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    • 9. 发明专利
    • 氧化銦奈米柱及其製造方法
    • 氧化铟奈米柱及其制造方法
    • TW201609551A
    • 2016-03-16
    • TW103131775
    • 2014-09-15
    • 許國明HSU, KUO MING
    • 許國明HSU, KUO MING
    • C01G15/00B82Y30/00B82B3/00B82Y40/00
    • C01G15/00C01P2004/16C30B23/007C30B29/16C30B29/60
    • 一種氧化銦奈米柱的製造方法,其包括以下步驟:提供高溫爐,其中高溫爐分為第一區以及第二區;將至少一銦金屬源放置於第一區,且將基板放置於第二區;將第一區的溫度調變至第一溫度,且將第二區的溫度調變至第二溫度,其中第一溫度高於第二溫度;以及當第一區的溫度達到第一溫度,且第二區的溫度達到第二溫度時,於高溫爐中通入氬氣以及氧氣,其中氬氣與氧氣比落在30:1至70:1的範圍內,以令多個氧化銦奈米柱形成於基板上。另提供一種氧化銦奈米柱。
    • 一种氧化铟奈米柱的制造方法,其包括以下步骤:提供高温炉,其中高温炉分为第一区以及第二区;将至少一铟金属源放置于第一区,且将基板放置于第二区;将第一区的温度调制至第一温度,且将第二区的温度调制至第二温度,其中第一温度高于第二温度;以及当第一区的温度达到第一温度,且第二区的温度达到第二温度时,于高温炉中通入氩气以及氧气,其中氩气与氧气比落在30:1至70:1的范围内,以令多个氧化铟奈米柱形成于基板上。另提供一种氧化铟奈米柱。