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    • 8. 发明专利
    • 全氟化物的處理裝置
    • 全氟化物的处理设备
    • TW201440877A
    • 2014-11-01
    • TW103114238
    • 2014-04-18
    • 昭和電工股份有限公司SHOWA DENKO K. K.
    • 鳥巣純一TORISU, JUNICHI早坂裕二HAYASAKA, YUJI加藤健一KATO, KENICHI
    • B01D53/75B01D53/68B01D53/73B01D53/78B01D53/82B01D53/86
    • Y02C20/30
    • 本發明的課題係在於提供能夠從分解氣體更確實地除去酸成分,並且能夠更圓滑地進行用來乾式除去酸成分的藥劑之更換的全氟化物的處理裝置等。用以解決課題之手段為,一種全氟化物的處理裝置,其特徵為具備有:加熱手段,該加熱手段為用來加熱含有全氟化物的氣體及水,並且藉由觸媒將全氟化物予以加水分解而產生分解氣體;熱交換手段,該熱交換手段係配置在加熱手段的前段及後段;及酸成分除去手段,該酸成分除去手段係將分解氣體中的酸成分予以乾式除去,酸成分除去手段係在裝置底部具備有:擋門(251a)~擋門(251e)(擋門251),該擋門是可開閉,當成為打開狀態時,取出反應後的藥劑;及狹縫部(252),該狹縫部係配置在擋門251之間,具有從上方朝向擋門(251)之斜面(S1、S2),並且在斜面(S1、S2)具有使分解氣體通過,而不會讓藥劑通過的尺寸大小之狹縫(252a)。
    • 本发明的课题系在于提供能够从分解气体更确实地除去酸成分,并且能够更圆滑地进行用来干式除去酸成分的药剂之更换的全氟化物的处理设备等。用以解决课题之手段为,一种全氟化物的处理设备,其特征为具备有:加热手段,该加热手段为用来加热含有全氟化物的气体及水,并且借由触媒将全氟化物予以加水分解而产生分解气体;热交换手段,该热交换手段系配置在加热手段的前段及后段;及酸成分除去手段,该酸成分除去手段系将分解气体中的酸成分予以干式除去,酸成分除去手段系在设备底部具备有:挡门(251a)~挡门(251e)(挡门251),该挡门是可开闭,当成为打开状态时,取出反应后的药剂;及狭缝部(252),该狭缝部系配置在挡门251之间,具有从上方朝向挡门(251)之斜面(S1、S2),并且在斜面(S1、S2)具有使分解气体通过,而不会让药剂通过的尺寸大小之狭缝(252a)。