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    • 4. 发明专利
    • 真空泵
    • TW201712229A
    • 2017-04-01
    • TW105124822
    • 2016-08-04
    • 愛德華有限公司EDWARDS LIMITED
    • 金在號KIM, JAEHO凱樂山姆 西伯巴蘭KAILASAM, SIVABALAN
    • F04C23/00F04C25/02F04C27/00
    • F04C25/02F01C19/005F01C21/10F04C27/008
    • 本發明係關於一種多級真空泵,其包括:第一半殼定子組件102及第二半殼定子組件104,其等界定複數個泵抽室106至116且用於沿著各自縱向延伸面118、120組裝在一起;第一末端定子組件122及第二末端定子組件124,其等用於組裝在該第一半殼定子組件及該第二半殼定子組件之各自縱向端面126、128處;縱向密封件12,其等在該第一半殼定子組件及該第二半殼定子組件在該等縱向延伸面處組裝在一起時用於其間之密封;及環形密封件146,其等在該第一末端定子組件及該第二末端定子組件與該第一半殼定子組件及該第二半殼定子組件組裝時用於其間之密封;該等環形密封部件及該等縱向密封部件在其間形成一平坦密封介面。
    • 本发明系关于一种多级真空泵,其包括:第一半壳定子组件102及第二半壳定子组件104,其等界定复数个泵抽室106至116且用于沿着各自纵向延伸面118、120组装在一起;第一末端定子组件122及第二末端定子组件124,其等用于组装在该第一半壳定子组件及该第二半壳定子组件之各自纵向端面126、128处;纵向密封件12,其等在该第一半壳定子组件及该第二半壳定子组件在该等纵向延伸面处组装在一起时用于其间之密封;及环形密封件146,其等在该第一末端定子组件及该第二末端定子组件与该第一半壳定子组件及该第二半壳定子组件组装时用于其间之密封;该等环形密封部件及该等纵向密封部件在其间形成一平坦密封界面。