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1. 发明专利

TW201625954A 掃描探針顯微鏡审中-公开
简体标题：扫描探针显微镜
公开(公告)号：TW201625954A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104132352
申请日：2015-10-01
申请人：荷蘭TNO自然科學組織公司 , NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人：塔巴克菲克C , TABAK, FEMKE C. , 賽德克海馬納尼哈米德 , SADEGHIAN MARNANI, HAMED , 范艾斯馬丁胡博圖斯 , VAN ES, MAARTEN HUBERTUS
IPC分类号： G01Q30/12 , G01Q70/04 , G01Q70/08 , G01Q60/32
CPC分类号： G01Q70/04 , G01Q30/12 , G01Q30/18 , G01Q60/32
摘要：提供了一種掃描探針顯微鏡，包括一掃描探針(10)，一基座(5)以握持於不含液體環境內之一試樣(SMP)。於其內提供一掃描機構(20)，沿該試樣(SMP)之表面以感應該掃描探針(10)相對於該試樣(SMP)之一相對移動。一驅動器(30)，生成感應該掃描探針(10)相對於欲掃描之該試樣之表面之一振盪運動之一驅動訊號(Sd)。一量測單元(40)，量測該掃描探針(10)之偏移，及提供表明該偏移之一偏移訊號(Sδ)。一振幅偵測器(50)，偵測為該偏移訊號(Sδ)所顯示之該震盪運動之一振幅，及提供表明該振幅之一振幅訊號(Sa)。該掃描探針(10)係至少部分地容置於包括以減緩該掃描探針之運動之一液體(L)，其內具有少於或等於5之一品質因子Q。該掃描探針(10)係容置於包括該液體(L)之一外殼(90)之內，該掃描探針(10)包括一可撓載具(11)，該可撓載具含有具有一尖端(12)之一可移動部，其中尖端(12)延伸穿過該外殼內之一開口(91)。
简体摘要：提供了一种扫描探针显微镜，包括一扫描探针(10)，一基座(5)以握持于不含液体环境内之一试样(SMP)。于其内提供一扫描机构(20)，沿该试样(SMP)之表面以感应该扫描探针(10)相对于该试样(SMP)之一相对移动。一驱动器(30)，生成感应该扫描探针(10)相对于欲扫描之该试样之表面之一振荡运动之一驱动信号(Sd)。一量测单元(40)，量测该扫描探针(10)之偏移，及提供表明该偏移之一偏移信号(Sδ)。一振幅侦测器(50)，侦测为该偏移信号(Sδ)所显示之该震荡运动之一振幅，及提供表明该振幅之一振幅信号(Sa)。该扫描探针(10)系至少部分地容置于包括以减缓该扫描探针之运动之一液体(L)，其内具有少于或等于5之一品质因子Q。该扫描探针(10)系容置于包括该液体(L)之一外壳(90)之内，该扫描探针(10)包括一可挠载具(11)，该可挠载具含有具有一尖端(12)之一可移动部，其中尖端(12)延伸穿过该外壳内之一开口(91)。

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