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    • 1. 发明专利
    • 用於製造結構化元件的方法及設備以及結構化元件
    • 用于制造结构化组件的方法及设备以及结构化组件
    • TW201701978A
    • 2017-01-16
    • TW105117347
    • 2016-06-02
    • 3D 麥可梅克公司3D-MICROMAC AG
    • 華納 麥可WERNER, MICHAEL奇尼 羅賓ZIMNY, ROBIN
    • B23K26/146B23K26/50
    • B23K26/0624B23K26/0006B23K26/0063B23K26/03B23K26/0648B23K26/146B23K26/402B23K2203/42B23K2203/54B28D1/221C03B33/0207C03B33/082
    • 在用於藉助於利用脈衝雷射輻射對工件(200)進行材料移除加工來製造結構化元件之方法中,該工件由對該雷射輻射透明之工件材料組成。該雷射輻射自輻射入口側(210)輻射至該工件中,並且在該工件之後側(220)的被定位成與該輻射入口側相反之該區域中,該雷射輻射以藉由多光子吸收在該聚焦區域中移除工件材料之方式在聚焦區域(135)中聚焦於該工件內。至少在當前繞該聚焦區域加工之加工區域中,該工件之該後側與對該雷射輻射透明之自由流動液體(320)接觸,其中該液體中之至少一些經設定成以一方式在朝該加工區域之方向上流動,該方式使得該液體與該後側成60°或更小之銳角流入該加工區域中。同樣地描述適合於執行該方法之設備。
    • 在用于借助于利用脉冲激光辐射对工件(200)进行材料移除加工来制造结构化组件之方法中,该工件由对该激光辐射透明之工件材料组成。该激光辐射自辐射入口侧(210)辐射至该工件中,并且在该工件之后侧(220)的被定位成与该辐射入口侧相反之该区域中,该激光辐射以借由多光子吸收在该聚焦区域中移除工件材料之方式在聚焦区域(135)中聚焦于该工件内。至少在当前绕该聚焦区域加工之加工区域中,该工件之该后侧与对该激光辐射透明之自由流动液体(320)接触,其中该液体中之至少一些经设置成以一方式在朝该加工区域之方向上流动,该方式使得该液体与该后侧成60°或更小之锐角流入该加工区域中。同样地描述适合于运行该方法之设备。
    • 9. 发明专利
    • 基板之垂直裂痕形成方法及垂直裂痕形成裝置
    • 基板之垂直裂痕形成方法及垂直裂痕形成设备
    • TW200604118A
    • 2006-02-01
    • TW094113424
    • 2005-04-27
    • 三星鑽石工業股份有限公司
    • 羽阪登熊谷透山本幸司
    • C03B
    • B23K26/0676B23K26/0604B23K26/0736B23K26/40B23K26/703B23K2203/50B23K2203/52B28D1/221C03B33/0207C03B33/093
    • 一種基板之垂直裂痕形成裝置,其特徵在於,具備:雷射光束照射機構,係用以照射雷射光束而在脆性基板上形成加熱點,以加熱基板;雷射光束移動機構,係沿脆性基板上之垂直裂痕形成預定線使雷射光束照射機構所照射之雷射光束與脆性基板相對移動;冷媒噴射機構,係對脆性基板上形成有加熱點之部位噴射冷煤;以及控制部,係控制該各機構;雷射光束照射機構係形成加熱點,該加熱點係在與垂直裂痕形成預定線正交之方向具有長邊軸的形狀;控制部,係至少執行1次由形成加熱點之步驟、與在停止雷射光束之照射後接著進行之形成冷卻點之步驟所構成的裂痕形成單位動作,使往基板板厚方向滲透之裂痕沿該垂直裂痕形成預定線僅形成單位長度,其次,對該各機構發出指令,來改變點之形成位置並至少執行1次該裂痕形成單位動作,藉此形成該單位長度之裂痕沿該垂直裂痕形成預定線連續之裂痕,裂痕形成單位動作,係設定成藉由以冷卻點冷卻被加熱點加熱之部位,來恢復該點周圍之熱平衡。
    • 一种基板之垂直裂痕形成设备,其特征在于,具备:激光光束照射机构,系用以照射激光光束而在脆性基板上形成加热点,以加热基板;激光光束移动机构,系沿脆性基板上之垂直裂痕形成预定线使激光光束照射机构所照射之激光光束与脆性基板相对移动;冷媒喷射机构,系对脆性基板上形成有加热点之部位喷射冷煤;以及控制部,系控制该各机构;激光光束照射机构系形成加热点,该加热点系在与垂直裂痕形成预定线正交之方向具有长边轴的形状;控制部,系至少运行1次由形成加热点之步骤、与在停止激光光束之照射后接着进行之形成冷却点之步骤所构成的裂痕形成单位动作,使往基板板厚方向渗透之裂痕沿该垂直裂痕形成预定线仅形成单位长度,其次,对该各机构发出指令,来改变点之形成位置并至少运行1次该裂痕形成单位动作,借此形成该单位长度之裂痕沿该垂直裂痕形成预定线连续之裂痕,裂痕形成单位动作,系设置成借由以冷却点冷却被加热点加热之部位,来恢复该点周围之热平衡。