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1. 发明专利

TWI620243B 加壓構件、噴淋頭電極組件、及其製造方法，以及處理半導體基板的方法有权
简体标题：加压构件、喷淋头电极组件、及其制造方法，以及处理半导体基板的方法
公开(公告)号：TWI620243B
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW102116585
申请日：2013-05-09
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：達瑞爾艾爾利奇 , DARRELL, EHRLICH , 布朗丹尼爾亞瑟 , BROWN, DANIEL ARTHUR , 肯沃西伊恩 , KENWORTHY, IAN
IPC分类号： H01L21/3065 , H05K13/00 , B05B7/16
CPC分类号： H01J37/32541 , C23C16/4557 , H01J37/32091 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01L21/3065 , Y10T29/49002 , Y10T29/49083 , Y10T29/49098 , Y10T29/49117 , Y10T29/49803

2. 发明专利

TW201413814A 用於使用在噴淋頭電極組件中之加壓構件审中-公开
简体标题：用于使用在喷淋头电极组件中之加压构件
公开(公告)号：TW201413814A
公开(公告)日：2014-04-01
申请号：TW102116585
申请日：2013-05-09
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：達瑞爾艾爾利奇 , DARRELL, EHRLICH , 布朗丹尼爾亞瑟 , BROWN, DANIEL ARTHUR , 肯沃西伊恩 , KENWORTHY, IAN
IPC分类号： H01L21/3065 , H05K13/00 , B05B7/16
CPC分类号： H01J37/32541 , C23C16/4557 , H01J37/32091 , H01J37/3244 , H01J37/32522 , H01L21/3065 , Y10T29/49002 , Y10T29/49083 , Y10T29/49098 , Y10T29/49117 , Y10T29/49803
摘要：一種用於電容耦合電漿腔室之噴淋頭電極組件中的加壓構件。該構件施加壓縮力至鄰近熱控制板之上表面上的供電靴之薄膜加熱器，且係位於熱控制板與溫度受控頂板之間。該構件係由可在大的壓縮及溫度範圍內運作之電絕緣彈性材料組成。
简体摘要：一种用于电容耦合等离子腔室之喷淋头电极组件中的加压构件。该构件施加压缩力至邻近热控制板之上表面上的供电靴之薄膜加热器，且系位于热控制板与温度受控顶板之间。该构件系由可在大的压缩及温度范围内运作之电绝缘弹性材料组成。

3. 发明专利

TWI351325B 製作具表面圖紋之板材之裝置及其方法 DEVICE FOR PRODUCING PATTERNS AND A METHOD THEREOF 有权
简体标题：制作具表面图纹之板材之设备及其方法 DEVICE FOR PRODUCING PATTERNS AND A METHOD THEREOF
公开(公告)号：TWI351325B
公开(公告)日：2011-11-01
申请号：TW097147895
申请日：2008-12-09
申请人：財團法人金屬工業研究發展中心
发明人：鄭東辰 , 朱祐誼
IPC分类号： B21D
CPC分类号： B21D26/14 , Y10T29/49803
摘要：本發明揭示一種利用管形胚料製作具表面圖紋之板材之裝置，管形胚料之管壁包括成形面，裝置包括模具及電磁產生裝置，模具之壁面包括圖紋面及斷開部，圖紋面包括圖紋。管形胚料係置於模具及電磁產生裝置之間，管形胚料之管壁係與模具之壁面相對，且管形胚料之成形面係與模具之圖紋面相對應。電磁產生裝置係被供以脈衝電流後致使管形胚料產生感應電流並與電磁產生裝置間形成互斥力，藉互斥力致使管形胚料之管壁貼附於模具之壁面，而使管形胚料之成形面形成相對應之圖紋，且管形胚料在斷開部之相對應處位置斷開。同時，本發明亦揭示一種利用管形胚料製作具表面圖紋之板材之方法。
简体摘要：本发明揭示一种利用管形胚料制作具表面图纹之板材之设备，管形胚料之管壁包括成形面，设备包括模具及电磁产生设备，模具之壁面包括图纹面及断开部，图纹面包括图纹。管形胚料系置于模具及电磁产生设备之间，管形胚料之管壁系与模具之壁面相对，且管形胚料之成形面系与模具之图纹面相对应。电磁产生设备系被供以脉冲电流后致使管形胚料产生感应电流并与电磁产生设备间形成互斥力，藉互斥力致使管形胚料之管壁贴附于模具之壁面，而使管形胚料之成形面形成相对应之图纹，且管形胚料在断开部之相对应处位置断开。同时，本发明亦揭示一种利用管形胚料制作具表面图纹之板材之方法。

