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    • 4. 发明专利
    • 具有多閘極電晶體的壓阻式共振器
    • 具有多闸极晶体管的压阻式共振器
    • TW201523942A
    • 2015-06-16
    • TW103120504
    • 2014-06-13
    • 英特爾股份有限公司INTEL CORPORATION
    • 金瑞松KIM, RASEONG楊 艾恩YOUNG, IAN A.
    • H01L41/22H02N2/02H01P7/00
    • H01L29/42356H01L27/0886H03H9/02259H03H9/17H03H9/2405H03H2009/02314
    • 一實施例包含第一非平面電晶體,包含第一鰭片、及在該第一源極與汲極節點間之第一通道,該第一鰭片包含第一源極與汲極節點;第二非平面電晶體,包含第二鰭片、及在該第二源極與汲極節點間之第二通道,該第二鰭片包含第二源極與汲極節點;非平面閘極,在該第一源極與汲極節點間之第一鰭片上及於該第二源極與汲極節點間之第二鰭片上;及被包含在該閘極與該第一鰭片間之第一絕緣材料、及於該閘極與該第二鰭片間之第二絕緣材料;其中當該閘極與該第一鰭片的至少一者係以交流電(AC)起動而在該閘極上產生周期力時,該閘極在第一頻率機械地共振。其他實施例在此中被敘述。
    • 一实施例包含第一非平面晶体管,包含第一鳍片、及在该第一源极与汲极节点间之第一信道,该第一鳍片包含第一源极与汲极节点;第二非平面晶体管,包含第二鳍片、及在该第二源极与汲极节点间之第二信道,该第二鳍片包含第二源极与汲极节点;非平面闸极,在该第一源极与汲极节点间之第一鳍片上及于该第二源极与汲极节点间之第二鳍片上;及被包含在该闸极与该第一鳍片间之第一绝缘材料、及于该闸极与该第二鳍片间之第二绝缘材料;其中当该闸极与该第一鳍片的至少一者系以交流电(AC)起动而在该闸极上产生周期力时,该闸极在第一频率机械地共振。其他实施例在此中被叙述。