专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201100973A 用於在真空腔中實現真空的方法和配置 A METHOD AND ARRANGEMENT FOR REALIZING A VACUUM IN A VACUUM CHAMBER 审中-公开
简体标题：用于在真空腔中实现真空的方法和配置 A METHOD AND ARRANGEMENT FOR REALIZING A VACUUM IN A VACUUM CHAMBER
公开(公告)号：TW201100973A
公开(公告)日：2011-01-01
申请号：TW099105116
申请日：2010-02-22
申请人：瑪波微影IP公司
发明人：柏圖森山德
IPC分类号： G03F , H01L
CPC分类号： F17D1/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/18 , H01J37/3174 , H01J2237/1825 , Y10S417/901 , Y10T137/0396 , Y10T137/86083 , Y10T137/86131
摘要：本發明關於一種用於在真空腔(400)中實現真空之方法,該真空腔連接至一抽吸系統(300),該抽吸系統被多個真空腔共用。此方法包括將每個真空腔分別抽成真空。本發明另外包含一配置,此配置具有連接至抽吸系統的複數個真空腔,在此配置中,抽吸系統用於將每個真空腔分別抽成真空。
简体摘要：本发明关于一种用于在真空腔(400)中实现真空之方法,该真空腔连接至一抽吸系统(300),该抽吸系统被多个真空腔共享。此方法包括将每个真空腔分别抽成真空。本发明另外包含一配置,此配置具有连接至抽吸系统的复数个真空腔,在此配置中,抽吸系统用于将每个真空腔分别抽成真空。

2. 实用新型

TW415540U 真空排氣裝置失效
简体标题：真空排气设备
公开(公告)号：TW415540U
公开(公告)日：2000-12-11
申请号：TW089209381
申请日：1997-10-06
申请人：安內華股份有限公司
发明人：山本久 , 小泉達則
IPC分类号： F04B
CPC分类号： F04B37/08 , Y10S417/901
摘要：提供一種真空排氣裝置(cryogenic vacuum pump system),即使所欲真空排氣(vacuum pump out)之容器內的紅外線量很多時，用以減低低溫控制板之紅外線射入，可使用利用冷凍能力小，且小型而廉價之冷凍機(cryogenic refrigerator)的低溫濾水閘(cryotrap)或低溫泵(cryopump)。
真空排氣裝置(cryogenic vacuum pump system)，係以冷卻成極低溫之低溫控制板15將氣體加以凝縮或吸著，並利用用以真空排氣(vacuum pump out)該氣體之低溫濾水閘(cryotrap)13等的排氣系統，在低溫控制板15之上流側，或其周邊裝著實施黑色系統之表面處理(surface treatment)的放射熱吸收擋板(baffle)18。使用放射熱吸收擋板(baff1e)18使放射熱破吸收，並放熱於容器外部。藉此，使如低溫濾水閘(cryotrap)之總熱負荷量被大幅度減低。
简体摘要：提供一种真空排气设备(cryogenic vacuum pump system),即使所欲真空排气(vacuum pump out)之容器内的红外线量很多时，用以减低低温控制板之红外线射入，可使用利用冷冻能力小，且小型而廉价之冷冻机(cryogenic refrigerator)的低温滤水闸(cryotrap)或低温泵(cryopump)。真空排气设备(cryogenic vacuum pump system)，系以冷却成极低温之低温控制板15将气体加以凝缩或吸着，并利用用以真空排气(vacuum pump out)该气体之低温滤水闸(cryotrap)13等的排气系统，在低温控制板15之上流侧，或其周边装着实施黑色系统之表面处理(surface treatment)的放射热吸收挡板(baffle)18。使用放射热吸收挡板(baff1e)18使放射热破吸收，并放热于容器外部。借此，使如低温滤水闸(cryotrap)之总热负荷量被大幅度减低。

3. 发明专利

TWI379707B 冷阱、冷阱的再生方法、以及冷阱的再生控制裝置 COLD TRAP, COLD TRAP REGENERATION METHOD AND COLD TRAP REGENERATION CONTROLLER 有权
简体标题：冷阱、冷阱的再生方法、以及冷阱的再生控制设备 COLD TRAP, COLD TRAP REGENERATION METHOD AND COLD TRAP REGENERATION CONTROLLER
公开(公告)号：TWI379707B
公开(公告)日：2012-12-21
申请号：TW097149501
申请日：2008-12-18
申请人：住友重機械工業股份有限公司
发明人：及川健
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/08 , Y10S417/901
摘要：本發明的課題在於，為了縮短再生時間。
本發明的冷阱(10)係具備：呈露出狀態配置於排氣流路(14)之冷板(20)、熱傳性地連接於冷板(20)而用來冷卻冷板(20)之冷凍機(22)、以及控制部(24)；該控制部(24)，是在進行再生處理(使在冷板(20)表面凍結的氣體氣化而藉由真空泵(12)排往外部)時控制冷凍機(22)，將冷板(20)昇溫至超過非液化溫度範圍(保證使在冷板表面凍結的氣體不發生融解而進行氣化)的溫度，且調節排氣流路(14)的壓力以在該溫度下使在冷板(20)表面凍結的氣體不發生融解而進行氣化。
简体摘要：本发明的课题在于，为了缩短再生时间。本发明的冷阱(10)系具备：呈露出状态配置于排气流路(14)之冷板(20)、热传性地连接于冷板(20)而用来冷却冷板(20)之冷冻机(22)、以及控制部(24)；该控制部(24)，是在进行再生处理(使在冷板(20)表面冻结的气体气化而借由真空泵(12)排往外部)时控制冷冻机(22)，将冷板(20)升温至超过非液化温度范围(保证使在冷板表面冻结的气体不发生融解而进行气化)的温度，且调节排气流路(14)的压力以在该温度下使在冷板(20)表面冻结的气体不发生融解而进行气化。

