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1. 发明专利

TW201711761A 水刀、基板處理裝置及基板處理方法审中-公开
简体标题：水刀、基板处理设备及基板处理方法
公开(公告)号：TW201711761A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105118585
申请日：2016-06-14
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：今岡裕一 , IMAOKA, YUICHI , 西部幸伸 , NISHIBE, YUKINOBU
IPC分类号： B08B3/02 , F26B5/12
摘要：本發明提供一種：能以短時間形成「平均地吐出處理液」之狀態的水刀、基板處理裝置及基板處理方法。實施形態的水刀(11)具有：用來貯留處理液的貯留部(11T)；形成朝貯留部(11T)之長度方向延伸的槽縫狀，連接於貯留部(11T)而用來吐出處理液的吐出部(11S)；用來對貯留部(11T)供給處理液的處理液供給通路(11P)；用來吸引存在於貯留部(11T)之氣體的吸引通路(11V)。從處理液供給通路(11P)對貯留部(11T)供給處理液，並同時對貯留部(11T)作用不會從吐出部(11S)將外部的氣體吸入貯留部(11T)內的吸引力。
简体摘要：本发明提供一种：能以短时间形成“平均地吐出处理液”之状态的水刀、基板处理设备及基板处理方法。实施形态的水刀(11)具有：用来贮留处理液的贮留部(11T)；形成朝贮留部(11T)之长度方向延伸的槽缝状，连接于贮留部(11T)而用来吐出处理液的吐出部(11S)；用来对贮留部(11T)供给处理液的处理液供给通路(11P)；用来吸引存在于贮留部(11T)之气体的吸引通路(11V)。从处理液供给通路(11P)对贮留部(11T)供给处理液，并同时对贮留部(11T)作用不会从吐出部(11S)将外部的气体吸入贮留部(11T)内的吸引力。

2. 发明专利

TW201317530A 具紅外線抽氣減壓乾燥材料裝置审中-公开
简体标题：具红外线抽气减压干燥材料设备
公开(公告)号：TW201317530A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：TW100139469
申请日：2011-10-28
申请人：陳淑姿 , 林克芬
发明人：陳文欽 , 林克芬
IPC分类号： F26B3/30 , F26B5/12
摘要：一種具紅外線抽氣減壓乾燥材料裝置，其內部裝設有紅外線發光源照射紅外線於裝置內之一抽氣減壓之可密閉槽體之內部，且該可密閉槽體可放入需乾燥材料，在紅外線的照射下，可使被照射的物質內部水分子因吸收紅外線而產生共振能量，使被照射物質升溫；以及，再經由紅外線照度強弱、照射時間的開閉間隔來控制被照射物質的加熱管理；需乾燥材料被加熱至特定溫度，以搭配可密閉槽體經一真空泵管路相接通來抽氣減壓到特定的真空壓力，以使水的沸點依物理特性而降低到特定溫度之下，就可使物質內部水分子沸騰而汽化；且，抽氣減壓的同時，可排出已汽化之濕氣；藉此以真空泵抽氣減壓之可密閉槽體、具紅外線的發光源以構成本發明。
简体摘要：一种具红外线抽气减压干燥材料设备，其内部装设有红外线发光源照射红外线于设备内之一抽气减压之可密闭槽体之内部，且该可密闭槽体可放入需干燥材料，在红外线的照射下，可使被照射的物质内部水分子因吸收红外线而产生共振能量，使被照射物质升温；以及，再经由红外线照度强弱、照射时间的开闭间隔来控制被照射物质的加热管理；需干燥材料被加热至特定温度，以搭配可密闭槽体经一真空泵管路相接通来抽气减压到特定的真空压力，以使水的沸点依物理特性而降低到特定温度之下，就可使物质内部水分子沸腾而汽化；且，抽气减压的同时，可排出已汽化之湿气；借此以真空泵抽气减压之可密闭槽体、具红外线的发光源以构成本发明。

