专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201821746A 具污染防治之微波腔體审中-公开
简体标题：具污染防治之微波腔体
公开(公告)号：TW201821746A
公开(公告)日：2018-06-16
申请号：TW105140396
申请日：2016-12-07
申请人：財團法人金屬工業研究發展中心
发明人：李宗信 , 吳奕達 , 曾坤三
IPC分类号： F26B25/08 , F26B3/347 , F26B23/08
摘要：本創作係一種具污染防治之微波腔體，其包含一本體及一隔絕板單元，該本體包含一載台、一外殼、一開口、一第一側氣口及一第二側氣口，該外殼設於該載台，該開口係形成於該外殼的前側面，該第一側氣口與該第二側氣口係分別形成於該外殼的兩相對外側面，該隔絕板單元可移動地設於該本體，該隔絕板單元通過該本體的該開口，且該隔絕板單元位於該載台的上方，本創作具污染防治之微波腔體由該隔絕板單元輕便抽換的性質，避免熱處理的汙染物累積在該隔絕板單元導致微波能源處理不均勻，使能源集中，進而達到設備性能穩定且持續地微波處理工件。
简体摘要：本创作系一种具污染防治之微波腔体，其包含一本体及一隔绝板单元，该本体包含一载台、一外壳、一开口、一第一侧气口及一第二侧气口，该外壳设于该载台，该开口系形成于该外壳的前侧面，该第一侧气口与该第二侧气口系分别形成于该外壳的两相对外侧面，该隔绝板单元可移动地设于该本体，该隔绝板单元通过该本体的该开口，且该隔绝板单元位于该载台的上方，本创作具污染防治之微波腔体由该隔绝板单元轻便抽换的性质，避免热处理的污染物累积在该隔绝板单元导致微波能源处理不均匀，使能源集中，进而达到设备性能稳定且持续地微波处理工件。

2. 发明专利

TW202022299A 半導體晶圓乾燥設備及方法审中-公开
简体标题：半导体晶圆干燥设备及方法
公开(公告)号：TW202022299A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108107313
申请日：2019-03-05
申请人：南亞科技股份有限公司 , NANYA TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：蔡奉儒 , TSAI, FENG JU , 董學儒 , DOONG, SHYUE RU
IPC分类号： F26B3/347 , H01L21/67
摘要：一種半導體晶圓乾燥設備包含基座、殼體以及微波產生器。基座配置以承載半導體晶圓。殼體與基座形成配置以容納半導體晶圓的腔室。殼體具有遠離基座的排氣口。微波產生器設置於殼體上，並且配置以對腔室發射微波。
简体摘要：一种半导体晶圆干燥设备包含基座、壳体以及微波产生器。基座配置以承载半导体晶圆。壳体与基座形成配置以容纳半导体晶圆的腔室。壳体具有远离基座的排气口。微波产生器设置于壳体上，并且配置以对腔室发射微波。

3. 实用新型

TWM523837U 微波乾燥設備有权
简体标题：微波干燥设备
公开(公告)号：TWM523837U
公开(公告)日：2016-06-11
申请号：TW105203925
申请日：2016-03-21
申请人：中國鋼鐵股份有限公司 , CHINA STEEL CORPORATION
发明人：陳文昌 , CHEN, WENCHANG , 劉峰齊 , LIU, FENGCHI , 黃金池 , HUANG, CHINCHU , 楊其偉 , YOUNG, CHYIWOEI
IPC分类号： F26B3/347

4. 实用新型

TWM560578U 脫除選擇性催化還原蜂巢狀觸媒中水分的連續式微波設備有权
简体标题：脱除选择性催化还原蜂嵌套触媒中水分的连续式微波设备
公开(公告)号：TWM560578U
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：TW106219188
申请日：2017-12-26
申请人：中國鋼鐵股份有限公司
发明人：陳文昌 , 劉峰齊 , 黃新喜 , 蘇松輝 , 楊其偉
IPC分类号： F26B3/347

