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1. 发明专利

TW451288B 半導體製造裝置及半導體裝置之製造方法失效
简体标题：半导体制造设备及半导体设备之制造方法
公开(公告)号：TW451288B
公开(公告)日：2001-08-21
申请号：TW088119795
申请日：1999-11-11
申请人：東芝股份有限公司
发明人：黑澤哲也 , 沼田英夫 , 德圭介
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67092 , B28D5/0094 , H01L21/6838 , H01L21/78 , Y10T279/11 , Y10T279/1249
摘要：本發明係提供一種消除將晶片從切割板(dicing sheet)剝離時所使用之夾套(collet)薄板化所引起之晶片之翹反，能夠實現防止龜裂等提升品質與生產力所構成之半導體製造裝置及半導體裝置之製造方法。
本發明之解決手段係將張貼於切割板109個別地被分割之晶片l10從切割板剝離之製程所使用之夾套115為由平坦吸附面所構成，而由欲吸附之晶片大小相同或加工成較其為大之多孔質體所構成。於從切割板剝離晶片之製程，也可設置如加熱裝置或冷卻裝置可降低切割板接著力之裝置。可防止在薄板化之半導體基板之製程中之翹反或龜裂。又將降低切割板接著力之裝置裝設於半導體製造裝置更可提升防止晶片之缺落或龜裂。
简体摘要：本发明系提供一种消除将芯片从切割板(dicing sheet)剥离时所使用之夹套(collet)薄板化所引起之芯片之翘反，能够实现防止龟裂等提升品质与生产力所构成之半导体制造设备及半导体设备之制造方法。本发明之解决手段系将张贴于切割板109个别地被分割之芯片l10从切割板剥离之制程所使用之夹套115为由平坦吸附面所构成，而由欲吸附之芯片大小相同或加工成较其为大之多孔质体所构成。于从切割板剥离芯片之制程，也可设置如加热设备或冷却设备可降低切割板接着力之设备。可防止在薄板化之半导体基板之制程中之翘反或龟裂。又将降低切割板接着力之设备装设于半导体制造设备更可提升防止芯片之缺落或龟裂。

2. 实用新型

TW492368U 雙面油壓調壓夾頭構造失效
简体标题：双面油压调压夹头构造
公开(公告)号：TW492368U
公开(公告)日：2002-06-21
申请号：TW089218568
申请日：2000-10-25
申请人：吳炫隆
发明人：吳炫隆
IPC分类号： B23Q
CPC分类号： B23B31/204 , Y10T279/1249 , Y10T279/1258 , Y10T279/1266 , Y10T279/17521 , Y10T279/17529
摘要：本創作係提供一種雙面油壓調壓夾頭構造，主要係於一夾具本體之貫孔內依序樞置有一軸座、一轉軸、一掣動座及一筒夾，其中該轉軸壁面設有二油孔，而該轉軸相對應於該油孔各設有一油道通往該掣動座前側面及後側面，另外，該筒夾之外周側係一斜面，可隨外力推拔而位移作動，藉此，當油壓流經該油孔與油道而竄流至機座內時，即能正向或反向推動該掣動座，進而使該筒夾呈鬆放狀態或夾緊狀態；職是，本創作油道內之油壓係經調壓設定控制，藉此可防杜夾具因夾置力過大而損壞工件之情況。
简体摘要：本创作系提供一种双面油压调压夹头构造，主要系于一夹具本体之贯孔内依序枢置有一轴座、一转轴、一掣动座及一筒夹，其中该转轴壁面设有二油孔，而该转轴相对应于该油孔各设有一油道通往该掣动座前侧面及后侧面，另外，该筒夹之外周侧系一斜面，可随外力推拔而位移作动，借此，当油压流经该油孔与油道而窜流至机座内时，即能正向或反向推动该掣动座，进而使该筒夹呈松放状态或夹紧状态；职是，本创作油道内之油压系经调压设置控制，借此可防杜夹具因夹置力过大而损坏工件之情况。

