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2. 发明专利

TW201604985A 反應腔室的上蓋開啟機構及反應腔室审中-公开
简体标题：反应腔室的上盖打开机构及反应腔室
公开(公告)号：TW201604985A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW103146506
申请日：2014-12-31
申请人：北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
发明人：張鵬
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： F16J13/16 , H01L21/67
摘要：本發明涉及一種反應腔室的上蓋開啟機構及反應腔室。該上蓋開啟機構位於反應腔室的一側，其包括至少一個驅動單元；每個驅動單元包括第一固定件、第二固定件、第一連接件和驅動裝置；第一固定件固定於上蓋上；其與第一連接件的第一端鉸接；驅動裝置與第一連接件的第二端鉸接；第二固定件固定於反應腔室的腔體上；其與第一連接件鉸接於第一連接件的第一端和第二端之間。上蓋開啟機構及設置該上蓋開啟機構的反應腔室具有更大的承載能力，更簡單的結構，並可以使上蓋具有更大的開啟角度。
简体摘要：本发明涉及一种反应腔室的上盖打开机构及反应腔室。该上盖打开机构位于反应腔室的一侧，其包括至少一个驱动单元；每个驱动单元包括第一固定件、第二固定件、第一连接件和驱动设备；第一固定件固定于上盖上；其与第一连接件的第一端铰接；驱动设备与第一连接件的第二端铰接；第二固定件固定于反应腔室的腔体上；其与第一连接件铰接于第一连接件的第一端和第二端之间。上盖打开机构及设置该上盖打开机构的反应腔室具有更大的承载能力，更简单的结构，并可以使上盖具有更大的打开角度。

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