3. 发明专利

TW201532693A 容器內面之乾燥方法审中-公开
简体标题：容器内面之干燥方法
公开(公告)号：TW201532693A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW103129806
申请日：2014-08-29
申请人：三化科技股份有限公司 , TRI CHEMICAL LABORATORIES INC.
发明人：角秀伯 , SUMI, HIDENORI , 榎本正幸 , ENOMOTO, MASAYUKI
IPC分类号： B08B9/08 , F26B5/12 , F26B3/04
CPC分类号： F26B9/06 , F26B5/12
摘要：提供一種有效去除附著在容器內壁上之水滴(水分)之技術。一種容器內面之乾燥方法，其特徵在於其包括：吸引排氣工序，前述容器內的氣體被吸引排氣；以及乾燥氣體供給工序，乾燥氣體被供給到前述容器內；前述吸引排氣與前述乾燥氣體供給係同時被進行，前述吸引排氣與前述乾燥氣體供給同時被連續進行之時間係超過20分鐘，前述乾燥氣體供給量係超過0.1L/min，當前述吸引排氣與前述乾燥氣體供給被同時進行時，前述容器內的壓力係0.1~15kPa。
简体摘要：提供一种有效去除附着在容器内壁上之水滴(水分)之技术。一种容器内面之干燥方法，其特征在于其包括：吸引排气工序，前述容器内的气体被吸引排气；以及干燥气体供给工序，干燥气体被供给到前述容器内；前述吸引排气与前述干燥气体供给系同时被进行，前述吸引排气与前述干燥气体供给同时被连续进行之时间系超过20分钟，前述干燥气体供给量系超过0.1L/min，当前述吸引排气与前述干燥气体供给被同时进行时，前述容器内的压力系0.1~15kPa。

4. 发明专利

TWI400717B 用於縮短用過核燃料乾式貯存容器乾燥作業時間之裝置有权
简体标题：用于缩短用过核燃料干式贮存容器干燥作业时间之设备
公开(公告)号：TWI400717B
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW099131374
申请日：2010-09-16
申请人：行政院原子能委員會核能研究所 , ATOMIC ENERGY COUNCIL-INSTITUTE OF NUCLEAR RESEARCH
发明人：程貴仁 , CHENG, KUEI JEN , 楊玉堂 , YANG, YU TANG , 楊錦緞 , YANG, CHIN TUAN
IPC分类号： G21F5/06 , F26B5/04 , F26B5/12

5. 发明专利

TW201815541A 用於乾燥顆粒之設備审中-公开
简体标题：用于干燥颗粒之设备
公开(公告)号：TW201815541A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106135465
申请日：2017-10-17
申请人：瑪格自動有限公司 , MAAG AUTOMATIK GMBH
发明人：費雪佛羅里安 , FISCHER, FLORIAN , 赫爾姆亞里安德 , HELM, ALEXANDER
IPC分类号： B29B13/06 , F26B17/22 , F26B5/12
摘要：本發明涉及一種用於乾燥顆粒之設備，該設備具有：殼體(1)，該殼體具有顆粒處理流體入口(6)、顆粒出口(7)和流體出口；以及安排在該殼體中的可旋轉的轉子(2)，該轉子具有安排在該轉子處的轉子葉片(3)，該等轉子葉片分別在一個運動方向上推動該顆粒和處理流體，使得此處該顆粒原本位於其中的處理流體通過至少一個篩網(4)借助於從篩網正面穿過到達篩網背面而在流體匯出區域中能夠與該顆粒分離，該篩網至少局部在外部包圍該轉子(2)，該篩網具有尺寸小於顆粒的篩網開口(5)，其中該轉子(2)具有空心的轉子軸(9)，該轉子軸中至少局部具有轉子孔(10)，其中通風機輪(11)如下共軸地安置在該轉子軸(9)上，使得借助於該通風機輪(11)能夠將空氣通過該顆粒出口(7)和該等轉子孔(10)抽吸到該空心的轉子軸(9)的內部並且能夠將空氣通過通風機輪空氣出口(8)從該殼體(1)中匯出。
简体摘要：本发明涉及一种用于干燥颗粒之设备，该设备具有：壳体(1)，该壳体具有颗粒处理流体入口(6)、颗粒出口(7)和流体出口；以及安排在该壳体中的可旋转的转子(2)，该转子具有安排在该转子处的转子叶片(3)，该等转子叶片分别在一个运动方向上推动该颗粒和处理流体，使得此处该颗粒原本位于其中的处理流体通过至少一个筛网(4)借助于从筛网正面穿过到达筛网背面而在流体导出区域中能够与该颗粒分离，该筛网至少局部在外部包围该转子(2)，该筛网具有尺寸小于颗粒的筛网开口(5)，其中该转子(2)具有空心的转子轴(9)，该转子轴中至少局部具有转子孔(10)，其中通风机轮(11)如下共轴地安置在该转子轴(9)上，使得借助于该通风机轮(11)能够将空气通过该颗粒出口(7)和该等转子孔(10)抽吸到该空心的转子轴(9)的内部并且能够将空气通过通风机轮空气出口(8)从该壳体(1)中导出。