3. 发明专利

TW371277B 筒式夾頭失效
简体标题：筒式夹头
公开(公告)号：TW371277B
公开(公告)日：1999-10-01
申请号：TW086115539
申请日：1997-10-21
申请人：克斯美庫股份有限公司
发明人：米澤慶多朗
IPC分类号： B23Q
CPC分类号： B25B5/061 , B23Q1/28 , B25B5/08 , B25B5/147 , Y10T74/20636 , Y10T74/2066 , Y10T279/1249
摘要：本發明係提供一種可獲得大的夾持固定力之小形夾頭。
本發明之解決手段係在插入於器殼（housing）２之支持桿４外嵌環狀筒夾（collet）１０，對於此筒夾１０隔環狀推拔間隙Ｃ配置環狀之傳動具１４。對於其環狀推拔間隙Ｃ將多數球Ｂ向周向且上下方向排列之狀態插入，將這些球Ｂ由押壓彈簧１７推上。夾緊時就對於油壓作動室２５供給油壓。於是，夾緊用活塞２４就抗衡回動用彈簧２８將上述傳動具１４向下移動，其傳動具１４之推拔內周面１５邊使上述球Ｂ滾動而卡合於上述筒夾１０之推拔外周面１１。藉此，其筒夾１０被縮徑而將上述支持桿４夾持固定於規定高度。
简体摘要：本发明系提供一种可获得大的夹持固定力之小形夹头。本发明之解决手段系在插入于器壳（housing）２之支持杆４外嵌环状筒夹（collet）１０，对于此筒夹１０隔环状推拔间隙Ｃ配置环状之传动具１４。对于其环状推拔间隙Ｃ将多数球Ｂ向周向且上下方向排列之状态插入，将这些球Ｂ由押压弹簧１７推上。夹紧时就对于油压作动室２５供给油压。于是，夹紧用活塞２４就抗衡回动用弹簧２８将上述传动具１４向下移动，其传动具１４之推拔内周面１５边使上述球Ｂ滚动而卡合于上述筒夹１０之推拔外周面１１。借此，其筒夹１０被缩径而将上述支持杆４夹持固定于规定高度。

4. 发明专利

TWI328483B 主軸裝置 MAIN SPINDLE DEVICE 有权
简体标题：主轴设备 MAIN SPINDLE DEVICE
公开(公告)号：TWI328483B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：TW096132577
申请日：2007-08-31
申请人：津上股份有限公司
发明人：寺井宏 , 建見卓央 , 佐藤秀則 , 風間浩明
IPC分类号： B23B
CPC分类号： B23B31/205 , B23B13/08 , B23B31/302 , B23Q1/70 , Y10T82/2508 , Y10T82/2514 , Y10T82/2561 , Y10T279/1249
摘要：一種主軸裝置具有一主軸及一夾頭單元。主軸具有一中空孔，而夾頭單元用以夾緊一工作件。一管道單元係設置於主軸之中空孔、且工作件係插設於管道單元中，藉以在工作件與主軸一起旋轉時，避免工作件振動。一支撐單元支撐管道單元於主軸之一端，以使管道單元之軸線與主軸之軸線一致，並使管道單元之一端從設置於夾頭單元內部之主軸之一端凸出。
简体摘要：一种主轴设备具有一主轴及一夹头单元。主轴具有一中空孔，而夹头单元用以夹紧一工作件。一管道单元系设置于主轴之中空孔、且工作件系插设于管道单元中，借以在工作件与主轴一起旋转时，避免工作件振动。一支撑单元支撑管道单元于主轴之一端，以使管道单元之轴线与主轴之轴线一致，并使管道单元之一端从设置于夹头单元内部之主轴之一端凸出。

5. 发明专利

TW200819225A 主軸裝置 MAIN SPINDLE DEVICE 审中-公开
简体标题：主轴设备 MAIN SPINDLE DEVICE
公开(公告)号：TW200819225A
公开(公告)日：2008-05-01
申请号：TW096132577
申请日：2007-08-31
申请人：津上股份有限公司 TSUGAMI CORPORATION
发明人：寺井宏 TERAI, HIROSHI , 建見卓央 TATEMI, TAKAO , 佐藤秀則 SATO, HIDENORI , 風間浩明 KAZAMA, HIROAKI
IPC分类号： B23B
CPC分类号： B23B31/205 , B23B13/08 , B23B31/302 , B23Q1/70 , Y10T82/2508 , Y10T82/2514 , Y10T82/2561 , Y10T279/1249
摘要：一種主軸裝置具有一主軸及一夾頭單元。主軸具有一中空孔,而夾頭單元用以夾緊一工作件。一管道單元係設置於主軸之中空孔、且工作件係插設於管道單元中,藉以在工作件與主軸一起旋轉時,避免工作件振動。一支撐單元支撐管道單元於主軸之一端,以使管道單元之軸線與主軸之軸線一致,並使管道單元之一端從設置於夾頭單元內部之主軸之一端凸出。
简体摘要：一种主轴设备具有一主轴及一夹头单元。主轴具有一中空孔,而夹头单元用以夹紧一工作件。一管道单元系设置于主轴之中空孔、且工作件系插设于管道单元中,借以在工作件与主轴一起旋转时,避免工作件振动。一支撑单元支撑管道单元于主轴之一端,以使管道单元之轴线与主轴之轴线一致,并使管道单元之一端从设置于夹头单元内部之主轴之一端凸出。

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