5. 发明专利

TW201402238A 脫脂裝置及脫脂方法审中-公开
简体标题：脱脂设备及脱脂方法
公开(公告)号：TW201402238A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：TW102118934
申请日：2013-05-29
申请人：郡是股份有限公司 , GUNZE LIMITED
发明人：大神周倂 , OGAMI, SHUHEI , 山本正則 , YAMAMOTO, MASANORI , 廣田俊哉 , HIROTOMI, TOSHIYA
IPC分类号： B08B7/00 , H01B13/30 , F26B23/10 , F26B3/347
CPC分类号： F26B3/347
摘要：本發明提供能在短時間內高效地進行脫脂處理的脫脂裝置和脫脂方法。所述脫脂裝置除去附著在由導電性材料構成的構件上的油分，具備電磁感應加熱裝置，所述電磁感應加熱裝置從所述構件的外側以電磁感應加熱方式加熱所述構件。
简体摘要：本发明提供能在短时间内高效地进行脱脂处理的脱脂设备和脱脂方法。所述脱脂设备除去附着在由导电性材料构成的构件上的油分，具备电磁感应加热设备，所述电磁感应加热设备从所述构件的外侧以电磁感应加热方式加热所述构件。

6. 发明专利

TWI640735B 具污染防治之微波腔體有权
简体标题：具污染防治之微波腔体
公开(公告)号：TWI640735B
公开(公告)日：2018-11-11
申请号：TW105140396
申请日：2016-12-07
申请人：財團法人金屬工業研究發展中心
发明人：李宗信 , 吳奕達 , 曾坤三
IPC分类号： F26B25/08 , F26B3/347 , F26B23/08

7. 实用新型

TWM475573U 微波加熱暨乾燥裝置有权
简体标题：微波加热暨干燥设备
公开(公告)号：TWM475573U
公开(公告)日：2014-04-01
申请号：TW102217047
申请日：2013-09-11
申请人：宏碩系統股份有限公司
发明人：陳漢穎 , CHEN, HAN YING
IPC分类号： F26B3/347

8. 发明专利

TWI687634B 半導體晶圓乾燥設備及方法有权
简体标题：半导体晶圆干燥设备及方法
公开(公告)号：TWI687634B
公开(公告)日：2020-03-11
申请号：TW108107313
申请日：2019-03-05
申请人：南亞科技股份有限公司 , NANYA TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：蔡奉儒 , TSAI, FENG JU , 董學儒 , DOONG, SHYUE RU
IPC分类号： F26B3/347 , H01L21/67

9. 发明专利

TW202004109A 使用感應加熱的快速晶圓乾燥审中-公开
简体标题：使用感应加热的快速晶圆干燥
公开(公告)号：TW202004109A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108116032
申请日：2019-05-09
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：巴賽特德瑞克 , BASSETT, DEREK , 羅頓達洛安東尼奧 , ROTONDARO, ANTONIO
IPC分类号： F26B3/347 , H01L21/67
摘要：本發明提出用於基板乾燥之製程及設備，其中藉由表面液體之快速沸騰以實現基板乾燥，以在液體可能導致毛細管圖案坍塌之前使液體蒸發。具體而言，利用電磁感應加熱以提供相對於基板表面之橫向振盪磁場，以在基板中引起渦電流，使基板快速升溫。隨後液體將快速蒸發而不導致圖案坍塌。此技術對IPA乾燥特別有用。
简体摘要：本发明提出用于基板干燥之制程及设备，其中借由表面液体之快速沸腾以实现基板干燥，以在液体可能导致毛细管图案坍塌之前使液体蒸发。具体而言，利用电磁感应加热以提供相对于基板表面之横向振荡磁场，以在基板中引起涡电流，使基板快速升温。随后液体将快速蒸发而不导致图案坍塌。此技术对IPA干燥特别有用。

10. 实用新型

TWM466240U 微波乾燥機（槽）有权
简体标题：微波干燥机（槽）
公开(公告)号：TWM466240U
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：TW101211768
申请日：2012-06-19
申请人：輝虎工業股份有限公司
发明人：張慶輝
IPC分类号： F26B3/347

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式