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    • 10. 发明专利
    • 用於積體電路裝置之預成的層間連接
    • 用于集成电路设备之预成的层间连接
    • TW201826497A
    • 2018-07-16
    • TW106127807
    • 2017-08-16
    • 美商英特爾股份有限公司INTEL CORPORATION
    • 譚 伊利耶特TAN, ELLIOT
    • H01L27/06H01L21/768
    • 第一金屬化層沉積在基板上的第一絕緣層上。該第一金屬化層包含成組的第一導線。第二金屬化層沉積在該第一金屬化層之上。該第二金屬化層包含成組的第二導線,其跨交該組第一導線以形成相交區域。該相交區域之至少一者包含該第一導線之一者的第一部分和跨交該第一部分的該第二導線之一者的第二部分。複數個預成的連接係在該複數個相交區域處該第一金屬化層與該第二金屬化層之間沉積。該預成的連接之至少一者包含對準到該第二部分及該第一部分的第二絕緣層。
    • 第一金属化层沉积在基板上的第一绝缘层上。该第一金属化层包含成组的第一导线。第二金属化层沉积在该第一金属化层之上。该第二金属化层包含成组的第二导线,其跨交该组第一导线以形成相交区域。该相交区域之至少一者包含该第一导线之一者的第一部分和跨交该第一部分的该第二导线之一者的第二部分。复数个预成的连接系在该复数个相交区域处该第一金属化层与该第二金属化层之间沉积。该预成的连接之至少一者包含对准到该第二部分及该第一部分的第二绝缘层。