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    • 4. 发明专利
    • 全氟化物的處理裝置
    • 全氟化物的处理设备
    • TW201440877A
    • 2014-11-01
    • TW103114238
    • 2014-04-18
    • 昭和電工股份有限公司SHOWA DENKO K. K.
    • 鳥巣純一TORISU, JUNICHI早坂裕二HAYASAKA, YUJI加藤健一KATO, KENICHI
    • B01D53/75B01D53/68B01D53/73B01D53/78B01D53/82B01D53/86
    • Y02C20/30
    • 本發明的課題係在於提供能夠從分解氣體更確實地除去酸成分,並且能夠更圓滑地進行用來乾式除去酸成分的藥劑之更換的全氟化物的處理裝置等。用以解決課題之手段為,一種全氟化物的處理裝置,其特徵為具備有:加熱手段,該加熱手段為用來加熱含有全氟化物的氣體及水,並且藉由觸媒將全氟化物予以加水分解而產生分解氣體;熱交換手段,該熱交換手段係配置在加熱手段的前段及後段;及酸成分除去手段,該酸成分除去手段係將分解氣體中的酸成分予以乾式除去,酸成分除去手段係在裝置底部具備有:擋門(251a)~擋門(251e)(擋門251),該擋門是可開閉,當成為打開狀態時,取出反應後的藥劑;及狹縫部(252),該狹縫部係配置在擋門251之間,具有從上方朝向擋門(251)之斜面(S1、S2),並且在斜面(S1、S2)具有使分解氣體通過,而不會讓藥劑通過的尺寸大小之狹縫(252a)。
    • 本发明的课题系在于提供能够从分解气体更确实地除去酸成分,并且能够更圆滑地进行用来干式除去酸成分的药剂之更换的全氟化物的处理设备等。用以解决课题之手段为,一种全氟化物的处理设备,其特征为具备有:加热手段,该加热手段为用来加热含有全氟化物的气体及水,并且借由触媒将全氟化物予以加水分解而产生分解气体;热交换手段,该热交换手段系配置在加热手段的前段及后段;及酸成分除去手段,该酸成分除去手段系将分解气体中的酸成分予以干式除去,酸成分除去手段系在设备底部具备有:挡门(251a)~挡门(251e)(挡门251),该挡门是可开闭,当成为打开状态时,取出反应后的药剂;及狭缝部(252),该狭缝部系配置在挡门251之间,具有从上方朝向挡门(251)之斜面(S1、S2),并且在斜面(S1、S2)具有使分解气体通过,而不会让药剂通过的尺寸大小之狭缝(252a)。
    • 5. 发明专利
    • 全氟化物的處理裝置,全氟化物的處理方法及記錄媒體
    • 全氟化物的处理设备,全氟化物的处理方法及记录媒体
    • TW201436853A
    • 2014-10-01
    • TW103110284
    • 2014-03-19
    • 昭和電工股份有限公司SHOWA DENKO K. K.
    • 鳥巣純一TORISU, JUNICHI早坂裕二HAYASAKA, YUJI加藤健一KATO, KENICHI
    • B01D53/74B01D53/86B01D53/68B01D53/82
    • Y02C20/30Y02P70/605
    • 本發明的課題係在於提供從分解氣體更確實地除去酸成分,並且能夠減少用來乾式除去酸成分的藥劑之消耗量的全氟化物的處理裝置等。用以解決課題之手段為,一種全氟化物的處理裝置(2),其特徵為具備有:加熱手段(第1加熱器(221)、第2加熱器(222)),該加熱手段為用來加熱裝置入口排廢氣及水,並且藉由預先所決定的觸媒,將全氟化物予以加水分解而產生包含HF的分解氣體;熱交換器(231),該熱交換器係配置在加熱手段的前段及後段,在裝置入口排廢氣及水與分解氣體之間進行熱交換;酸成分除去裝置(232),該酸成分除去裝置係藉由藥劑,從分解氣體乾式除去HF;HF濃度感測器(236),該HF濃度感測器用來檢測自酸成分除去裝置(232)流出的排廢氣所含的HF濃度;及控制單元(24),該控制單元係進行對酸成分除去裝置(232)所進行的藥劑之排出及供給的控制。
    • 本发明的课题系在于提供从分解气体更确实地除去酸成分,并且能够减少用来干式除去酸成分的药剂之消耗量的全氟化物的处理设备等。用以解决课题之手段为,一种全氟化物的处理设备(2),其特征为具备有:加热手段(第1加热器(221)、第2加热器(222)),该加热手段为用来加热设备入口排废气及水,并且借由预先所决定的触媒,将全氟化物予以加水分解而产生包含HF的分解气体;热交换器(231),该热交换器系配置在加热手段的前段及后段,在设备入口排废气及水与分解气体之间进行热交换;酸成分除去设备(232),该酸成分除去设备系借由药剂,从分解气体干式除去HF;HF浓度传感器(236),该HF浓度传感器用来检测自酸成分除去设备(232)流出的排废气所含的HF浓度;及控制单元(24),该控制单元系进行对酸成分除去设备(232)所进行的药剂之排出及供给的控制。
    • 8. 发明专利
    • 全氟化物之處理裝置及全氟化物之處理方法
    • 全氟化物之处理设备及全氟化物之处理方法
    • TW201436854A
    • 2014-10-01
    • TW103110285
    • 2014-03-19
    • 昭和電工股份有限公司SHOWA DENKO K. K.
    • 鳥巣純一TORISU, JUNICHI早坂裕二HAYASAKA, YUJI加藤健一KATO, KENICHI
    • B01D53/74B01D53/34B01D53/68B01D53/76B01D53/86B01D46/00
    • Y02C20/30Y02P20/155Y02P70/605
    • 本發明係提供全氟化物之處理裝置等,能避免作為前處理而使用多量的水和排水處理,並且能除去含有全氟化物的氣體中的固體成分,使過濾器等不易堵塞。全氟化物之處理裝置(2),其特徵在於,具備:前處理單元(21),係將裝置入口排氣予以前處理;加熱手段(第1加熱器(221)、第2加熱器(222)),係將裝置入口排氣及水予以加熱,並且藉由觸媒將全氟化物水解而產生含有酸性氣體的分解氣體;熱交換器(231),係配設在加熱手段的前段及後段,用以在裝置入口排氣及水和分解氣體之間進行熱交換;及酸成分除去裝置(232),係將酸成分乾式除去;且前處理單元(21)具備:入口加熱器(211),係將裝置入口排氣予以加熱,使裝置入口排氣所含的液體的水蒸發;及過濾器(212)、(212a),係從裝置入口排氣除去固體成分。
    • 本发明系提供全氟化物之处理设备等,能避免作为前处理而使用多量的水和排水处理,并且能除去含有全氟化物的气体中的固体成分,使过滤器等不易堵塞。全氟化物之处理设备(2),其特征在于,具备:前处理单元(21),系将设备入口排气予以前处理;加热手段(第1加热器(221)、第2加热器(222)),系将设备入口排气及水予以加热,并且借由触媒将全氟化物水解而产生含有酸性气体的分解气体;热交换器(231),系配设在加热手段的前段及后段,用以在设备入口排气及水和分解气体之间进行热交换;及酸成分除去设备(232),系将酸成分干式除去;且前处理单元(21)具备:入口加热器(211),系将设备入口排气予以加热,使设备入口排气所含的液体的水蒸发;及过滤器(212)、(212a),系从设备入口排气除去固体成分。