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    • 1. 发明专利
    • 超薄鐵磁/反鐵磁耦合薄膜之結構及其製法
    • 超薄铁磁/反铁磁耦合薄膜之结构及其制法
    • TW200921718A
    • 2009-05-16
    • TW096141973
    • 2007-11-07
    • 國立中正大學 NATIONAL CHUNG CHENG UNIVERSITY
    • 蔡志申 TSAY, JYH SHEN李奇暐 LEE, CHIWEI陳恭 CHERN, GUNG
    • H01F
    • C23C14/5853B82Y25/00C23C14/16G11B5/3906G11B5/66H01F10/3218H01F41/20Y10S428/90Y10T428/1107Y10T428/24942
    • 一種鐵磁/反鐵磁耦合薄膜之結構及其製法,該結構包含基材、於700至900 K之溫度條件下,形成於基材表面厚度為2至15原子層(monolayers, ML)之氧化鈷反鐵磁層、以及形成於氧化鈷反鐵磁層表面至少1原子層之鈷膜鐵磁層。該方法係先於基材表面鍍上至少2原子層之第一鈷膜,接著使該第一鈷膜曝氧至飽和並於700至900 K之溫度條件下加熱使氧與鈷均勻化合形成厚度為2至15原子層之氧化鈷層,再於該氧化鈷層表面鍍上至少1原子層之第二鈷膜。所形成之薄膜結構經場冷卻後,利用表面磁光科爾效應儀(surface magneto-optic Kerr effect, SMOKE)進行磁性量測,發現磁滯偏移現象,為良好的鐵磁/反鐵磁薄膜。藉由調整反鐵磁層的厚度,可以改變交換耦合的强度,獲得鐵磁層與反鐵磁層交換耦合的最佳條件,適合用於製作磁記錄媒體。
    • 一种铁磁/反铁磁耦合薄膜之结构及其制法,该结构包含基材、于700至900 K之温度条件下,形成于基材表面厚度为2至15原子层(monolayers, ML)之氧化钴反铁磁层、以及形成于氧化钴反铁磁层表面至少1原子层之钴膜铁磁层。该方法系先于基材表面镀上至少2原子层之第一钴膜,接着使该第一钴膜曝氧至饱和并于700至900 K之温度条件下加热使氧与钴均匀化合形成厚度为2至15原子层之氧化钴层,再于该氧化钴层表面镀上至少1原子层之第二钴膜。所形成之薄膜结构经场冷却后,利用表面磁光科尔效应仪(surface magneto-optic Kerr effect, SMOKE)进行磁性量测,发现磁滞偏移现象,为良好的铁磁/反铁磁薄膜。借由调整反铁磁层的厚度,可以改变交换耦合的强度,获得铁磁层与反铁磁层交换耦合的最佳条件,适合用于制作磁记录媒体。