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    • 4. 发明专利
    • 基板處理裝置
    • 基板处理设备
    • TW201822904A
    • 2018-07-01
    • TW106127781
    • 2017-08-16
    • 日商斯庫林集團股份有限公司SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
    • 矢野航YANO, WATARU橋詰彰夫HASHIZUME, AKIO
    • B08B13/00B08B3/04H01L21/67
    • 本發明之課題,在於抑制洗淨刷之刷本體中抵接於基板之基板抵接部之大小的變動。 本發明之基板處理裝置具備有基板之旋轉保持機構、及使安裝有洗淨刷之軸移動之刷移動機構,刷本體包含構成柱狀部分之前端面之基板抵接部,且基板處理裝置進一步具備有矯正構件、及將矯正構件相對地定位於目標位置之相對定位機構。在矯正構件被定位於目標位置時,矯正構件之接觸部與對象部分相互地重疊,該對象部分係將設計刷之設計本體之設計柱狀部分之外周面中之設計抵接部與帶狀之環狀部分合併而成者,且接觸部係形成為使設計刷之對象部分之形狀反轉之形狀,並且接觸部中對應於帶狀之環狀部分的部分,係對向於軸之中心軸線之中心軸線對向面。
    • 本发明之课题,在于抑制洗净刷之刷本体中抵接于基板之基板抵接部之大小的变动。 本发明之基板处理设备具备有基板之旋转保持机构、及使安装有洗净刷之轴移动之刷移动机构,刷本体包含构成柱状部分之前端面之基板抵接部,且基板处理设备进一步具备有矫正构件、及将矫正构件相对地定位于目标位置之相对定位机构。在矫正构件被定位于目标位置时,矫正构件之接触部与对象部分相互地重叠,该对象部分系将设计刷之设计本体之设计柱状部分之外周面中之设计抵接部与带状之环状部分合并而成者,且接触部系形成为使设计刷之对象部分之形状反转之形状,并且接触部中对应于带状之环状部分的部分,系对向于轴之中心轴线之中心轴线对向面。
    • 5. 发明专利
    • 板邊清洗系統
    • 板边清洗系统
    • TW201815488A
    • 2018-05-01
    • TW105135174
    • 2016-10-28
    • 旭東機械工業股份有限公司SHUZ TUNG MACHINERY INDUSTRIAL CO.,LTD.
    • 莊添財CHUANG, TIEN-TSAI
    • B08B13/00B08B11/04B08B3/12
    • 本發明係關於一種板邊清洗系統,用以清洗一板材的側邊。該板邊清洗系統包括一輸送裝置及三個清洗裝置。該輸送裝置用以將該板材從一起始站沿一輸送路徑移送到一中繼站,並先於該中繼站將該板材轉向九十度後再沿著該輸送路徑移送到一終點站。該第一清洗裝置係設於該輸送路徑的一旁,用以在該板材被從該起始站移送至該中繼站的過程中,清洗該板材的一長邊。該第二及第三清洗裝置係分別設於該輸送路徑的兩旁且彼此相正對,用以在該板材被轉向九十度後從該中繼站移送至該終點站的過程中,同時清洗該板材的兩短邊。
    • 本发明系关于一种板边清洗系统,用以清洗一板材的侧边。该板边清洗系统包括一输送设备及三个清洗设备。该输送设备用以将该板材从一起始站沿一输送路径移送到一中继站,并先于该中继站将该板材转向九十度后再沿着该输送路径移送到一终点站。该第一清洗设备系设于该输送路径的一旁,用以在该板材被从该起始站移送至该中继站的过程中,清洗该板材的一长边。该第二及第三清洗设备系分别设于该输送路径的两旁且彼此相正对,用以在该板材被转向九十度后从该中继站移送至该终点站的过程中,同时清洗该板材的两短边。
    • 6. 发明专利
    • 清洗裝置、具備該清洗裝置之鍍覆裝置、以及清洗方法
    • 清洗设备、具备该清洗设备之镀覆设备、以及清洗方法
    • TW201808479A
    • 2018-03-16
    • TW106118665
    • 2017-06-06
    • 荏原製作所股份有限公司EBARA CORPORATION
    • 山川純YAMAKAWA, JUNITSU
    • B08B7/00B08B13/00B65G47/74
    • C25D17/001B08B3/022B08B3/04B08B5/023C25D21/08H01L21/02068H01L21/2885H05K3/0085H05K3/26H05K2203/075
    • 本案提供一種減少對基板表面的抗蝕圖案和/或佈線等造成的影響且對基板進行清洗的清洗裝置、具有該清洗裝置之鍍覆裝置、以及清洗方法。清洗裝置具有:被處理物的入口;上述被處理物的出口;第1搬送路徑,搬送從入口投入的被處理物;第2搬送路徑,向與在第1搬送路徑中搬送被處理物的方向相反的方向搬送被處理物,與第1搬送路徑及上述出口相連;清洗單元,配置在第1搬送路徑上,以非接觸式對被處理物進行清洗;和乾燥單元,配置在第1搬送路徑上,以非接觸式對被處理物進行乾燥。第1搬送路徑和第2搬送路徑沿上下方向排列地配置。第2搬送路徑位於第1搬送路徑的上方,在終點與上述出口相連。第2搬送路徑作為暫時地保管被處理物的儲料器而發揮功能。
    • 本案提供一种减少对基板表面的抗蚀图案和/或布线等造成的影响且对基板进行清洗的清洗设备、具有该清洗设备之镀覆设备、以及清洗方法。清洗设备具有:被处理物的入口;上述被处理物的出口;第1搬送路径,搬送从入口投入的被处理物;第2搬送路径,向与在第1搬送路径中搬送被处理物的方向相反的方向搬送被处理物,与第1搬送路径及上述出口相连;清洗单元,配置在第1搬送路径上,以非接触式对被处理物进行清洗;和干燥单元,配置在第1搬送路径上,以非接触式对被处理物进行干燥。第1搬送路径和第2搬送路径沿上下方向排列地配置。第2搬送路径位于第1搬送路径的上方,在终点与上述出口相连。第2搬送路径作为暂时地保管被处理物的储料器而发挥功能。