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    • 3. 发明专利
    • 藥液排出機構,液處理裝置,藥液排出方法及記憶媒體
    • 药液排出机构,液处理设备,药液排出方法及记忆媒体
    • TW201906668A
    • 2019-02-16
    • TW107125688
    • 2015-07-01
    • 日商東京威力科創股份有限公司TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 笹川典彦SASAGAWA,NORIHIKO稲田博一INADA,HIROICHI浜田雅仁HAMADA,MASAHITO
    • B05C11/08B05C11/11B05C5/00
    • 本發明的課題為提供一種用於排出黏度比較高的藥液的藥液排出機構中,可降低該藥液的排液路佔有之高度較小的技術。 其解決手段為構成排液機構,具備:具有貯存藥液的貯存空間的貯存部;在上述貯存空間,供應用於降低上述藥液黏度之稀釋液而開口的稀釋液供應口;為攪拌上述稀釋液與上述藥液而對上述貯存空間供應流體,並對該稀釋液及藥液形成渦流用的渦流形成部;及為了將攪拌後的上述稀釋液及藥液藉上述稀釋液的供應而流入並從上述貯存空間排出,在該貯存空間中於上述稀釋液供應口的上方開口的排液口。藉以上的構成,可降低從排液口排出之廢棄液的黏度,相對於連接在該排液口之排液路的水平面不需要大的傾斜。
    • 本发明的课题为提供一种用于排出黏度比较高的药液的药液排出机构中,可降低该药液的排液路占有之高度较小的技术。 其解决手段为构成排液机构,具备:具有贮存药液的贮存空间的贮存部;在上述贮存空间,供应用于降低上述药液黏度之稀释液而开口的稀释液供应口;为搅拌上述稀释液与上述药液而对上述贮存空间供应流体,并对该稀释液及药液形成涡流用的涡流形成部;及为了将搅拌后的上述稀释液及药液藉上述稀释液的供应而流入并从上述贮存空间排出,在该贮存空间中于上述稀释液供应口的上方开口的排液口。借以上的构成,可降低从排液口排出之废弃液的黏度,相对于连接在该排液口之排液路的水平面不需要大的倾斜。