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热词
    • 1. 发明专利
    • 濺鍍靶及其製造方法
    • 溅镀靶及其制造方法
    • TW201835006A
    • 2018-10-01
    • TW107109340
    • 2018-03-19
    • 日商JX金屬股份有限公司JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
    • 長田幸三OSADA, KOZO鶴田好孝TSURUTA, YOSHITAKA館野諭TATENO, SATORU
    • C04B37/02C23C14/34
    • 本發明提供即使襯管沿軸線方向彎曲變形,也能確保與靶材之間的接合材料的所需厚度並使品質提高的濺鍍靶及其製造方法。濺鍍靶(1)包括:具有由陶瓷材料構成的沿軸線方向以0.15mm~0.50mm的間隔排列配置的複數圓筒狀靶塊(2a)的靶材(2);設在靶材(2)內周側的圓筒狀襯管(3);介於靶材(2)和襯管(3)之間並用於接合它們的接合材料,沿徑向測量時,在沿軸線方向相鄰的至少一對靶塊的各自外周面中彼此相鄰的軸線方向的外緣之間的高低差量為0.50mm以下,至少一靶塊(2a)內的軸線方向的至少一部分接合材料的厚度沿軸線方向變化,至少一靶塊(2a)的接合材料的最小厚度為0.6mm以上且1.4mm以下。
    • 本发明提供即使衬管沿轴线方向弯曲变形,也能确保与靶材之间的接合材料的所需厚度并使品质提高的溅镀靶及其制造方法。溅镀靶(1)包括:具有由陶瓷材料构成的沿轴线方向以0.15mm~0.50mm的间隔排列配置的复数圆筒状靶块(2a)的靶材(2);设在靶材(2)内周侧的圆筒状衬管(3);介于靶材(2)和衬管(3)之间并用于接合它们的接合材料,沿径向测量时,在沿轴线方向相邻的至少一对靶块的各自外周面中彼此相邻的轴线方向的外缘之间的高低差量为0.50mm以下,至少一靶块(2a)内的轴线方向的至少一部分接合材料的厚度沿轴线方向变化,至少一靶块(2a)的接合材料的最小厚度为0.6mm以上且1.4mm以下。
    • 4. 发明专利
    • 圓筒形濺射靶件及其製造方法
    • 圆筒形溅射靶件及其制造方法
    • TW202014543A
    • 2020-04-16
    • TW108132861
    • 2017-02-24
    • 日商JX金屬股份有限公司JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
    • 館野諭TATENO, SATORU長田幸三OSADA, KOZO
    • C23C14/34C04B35/01C04B35/622
    • 本發明之一目的在於提供圓筒軸方向之長度為470 mm以上之圓筒形燒結體、圓筒形濺射靶件及此些之製造方法。根據本發明之一實施型態之具有圓筒形燒結體之圓筒形濺射靶件之製造方法,於工作台上配置圓筒形成型體,圓筒形成型體於圓筒軸方向之長度為600 mm以上,工作台設置有氧元素供給口,氧元素供給口連接於用以提供氧元素之管路,自氧元素供給口沿圓筒軸方向供給氧元素且進行燒結,氧元素供給口小於設置於圓筒形成型體之圓筒內側之圓筒內周。而且於其他態樣中,工作台亦可配置於腔室中,用以提供氧元素之管路亦可自腔室之外連接至氧元素供給口。
    • 本发明之一目的在于提供圆筒轴方向之长度为470 mm以上之圆筒形烧结体、圆筒形溅射靶件及此些之制造方法。根据本发明之一实施型态之具有圆筒形烧结体之圆筒形溅射靶件之制造方法,于工作台上配置圆筒形成型体,圆筒形成型体于圆筒轴方向之长度为600 mm以上,工作台设置有氧元素供给口,氧元素供给口连接于用以提供氧元素之管路,自氧元素供给口沿圆筒轴方向供给氧元素且进行烧结,氧元素供给口小于设置于圆筒形成型体之圆筒内侧之圆筒内周。而且于其他态样中,工作台亦可配置于腔室中,用以提供氧元素之管路亦可自腔室之外连接至氧元素供给口。
    • 6. 发明专利
    • 圓筒形濺射靶件及其製造方法
    • 圆筒形溅射靶件及其制造方法
    • TW201734240A
    • 2017-10-01
    • TW106106359
    • 2017-02-24
    • JX金屬股份有限公司JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
    • 館野諭TATENO, SATORU長田幸三OSADA, KOZO
    • C23C14/34C04B35/01C04B35/622
    • 本發明之一目的在於提供圓筒軸方向之長度為470 mm以上之圓筒形燒結體、圓筒形濺射靶件及此些之製造方法。根據本發明之一實施型態之具有圓筒形燒結體之圓筒形濺射靶件之製造方法,於工作台上配置圓筒形成型體,圓筒形成型體於圓筒軸方向之長度為600 mm以上,工作台設置有氧元素供給口,氧元素供給口連接於用以提供氧元素之管路,自氧元素供給口沿圓筒軸方向供給氧元素且進行燒結,氧元素供給口小於設置於圓筒形成型體之圓筒內側之圓筒內周。而且於其他態樣中,工作台亦可配置於腔室中,用以提供氧元素之管路亦可自腔室之外連接至氧元素供給口。
    • 本发明之一目的在于提供圆筒轴方向之长度为470 mm以上之圆筒形烧结体、圆筒形溅射靶件及此些之制造方法。根据本发明之一实施型态之具有圆筒形烧结体之圆筒形溅射靶件之制造方法,于工作台上配置圆筒形成型体,圆筒形成型体于圆筒轴方向之长度为600 mm以上,工作台设置有氧元素供给口,氧元素供给口连接于用以提供氧元素之管路,自氧元素供给口沿圆筒轴方向供给氧元素且进行烧结,氧元素供给口小于设置于圆筒形成型体之圆筒内侧之圆筒内周。而且于其他态样中,工作台亦可配置于腔室中,用以提供氧元素之管路亦可自腔室之外连接至氧元素供给口。