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    • 4. 发明专利
    • 圓筒形濺射靶件及其製造方法
    • 圆筒形溅射靶件及其制造方法
    • TW202014543A
    • 2020-04-16
    • TW108132861
    • 2017-02-24
    • 日商JX金屬股份有限公司JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
    • 館野諭TATENO, SATORU長田幸三OSADA, KOZO
    • C23C14/34C04B35/01C04B35/622
    • 本發明之一目的在於提供圓筒軸方向之長度為470 mm以上之圓筒形燒結體、圓筒形濺射靶件及此些之製造方法。根據本發明之一實施型態之具有圓筒形燒結體之圓筒形濺射靶件之製造方法,於工作台上配置圓筒形成型體,圓筒形成型體於圓筒軸方向之長度為600 mm以上,工作台設置有氧元素供給口,氧元素供給口連接於用以提供氧元素之管路,自氧元素供給口沿圓筒軸方向供給氧元素且進行燒結,氧元素供給口小於設置於圓筒形成型體之圓筒內側之圓筒內周。而且於其他態樣中,工作台亦可配置於腔室中,用以提供氧元素之管路亦可自腔室之外連接至氧元素供給口。
    • 本发明之一目的在于提供圆筒轴方向之长度为470 mm以上之圆筒形烧结体、圆筒形溅射靶件及此些之制造方法。根据本发明之一实施型态之具有圆筒形烧结体之圆筒形溅射靶件之制造方法,于工作台上配置圆筒形成型体,圆筒形成型体于圆筒轴方向之长度为600 mm以上,工作台设置有氧元素供给口,氧元素供给口连接于用以提供氧元素之管路,自氧元素供给口沿圆筒轴方向供给氧元素且进行烧结,氧元素供给口小于设置于圆筒形成型体之圆筒内侧之圆筒内周。而且于其他态样中,工作台亦可配置于腔室中,用以提供氧元素之管路亦可自腔室之外连接至氧元素供给口。