备之用途,该电流电镀设备用于印刷电路箔、挠性印刷电路板及嵌入式芯片基板上之较佳地系铜之电流金属沉积。