4. 发明专利

TW367543B 以非可蒸發吸氣劑泵進行反應性物理蒸汽沈積的方法與裝置失效
简体标题：以非可蒸发吸气剂泵进行反应性物理蒸汽沉积的方法与设备
公开(公告)号：TW367543B
公开(公告)日：1999-08-21
申请号：TW086108643
申请日：1997-06-20
申请人：馬克斯及克拉克股份有限公司
发明人：路克.奧雷特
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01J37/32834 , C23C14/0641 , C23C14/564 , H01J7/183 , H01J37/18 , Y10S417/901
摘要：一種用以在一基質上進行反應性物理蒸氣沈積以形成一氮化物層的裝置，包含一真空室、在該真空室中的一基質支持物、在該基質支持物上方由一貴金屬耐火材料所製成的一目標物，例如，鈦或鉭、用以供應氮氣到該真空室的一氣體入口、以及在將一金屬氮化物反應性物理蒸氣沈積在該基質上時，做為在該真空室中之主要泵送裝置的一非可蒸發吸氣劑泵。該非可蒸發吸氣劑泵供由對氮氣不敏感的材料，如鋯與鐵的一合金。
简体摘要：一种用以在一基质上进行反应性物理蒸气沉积以形成一氮化物层的设备，包含一真空室、在该真空室中的一基质支持物、在该基质支持物上方由一贵金属耐火材料所制成的一目标物，例如，钛或钽、用以供应氮气到该真空室的一气体入口、以及在将一金属氮化物反应性物理蒸气沉积在该基质上时，做为在该真空室中之主要泵送设备的一非可蒸发吸气剂泵。该非可蒸发吸气剂泵供由对氮气不敏感的材料，如锆与铁的一合金。

5. 发明专利

TW200944286A 冷阱及冷阱的再生方法 COLD TRAP AND COLD TRAP REGENERATION METHOD 审中-公开
公开(公告)号：TW200944286A
公开(公告)日：2009-11-01
申请号：TW097149501
申请日：2008-12-18
申请人：住友重機械工業股份有限公司
发明人：及川健
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/08 , Y10S417/901
摘要：本發明的課題在於，為了縮短再生時間。本發明的冷阱(10)係具備：呈露出狀態配置於排氣流路(14)之冷板(20)、熱傳性地連接於冷板(20)而用來冷卻冷板(20)之冷凍機(22)、以及控制部(24)；該控制部(24)，是在進行再生處理(使在冷板(20)表面凍結的氣體氣化而藉由真空泵(12)排往外部)時控制冷凍機(22)，將冷板(20)昇溫至超過非液化溫度範圍(保證使在冷板表面凍結的氣體不發生融解而進行氣化)的溫度，且調節排氣流路(14)的壓力以在該溫度下使在冷板(20)表面凍結的氣體不發生融解而進行氣化。
简体摘要：本发明的课题在于，为了缩短再生时间。本发明的冷阱(10)系具备：呈露出状态配置于排气流路(14)之冷板(20)、热传性地连接于冷板(20)而用来冷却冷板(20)之冷冻机(22)、以及控制部(24)；该控制部(24)，是在进行再生处理(使在冷板(20)表面冻结的气体气化而借由真空泵(12)排往外部)时控制冷冻机(22)，将冷板(20)升温至超过非液化温度范围(保证使在冷板表面冻结的气体不发生融解而进行气化)的温度，且调节排气流路(14)的压力以在该温度下使在冷板(20)表面冻结的气体不发生融解而进行气化。

6. 发明专利

TW353765B 挾雜物去除裝置及去除方法失效
简体标题：挟杂物去除设备及去除方法
公开(公告)号：TW353765B
公开(公告)日：1999-03-01
申请号：TW085104701
申请日：1996-04-19
申请人：東京威力科創有限公司
发明人：波多野達夫
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B01D8/00 , C23C16/4412 , F28F3/02 , Y02C20/30 , Y02P70/605 , Y10S417/901
摘要：一種阱本體，其係活動式搭接於、插入廢氣通道的座落於真空唧筒上游側的該部分的殼體，且有散熱片，其係供冷卻與冷卻裝置接觸的廢氣內的夾雜物，因而液化該夾雜物。因此，流經廢氣通道的廢氣內所含夾雜物，例如，未作用的製程氣體、反應產物，等，當被藉冷卻單元冷卻的阱本體接觸時，被冷卻及液化，並黏著至阱本體表面。如此，廢氣內的夾雜物可被去除，以防夾雜物損壞下游側的真空唧筒或阻塞廢氣通道。
简体摘要：一种阱本体，其系活动式搭接于、插入废气信道的座落于真空唧筒上游侧的该部分的壳体，且有散热片，其系供冷却与冷却设备接触的废气内的夹杂物，因而液化该夹杂物。因此，流经废气信道的废气内所含夹杂物，例如，未作用的制程气体、反应产物，等，当被藉冷却单元冷却的阱本体接触时，被冷却及液化，并黏着至阱本体表面。如此，废气内的夹杂物可被去除，以防夹杂物损坏下游侧的真空唧筒或阻塞废气信道。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式