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    • 2. 发明专利
    • 用於暫態氣流之度量衡方法
    • 用于暂态气流之度量衡方法
    • TW201514500A
    • 2015-04-16
    • TW103117193
    • 2014-05-15
    • 蘭姆研究公司LAM RESEARCH CORPORATION
    • 史派洛普洛斯 伊凡傑洛斯SPYROPOULOS, EVANGELOS沙瑞夫 艾克柏SHAREEF, IQBAL
    • G01P5/14
    • G01F1/34B01J2219/00216G01F25/0007G01F25/0038G01F25/0092
    • 一種計算流動處理氣體之暫態流速的方法,包含:使處理氣體通過質流控制器而流入一已知容積的腔室內,以及測量連續資料取樣點,各連續資料取樣點包括壓力資料、溫度資料、和時間值。識別連續資料取樣點之群組,其中各群組與另一群組共享一或更多連續資料取樣點,並針對連續資料取樣點之每一者計算比率值,其中各比率值係對於各別時間值之壓力資料與溫度和氣體壓縮性資料之乘積間的比率。決定至少一群組內之比率值的最佳擬合線,然後利用壓力上升率技術來計算流動處理氣體之暫態流速,其中該壓力上升率技術採用由至少一群組內之至少一時間值之最佳擬合線所決定的比率值。
    • 一种计算流动处理气体之暂态流速的方法,包含:使处理气体通过质流控制器而流入一已知容积的腔室内,以及测量连续数据采样点,各连续数据采样点包括压力数据、温度数据、和时间值。识别连续数据采样点之群组,其中各群组与另一群组共享一或更多连续数据采样点,并针对连续数据采样点之每一者计算比率值,其中各比率值系对于各别时间值之压力数据与温度和气体压缩性数据之乘积间的比率。决定至少一群组内之比率值的最佳拟合线,然后利用压力上升率技术来计算流动处理气体之暂态流速,其中该压力上升率技术采用由至少一群组内之至少一时间值之最佳拟合线所决定的比率值。