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1. 发明专利

TWI418947B 包含反覆學習電路的位置控制設備，曝光設備，製造裝置的方法，及用於具有包含學習過濾器之反覆學習電路的位置控制設備中的反覆學習方法有权
简体标题：包含反复学习电路的位置控制设备，曝光设备，制造设备的方法，及用于具有包含学习过滤器之反复学习电路的位置控制设备中的反复学习方法
公开(公告)号：TWI418947B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：TW098106449
申请日：2009-02-27
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：高木清志 , TAKAGI, KIYOSHI
IPC分类号： G03F7/20 , G05B13/02 , G05D3/12 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70725 , G05B13/0265 , G05B19/19 , G05B2219/41439 , G05B2219/42012

2. 发明专利

TW201001086A 包含反覆學習電路的位置控制設備，曝光設備，製造裝置的方法，及用於具有包含學習過濾器之反覆學習電路的位置控制設備中的反覆學習方法 POSITION CONTROL APPARATUS INCLUDING ITERATIVE LEARNING CIRCUIT, EXPOSURE APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND ITERATIVE LEARNING METHOD FOR USE IN POSITION CONTROL APPARATUS HAVING ITERATIVE LEARNING CIRCUIT INCLUDING LEARNING FILTER 审中-公开
简体标题：包含反复学习电路的位置控制设备，曝光设备，制造设备的方法，及用于具有包含学习过滤器之反复学习电路的位置控制设备中的反复学习方法 POSITION CONTROL APPARATUS INCLUDING ITERATIVE LEARNING CIRCUIT, EXPOSURE APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE, AND ITERATIVE LEARNING METHOD FOR USE IN POSITION CONTROL APPARATUS HAVING ITERATIVE LEARNING CIRCUIT INCLUDING LEARNING FILTER
公开(公告)号：TW201001086A
公开(公告)日：2010-01-01
申请号：TW098106449
申请日：2009-02-27
申请人：佳能股份有限公司
发明人：高木清志
IPC分类号： G03F , G05B
CPC分类号： G03F7/70725 , G05B13/0265 , G05B19/19 , G05B2219/41439 , G05B2219/42012
摘要：一位置控制設備包含一偵測單元，其被組構成偵測一控制目標之位置；一減去單元，其被組構成由一目標值減去該偵測單元之輸出；一反覆學習控制電路，其包含一過濾器，該偵測單元之輸出及該目標值間之偏差被輸入該過濾器，在此該反覆學習控制電路前饋一控制輸入至該控制目標；及一參數計算單元，其被組構成計算該控制目標的參數中之變化。該過濾器之特徵係按照該控制目標的參數中之變化而改變(計算)。
简体摘要：一位置控制设备包含一侦测单元，其被组构成侦测一控制目标之位置；一减去单元，其被组构成由一目标值减去该侦测单元之输出；一反复学习控制电路，其包含一过滤器，该侦测单元之输出及该目标值间之偏差被输入该过滤器，在此该反复学习控制电路前馈一控制输入至该控制目标；及一参数计算单元，其被组构成计算该控制目标的参数中之变化。该过滤器之特征系按照该控制目标的参数中之变化而改变(计算)。

3. 发明专利

TW204312B 伺服機用控制裝置失效
简体标题：伺服机用控制设备
公开(公告)号：TW204312B
公开(公告)日：1993-04-21
申请号：TW081107590
申请日：1992-09-25
申请人：東芝股份有限公司 , 香煙產業股份有限公司
发明人：弓田光一 , 井爪孝友 , 加藤誠道
IPC分类号： B23Q , G05B
CPC分类号： G05B19/19 , G05B2219/41431 , G05B2219/41439
摘要：目標位置指令信號 Sp輸入第一運算部 5而以速度順饋份之速度指令值Sv1輸出；該 Sp亦輸入遲延部 6。將藉遲延部6按時間 L遲延之目標位置指令信號Sp'在第二運算部 7求出它與位置反饋信號 P之位置偏差，然後在第三運算部 8以速度校正指令信號 Sv1輸出。此速度校正指令信號 Sv2與速度順饋信號 Sv1之加算所得之速度指令信號 Sv被輸出至伺服驅動器 10。
其結果是，可防止位置偏差之誤差擴大或速度指令信號 Sv之誤差擴大，起因於伺服驅動器以後之系統之回應時滯者。
简体摘要：目标位置指令信号 Sp输入第一运算部 5而以速度顺馈份之速度指令值Sv1输出；该 Sp亦输入迟延部 6。将藉迟延部6按时间 L迟延之目标位置指令信号Sp'在第二运算部 7求出它与位置反馈信号 P之位置偏差，然后在第三运算部 8以速度校正指令信号 Sv1输出。此速度校正指令信号 Sv2与速度顺馈信号 Sv1之加算所得之速度指令信号 Sv被输出至伺服驱动器 10。其结果是，可防止位置偏差之误差扩大或速度指令信号 Sv之误差扩大，起因于伺服驱动器以后之系统之回应时滞者。

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