6. 实用新型

TWM523082U 負壓抽氣蓋總成有权
简体标题：负压抽气盖总成
公开(公告)号：TWM523082U
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW105202459
申请日：2016-02-22
申请人：吳欣雁
发明人：吳欣雁 , 陳政吉
IPC分类号： F26B5/12

7. 发明专利

TW201414974A 抽氣減壓乾燥材料裝置审中-公开
简体标题：抽气减压干燥材料设备
公开(公告)号：TW201414974A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：TW102141497
申请日：2011-10-28
申请人：陳淑姿 , 林克芬
发明人：陳文欽 , 林克芬
IPC分类号： F26B3/00 , F26B5/04 , F26B5/12
摘要：一種抽氣減壓乾燥材料裝置，其內部裝設有可受一加熱器加熱之一可密閉槽體，且該可密閉槽體可放入需乾燥材料，在加熱器的加熱下，可使被加熱的物質升溫；以及，需乾燥材料被加熱至特定溫度，搭配可密閉槽體經一真空泵管路相接通來抽氣減壓到特定的真空壓力，以使水的沸點依物理特性而降低到特定溫度之下，就可使物質內部水分子沸騰而汽化；且，抽氣減壓的同時，可排出已汽化之濕氣；藉此以真空泵抽氣減壓之可密閉槽體構成本發明。
简体摘要：一种抽气减压干燥材料设备，其内部装设有可受一加热器加热之一可密闭槽体，且该可密闭槽体可放入需干燥材料，在加热器的加热下，可使被加热的物质升温；以及，需干燥材料被加热至特定温度，搭配可密闭槽体经一真空泵管路相接通来抽气减压到特定的真空压力，以使水的沸点依物理特性而降低到特定温度之下，就可使物质内部水分子沸腾而汽化；且，抽气减压的同时，可排出已汽化之湿气；借此以真空泵抽气减压之可密闭槽体构成本发明。

8. 发明专利

TWI615208B 水刀、基板處理裝置及基板處理方法有权
简体标题：水刀、基板处理设备及基板处理方法
公开(公告)号：TWI615208B
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：TW105118585
申请日：2016-06-14
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：今岡裕一 , IMAOKA, YUICHI , 西部幸伸 , NISHIBE, YUKINOBU
IPC分类号： B08B3/02 , F26B5/12

9. 发明专利

TW201730494A 減壓乾燥裝置及減壓乾燥方法审中-公开
简体标题：减压干燥设备及减压干燥方法
公开(公告)号：TW201730494A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW106101494
申请日：2017-01-17
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：岡本俊一 , OKAMOTO, SHUNICHI , 石渡亨 , ISHIWATARI, TORU
IPC分类号： F26B5/04 , F26B5/12
CPC分类号： B05C9/12 , F26B5/04 , F26B21/10
摘要：本發明提供一種即便於使腔室部減壓之真空泵大容量化之情形時，亦可使塗佈膜穩定地乾燥之減壓乾燥裝置及減壓乾燥方法。本發明係一種使塗佈於基板上之塗佈膜於減壓環境下乾燥之減壓乾燥裝置，且形成為如下構成，即，具備：腔室部，其具有收容基板之基板收容部；抽吸減壓部，其藉由抽吸基板收容部而使基板收容部之壓力減小；且於腔室部具有減壓調節部，該減壓調節部係藉由向基板收容部供給氣體而抑制抽吸減壓部之減壓速度，從而將基板收容部調節為特定之壓力者。
简体摘要：本发明提供一种即便于使腔室部减压之真空泵大容量化之情形时，亦可使涂布膜稳定地干燥之减压干燥设备及减压干燥方法。本发明系一种使涂布于基板上之涂布膜于减压环境下干燥之减压干燥设备，且形成为如下构成，即，具备：腔室部，其具有收容基板之基板收容部；抽吸减压部，其借由抽吸基板收容部而使基板收容部之压力减小；且于腔室部具有减压调节部，该减压调节部系借由向基板收容部供给气体而抑制抽吸减压部之减压速度，从而将基板收容部调节为特定之压力者。

10. 发明专利

TWI509209B 減壓乾燥裝置有权
简体标题：减压干燥设备
公开(公告)号：TWI509209B
公开(公告)日：2015-11-21
申请号：TW099102819
申请日：2010-02-01
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING COMPANY, LIMITED
发明人：奧田大輔 , OKUDA, DAISUKE
IPC分类号： F26B5/04 , F26B5/12 , B05D3/12

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