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    • 2. 发明专利
    • 濺鍍靶及其製造方法
    • 溅镀靶及其制造方法
    • TW201343947A
    • 2013-11-01
    • TW102103078
    • 2013-01-28
    • JX日鑛日石金屬股份有限公司JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
    • 奈良淳史NARA, ATSUSHI佐藤和幸SATOH, KAZUYUKI
    • C23C14/34C23C14/08C04B35/622
    • C04B35/645C04B35/453C04B2235/3201C04B2235/3206C04B2235/3217C04B2235/3237C04B2235/3239C04B2235/3256C04B2235/3294C04B2235/3296C04B2235/3298C04B2235/34C04B2235/3409C04B2235/3418C04B2235/447C04B2235/5436C04B2235/77C23C14/08C23C14/3414
    • 一種濺鍍靶,其基本組成係由鋅(Zn)、鋁(Al)、鎂(Mg)及/或矽(Si)之3元素或4元素及氧(O)構成,相對於該基本組成,含有形成低熔點氧化物之金屬,其特徵在於:基本組成係由以下構成:Al含量以Al2O3換算為0.2~3.0mol%,Mg及/或Si含量以MgO及/或SiO2換算為1~27mol%,剩餘部分為Zn以ZnO換算之含量,相對於此基本組成,進一步含有以氧化物重量換算為0.1~20wt%之金屬,該金屬會形成熔點在1000℃以下之低熔點氧化物。提供一種不含硫、體電阻低、可進行DC濺鍍且低折射率之光學薄膜形成用靶及其製造方法。由於靶本身為高密度,因此具有異常放電少、可進行穩定之濺鍍的特徵。並且,經濺鍍成膜之薄膜,透射率高且以非硫化物系構成,因此適用於形成鄰接之反射層、記錄層不易劣化的光資訊記錄媒體用薄膜。可大幅改善光資訊記錄媒體特性提升、設備成本降低化、藉由成膜速度提升達成的產量。
    • 一种溅镀靶,其基本组成系由锌(Zn)、铝(Al)、镁(Mg)及/或硅(Si)之3元素或4元素及氧(O)构成,相对于该基本组成,含有形成低熔点氧化物之金属,其特征在于:基本组成系由以下构成:Al含量以Al2O3换算为0.2~3.0mol%,Mg及/或Si含量以MgO及/或SiO2换算为1~27mol%,剩余部分为Zn以ZnO换算之含量,相对于此基本组成,进一步含有以氧化物重量换算为0.1~20wt%之金属,该金属会形成熔点在1000℃以下之低熔点氧化物。提供一种不含硫、体电阻低、可进行DC溅镀且低折射率之光学薄膜形成用靶及其制造方法。由于靶本身为高密度,因此具有异常放电少、可进行稳定之溅镀的特征。并且,经溅镀成膜之薄膜,透射率高且以非硫化物系构成,因此适用于形成邻接之反射层、记录层不易劣化的光信息记录媒体用薄膜。可大幅改善光信息记录媒体特性提升、设备成本降低化、借由成膜速度提升达成的产量。