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    • 7. 发明专利
    • 垂直式電晶體結構 VERTICAL TRANSISTOR STRUCTURE
    • 垂直式晶体管结构 VERTICAL TRANSISTOR STRUCTURE
    • TW201227962A
    • 2012-07-01
    • TW099145277
    • 2010-12-22
    • 中華映管股份有限公司
    • 翁守正李懷安
    • H01L
    • H01L51/0554H01L29/42392H01L29/78642H01L51/057
    • 一種垂直式電晶體結構,包括一基板、一源極、一第一閘極、一第一絕緣層、一第二閘極、一閘絕緣層、一汲極、一第二絕緣層以及一半導體通道層。源極配置於基板上。第一閘極配置於源極上且具有至少一第一貫孔。第一絕緣層配置於第一閘極與源極之間。第二閘極配置於第一閘極上且具有至少一第二貫孔。閘絕緣層配置於第一閘極與第二閘極之間且具有至少一第三貫孔。第一貫孔、第二貫孔以及第三貫孔相互連通。汲極配置於第二閘極上。第二絕緣層配置於第二閘極與汲極之間。半導體通道層填充於第一貫孔、第二貫孔與第三貫孔內。
    • 一种垂直式晶体管结构,包括一基板、一源极、一第一闸极、一第一绝缘层、一第二闸极、一闸绝缘层、一汲极、一第二绝缘层以及一半导体信道层。源极配置于基板上。第一闸极配置于源极上且具有至少一第一贯孔。第一绝缘层配置于第一闸极与源极之间。第二闸极配置于第一闸极上且具有至少一第二贯孔。闸绝缘层配置于第一闸极与第二闸极之间且具有至少一第三贯孔。第一贯孔、第二贯孔以及第三贯孔相互连通。汲极配置于第二闸极上。第二绝缘层配置于第二闸极与汲极之间。半导体信道层填充于第一贯孔、第二贯孔与第三贯孔内。