4. 发明专利

TW201603866A 包含其中具有扭曲褶襉的濾材之過濾物件审中-公开
简体标题：包含其中具有扭曲褶裥的滤材之过滤对象
公开(公告)号：TW201603866A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW104115202
申请日：2015-05-13
申请人：戈爾股份有限公司 , W. L. GORE & ASSOCIATES, INC.
发明人：奈特澤爾愛德華T , NEITZEL, EDWARD T.
IPC分类号： B01D29/21
CPC分类号： B01D29/071 , B01D29/012 , B01D29/13 , B01D29/213 , B01D29/235 , B01D2201/12 , B01D2201/125 , Y10T29/49803
摘要：本發明提供一種其中具有一有褶襇扭曲濾材之過濾裝置。該濾材具有一大體圓柱形形狀，且包括一第一末端、與該第一末端相對之一第二末端，及向外突出之褶襇。該等褶襇在該過濾裝置內具有一非線性定向。該濾材之該扭曲將該等褶襇之末端環繞該濾材之圓周自一第一位置(P1)移動一距離至一第二位置(P2)。旋轉角之範圍可為自約5度至約1440度。使該濾材扭曲增大該過濾裝置中濾材之有效量，此增大又對應於有效過濾面積(EFA)的一增大。該濾材中之該等褶襇末端的刻意未對準改良該材料之切割能力，移除該材料之挫曲，且改良裁切的品質。
简体摘要：本发明提供一种其中具有一有褶裥扭曲滤材之过滤设备。该滤材具有一大体圆柱形形状，且包括一第一末端、与该第一末端相对之一第二末端，及向外突出之褶裥。该等褶裥在该过滤设备内具有一非线性定向。该滤材之该扭曲将该等褶裥之末端环绕该滤材之圆周自一第一位置(P1)移动一距离至一第二位置(P2)。旋转角之范围可为自约5度至约1440度。使该滤材扭曲增大该过滤设备中滤材之有效量，此增大又对应于有效过滤面积(EFA)的一增大。该滤材中之该等褶裥末端的刻意未对准改良该材料之切割能力，移除该材料之挫曲，且改良裁切的品质。

5. 发明专利

TW201021935A 製作具表面圖紋之板材之裝置及其方法 DEVICE FOR PRODUCING PATTERNS AND A METHOD THEREOF 审中-公开
简体标题：制作具表面图纹之板材之设备及其方法 DEVICE FOR PRODUCING PATTERNS AND A METHOD THEREOF
公开(公告)号：TW201021935A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：TW097147895
申请日：2008-12-09
申请人：財團法人金屬工業研究發展中心
发明人：鄭東辰 , 朱祐誼
IPC分类号： B21D
CPC分类号： B21D26/14 , Y10T29/49803
摘要：本發明揭示一種利用管形胚料製作具表面圖紋之板材之裝置，管形胚料之管壁包括成形面，裝置包括模具及電磁產生裝置，模具之壁面包括圖紋面及斷開部，圖紋面包括圖紋。管形胚料係置於模具及電磁產生裝置之間，管形胚料之管壁係與模具之壁面相對，且管形胚料之成形面係與模具之圖紋面相對應。電磁產生裝置係被供以脈衝電流後致使管形胚料產生感應電流並與電磁產生裝置間形成互斥力，藉互斥力致使管形胚料之管壁貼附於模具之壁面，而使管形胚料之成形面形成相對應之圖紋，且管形胚料在斷開部之相對應處位置斷開。同時，本發明亦揭示一種利用管形胚料製作具表面圖紋之板材之方法。
简体摘要：本发明揭示一种利用管形胚料制作具表面图纹之板材之设备，管形胚料之管壁包括成形面，设备包括模具及电磁产生设备，模具之壁面包括图纹面及断开部，图纹面包括图纹。管形胚料系置于模具及电磁产生设备之间，管形胚料之管壁系与模具之壁面相对，且管形胚料之成形面系与模具之图纹面相对应。电磁产生设备系被供以脉冲电流后致使管形胚料产生感应电流并与电磁产生设备间形成互斥力，藉互斥力致使管形胚料之管壁贴附于模具之壁面，而使管形胚料之成形面形成相对应之图纹，且管形胚料在断开部之相对应处位置断开。同时，本发明亦揭示一种利用管形胚料制作具表面图纹之板材之方法。

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